专利名称：真空动密封精确传动装置的制作方法
技术领域：
本发明涉及一种传动装置，更具体地涉及一种真空动密封精确传动装置。
背景技术：
传动装置，可以将动力所提供的运动的方式、方向或速度加以改变，被人们有目的 地加以利用。常见的传动机构，主要有齿轮传动、皮带传动和液压式传动，作用传递动力的 技术手段广泛应用于各种机器设备中。随着现代科学技术的发展，对产品质量和生产工艺 要求不断提高，真空技术成为一门不可缺少的技术，已被广泛应用到各个技术领域中。例如 在利用玻璃基材等薄板制造IXD-TFT显示屏、有机发光显示器件(OLED)面板、薄膜太阳能 面板的制程中，大多需要在洁净玻璃上镀覆薄膜晶体管，这类大型玻璃基材的制程通常包 含实施多个连续步骤，包括如化学气相沉积制程(CVD)、物理气相沉积制程(PVD)、有机物 质蒸镀、磁控溅射沉积或蚀刻制程，该制程的工艺要求比较严格，大部分必须在真空状态下 以及完全洁净的空间环境中进行，由于提供真空环境的真空腔体与大气环境的内外环境不 同，真空腔体内要求较高的真空度及洁净度，需要通过传动装置实现腔体内外动力的传递， 此过程中如果密封不好、真空环境不足将严重影响辉光放电的程度，同时空气中的氧气和 水汽也会将靶材侵蚀，导致磁控溅射制程中断或/和沉积薄膜受到影响。在真空传动装置 中，动力源一般由外部传到内部这样首先就要解决的是传动系统与真空腔体间的密封，现 有技术中，对真空腔的动力传动大都采用动密封传动，既保持了真空腔体的密封性，又能将 动力平稳地传送至真空腔体内，然而，随着人们对产品质量要求的不断提高，对真空传动也 提出了更高的要求，现有的真空传动装置并未能对传动速度进行精确控制，未能为腔体内 提供精确的动力输出，因此，需要一种能够实现精确传动的真空动密封精确传动装置来解 决上述问题。
发明内容
本发明的目的是提供一种结构紧凑、传动平稳且精准而又能同时保证真空洁净度 的真空动密封精确传动装置。为实现上述目的，本发明的技术方案为提供一种真空动密封精确传动装置，包括 齿轮轴、提供真空环境的真空腔体及位于所述真空腔体外的动密封组件、动密封组件固定 座、第一联轴器、电机、电机固定座，所述动密封组件固定座的一端固定在所述真空腔体的 侧壁上，所述动密封组件固定座的另一端与所述电机固定座固定连接，所述动密封组件固 定座开设有空腔，所述动密封组件固定在所述动密封组件固定座上并容置在所述空腔内， 所述第一联轴器容置在所述空腔内并位于所述动密封组件与所述电机固定座之间，所述电 机固定座上开设有安装孔，所述电机固定在所述电机固定座上，所述电机具有输出轴，所述 输出轴穿过所述安装孔与所述第一联轴器连接，所述真空腔体的侧壁对应所述动密封组件 的部位开设有通孔，所述齿轮轴的一端与所述第一联轴器连接，另一端穿过所述动密封组 件及所述通孔伸入至真空腔体内，所述齿轮轴分别与所述动密封组件及通孔枢接，其中，所述真空动密封精确传动装置还包括有测速组件，所述测速组件包括光电传感器、感应片及 传感器固定座，所述传感器固定座固定在所述电机固定座上，所述光电传感器固定在所述 传感器固定座上，所述光电传感器的一侧的两端水平凸伸形成两检测臂，所述检测臂穿过 所述动密封组件固定座并深入所述空腔内，所述感应片同轴固定在所述齿轮轴上并位于所 述光电传感器的两检测臂之间，所述感应片上开设有通槽，所述光电传感器从一检测臂的 一端发送光信号至另一检测臂。较佳地，所述真空动密封精确传动装置还包括有第二联轴器、联动轴、波纹管、第 一波纹管固定座、第二波纹管固定座及至少两支柱，所述第二联轴器、波纹管、第一波纹管 固定座、第二波纹管固定座及所述支柱均设置在所述真空腔体与动密封组件固定座之间， 所述动密封组件固定座通过所述支柱与所述真空腔体的侧壁固定连接，所述第一波纹管固 定座固定在所述真空腔体的侧壁上，所述第二波纹管固定座固定在所述动密封组件固定座 上，所述波纹管一端与所述第一波纹管固定座固定连接，另一端与所述第二波纹管固定座 固定连接，所述第二联轴器悬设在所述波纹管内，所述齿轮轴位于真空腔体外的一端与所 述第二联轴器固定连接，所述联动轴的一端与所述第二联轴器固定连接，另一端穿过所述 动密封组件并与所述第一联轴器固定连接，所述联动轴与所述动密封组件枢接，所述感应 片固定在所述联动轴上。通过第二联轴器与联动轴的设置，方便组装与检修，通过波纹管的 设置，加强密封性能，同时可以减少第二联轴器占用真空室内空间，达到平稳传动的目的。较佳地，所述第一波纹管固定座与真空腔体之间、所述第二波纹管固定座与动密 封组件固定座之间均设有密封圈。通过设置密封圈，加强密封性能，进一步保证真空腔体具 有较高的洁净度。较佳地，所述通孔与所述齿轮轴之间设有轴承。通过设置轴承能更好地实现齿轮 轴与通孔之间的枢接，同时保护所述齿轮轴与通孔，避免在传动过程中受损，从而使传动更
