专利名称：多固支梁圆膜式力传感器的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及力传感器的结构设计，尤其是圆膜式力传感器的结构设计。
技术背景 当今市场上有许多带硬中心圆膜式测力传感器，尺寸较小，但大多精度不高，线性 差，对安装要求非常高，对位置敏感。而圆形轮辐式测力传感器精度高，但尺寸大，带上下盖 板，工艺比较复杂。因而急需一种尺寸小，精度高的产品来满足市场要求。
发明内容 本实用新型的目的在于提供一种尺寸小，精度高的带硬中心的多固支梁圆膜式力 传感器 它包括顶部中心设有凸起硬中心的圆形弹性体；圆形弹性体圆膜上围绕硬中心设
置多个相互对称的沟槽；沟槽形成的固支梁下表面设置有电阻应变感应元件。 沟槽的个数为偶数。 沟槽的形状可以是一字型或L型。 本实用新型产品外形尺寸小，使用方便，通过硬中心加工螺纹，可以做成拉压两用 力传感器。量程范围比较宽。精度高，对安装要求小，力点位置变化造成误差小。密封简单， 不需要盖板密封，直接封胶，而且由于沟槽的间隙小，具有更好的防护性能。
附图1是本实用新型实施例1的主视图； 附图2是本实用新型实施例2的主视图； 附图3是本实用新型实施例1的俯视图； 附图4是本实用新型实施例2的俯视图。
具体实施方式
本实用新型的顶部中心设有凸起硬中心(3)的圆形弹性体(1);圆形弹性体(1) 圆膜上围绕硬中心设置多个相互对称的沟槽(4);沟槽(4)形成的固支梁下表面设置有电
阻应变感应元件(2)。沟槽(4)的个数为偶数。沟槽(4)的形状可以是一字型或L型或其 它形状。 实施例l采用的是双一字形沟槽(4)，实施例2采用的是四个L型沟槽(4). 本实用新型利用带硬中心(3)多固支梁中心受力变形原理，通过在圆形弹性体 (1)上，围绕硬中心(3)线切割两条平行沟槽(4)或四个L型沟槽(4)，如图1、图3和图2、 图4，做成多固支梁，将两条一字型沟槽(4)做成双固支梁，四个L型沟槽(4)做成四固支 梁。在固支梁的两端下表面通过工艺装上电阻应变感应元件(2)，如金属应变计、半导体应 变计以及硅阻压阻等，将电阻应变感应元件连成标准力传感器桥路，当施加力到电阻应变感应元件(2)的硬中心(3)时，多固支梁两端产生相反的形变，此时装在两端的电阻应变感应元件(2)电阻产生相反的大小变化，通过桥路将电阻变化转化成电压信号变化，而电压信号变化与施加力的大小成正比关系，达到检测力值的作用。
权利要求一种多固支梁圆膜式力传感器，它包括顶部中心设有凸起硬中心的圆形弹性体，其特征在于圆形弹性体圆膜上围绕硬中心设置多个相互对称的沟槽；沟槽形成的固支梁下表面设置有电阻应变感应元件。
2. 如权利要求1所述的多固支梁圆膜式力传感器，其特征在于沟槽的个数为偶数。
3. 如权利要求1所述的多固支梁圆膜式力传感器，其特征在于沟槽的形状可以是一 字型或L型。
专利摘要本实用新型多固支梁圆膜式力传感器涉及力传感器的结构设计，尤其是圆膜式力传感器的结构设计；它包括顶部中心设有凸起硬中心的圆形弹性体；圆形弹性体圆膜上围绕硬中心设置多个相互对称的沟槽；沟槽形成的固支梁下表面设置有电阻应变感应元件；沟槽的个数为偶数；沟槽的形状可以一字型或型；本实用新型产品外形尺寸小，使用方便，通过硬中心加工螺纹，可以做成拉压两用力传感器；量程范围比较宽；精度高，对安装要求小，力点位置变化造成误差小；密封简单，不需要盖板密封，直接封胶，而且由于沟槽的间隙小，具有更好的防护性能。
文档编号G01L1/22GK201464093SQ20092013343
公开日2010年5月12日 申请日期2009年7月7日 优先权日2009年7月7日
发明者曹勤华 申请人:曹勤华