平稳可靠。较佳地，所述感应片呈圆盘结构，所述感应片上开设有两所述通槽，两所述通槽位 于所述感应片的同一直径方向上。光电传感器由一检测臂一端发送光信号给另一检测臂 时，当感应片转动到所述通槽与两所述检测臂位于同一平面上，所述光信号能有效被所述 另一检测臂所接收，即当电机带动齿轮轴转动时，带动感应片转动，检测臂通过接收到的信 号信息可以记录电机启动的起始位置，每接收到一次信号，代表转动半圈，通过计算，可以 同步检测电机传给真空齿轮轴的实际转速，便于精确控制传动的转速大小。与现有技术相比，本发明的真空动密封精确传动装置利用动密封传动，在同时保 证真空腔体的洁净度的前提下，在所述真空动密封精确传动装置中增设测速组件，在齿轮 轴上同轴固定套设感应片并在感应片上开设通槽，将感应片设于所述光电传感器的两检测 臂之间，结构紧凑，光电传感器由一检测臂一端发送光信号给另一检测臂，当电机带动齿轮 轴转动时，同步带动感应片做旋转运动，当感应片转动到所述通槽与两所述检测臂位于同 一平面上时，所述光信号能有效被所述另一检测臂所接收，通过检测臂接收到的信号信息 可以记录电机启动的起始位置，定义齿轮轴旋转的起始点及旋转角度，便于精确控制电机 输入真空腔体内的转速大小，通过光电传感器感应并记录信号，可以同步检测电机传给真 空齿轮轴的实际转速，达到精确传动的目的。
图1是本发明真空动密封精确传动装置的结构示意图。图2是本发明测速组件的原理示意图。
具体实施例方式为了详细说明本发明的技术内容、构造特征，以下结合实施方式并配合附图作进 一步说明，其中不同图中相同的标号代表相同的部件。如上所述，本发明的真空动密封精 确传动装置通过增设测速组件，通过光电传感器与感应片的配合可记录电机启动的起始位 置，并可同步检测电机传给齿轮轴的实际转速，能在保证真空洁净度的同时实现精确、平稳 的传动。参考图1，本发明实施例的真空动密封精确传动装置，包括齿轮轴10、提供真空环 境的真空腔体20及位于所述真空腔体20外的动密封组件30、动密封组件固定座32、第一 联轴器40、电机50、电机固定座52，所述动密封组件固定座32与所述电机固定座52固定连 接，所述动密封组件固定座32与所述真空腔体20之间设有第二联轴器42、波纹管70、第一 波纹管固定座72、第二波纹管固定座74及至少两支柱80，所述动密封组件固定座32通过 所述支柱80与所述真空腔体20的侧壁固定连接，所述支柱80的具体数量根据实际需要而 设。所述第一波纹管固定座72固定在所述真空腔体20的侧壁上，所述第二波纹管固定座 74固定在所述动密封组件固定座32上，所述波纹管70的一端与所述第一波纹管固定座72 固定连接，另一端与所述第二波纹管固定座74固定连接，所述支柱80分布于所述第一波纹 管固定座72、第二波纹管固定座74及所述波纹管70的外围，所述波纹管70具有中空结构， 所述第二联轴器42悬设在所述波纹管70内。所述动密封组件固定座32开设有空腔34，所 述动密封组件30固定在所述动密封组件固定座32上并容置在所述空腔34内，所述第一联 轴器40容置在所述空腔34内并位于所述动密封组件30与所述电机固定座52之间，所述 电机固定座52上开设有安装孔56，所述电机50固定在所述电机固定座52上，所述电机50 具有输出轴54，所述输出轴54穿过所述安装孔56与所述第一联轴器40连接固定连接，所 述真空腔体20的侧壁对应所述动密封组件30的部位开设有通孔22，所述齿轮轴10的一端 与所述第二联轴器42连接，另一端穿过所述通孔22伸入至真空腔体20内，所述齿轮轴10 与通孔22枢接，所述齿轮轴10位于真空腔体20内的一端固定套设有一齿轮12，可以通过 齿轮12带动真空腔体20内动力组件动作，所述通孔22与所述齿轮轴10之间设有轴承24 和挡圈。通过设置轴承24能更好地实现齿轮轴10与通孔22之间的枢接，同时保护所述齿 轮轴10与通孔22，避免在传动过程中受损，从而使传动更平稳可靠。所述真空动密封精确 传动装置还包括有联动轴14，所述联动轴14 一端与所述第二联轴器42固定连接，另一端穿 过所述动密封组件30与所述第一联轴器40固定连接，所述联动轴14与所述动密封组件30 枢接。通过第二联轴器42与联动轴14的设置，方便组装与检修，通过波纹管70的设置，加 强密封性能，同时可以减少第二联轴器42占用真空室内空间，达到平稳传动的目的。较佳地，所述第一波纹管固定座72与真空腔体20之间、所述第二波纹管固定座74 与动密封组件固定座32之间均设有密封圈90。通过设置密封圈90，加强密封性能，进一步 保证真空腔体20内具有较高的洁净度。配合参考图2，所述真空动密封精确传动装置还包括有测速组件60，所述测速组
5件60包括光电传感器62、感应片66及传感器固定座64，所述传感器固定座64固定在所 述电机固定座52上，所述光电传感器62固定在所述传感器固定座64上，所述传感器固定 座64上可以相应设有线座，用于光电传感器62实现与外控制机构的电连接，工作时，光电 传感器62与电路控制机构电连接。所述光电传感器62的一侧的两端水平凸伸形成两检测 臂，分别为第一检测臂65a和第二检测臂65b，两检测臂65a、65b分别穿过所述动密封组件 固定座32并深入所述空腔34内，所述感应片66同轴固定在所述联动轴14上并位于所述 光电传感器62的第一检测臂65a与第二检测臂65b之间，所述第一检测臂65a的尾端形成 信号发送端，所述第二检测臂65b的尾端形成信号接收端，可以理解地，也可以设置为信号 由第二检测臂65b发送，由第一检测臂65a接收，所述感应片66上开设有通槽67。较佳地， 所述感应片66呈圆盘结构，所述感应片66上开设有两所述通槽67，两所述通槽67位于所 述感应片66的同一直径方向上。光电传感器62由第一检测臂65a的一端发送光信号给第 二检测臂65b时，当感应片66转动到所述通槽67与两所述检测臂65a、65b位于同一平面 上，所述光信号能有效被所述第二检测臂65b所接收，即当联动轴14通过电机50带动转动 时，同时带动感应片66转动，第二检测臂65b通过接收到的信号信息可以记录电机50启动 的起始位置，每接收到一次信号，代表转动半圈，通过计算，可以同步检测电机50传给联动 轴14的实际转速，便于精确控制传动的转速大小。需要说明的是，本发明的真空动密封精确传动装置的动密封组件固定座32也可 以直接固定在真空腔体20的侧壁上，所述齿轮轴10穿过所述通孔22伸出真空腔体20外 的一端穿过所述动密封组件30与所述第一联轴器40固定连接，所述齿轮轴10与所述动密 封组件30枢接，所述感应片66同轴固定在所述齿轮轴10上，所述动密封组件固定座32的 另一端与所述电机固定座52固定连接。继续参考图1及图2，本发明实施例的真空动密封精确传动装置的工作原理为开 始工作时，光电传感器62可与一计算机相连，电机50转动，通过输出轴54与所述第一联轴 器40带动所述联动轴14转动，联动轴14通过所述第二联轴器42带动齿轮轴10如图中 箭头所示做旋转运动，进一步带动真空腔体20内的齿轮12同步转动，由于感应片66同轴 固定在联动轴14上，感应片66随联动轴14同步做旋转运动，光电传感器62由第一检测臂 65a发射出光线，由于感应片66位于两检测臂65a、65b之间，阻挡光线的传输，使第二检测 臂65b未能接收到光线信号，只有当感应片66转动到所述通槽67与两所述检测臂65a、65b 位于同一平面上时，第二检测臂65b才能接收到光线，记录第一次接收到的光线的信息，定 义齿轮轴10旋转的起始点及旋转角度，便于精确控制电机50输入真空腔体20内的转速大 小，同时，通过接收到信号的时间间隔可以实时检测得出电机50传给真空齿轮轴10的实际 转速，实现精确传动。与现有技术相比，本发明的真空动密封精确传动装置利用动密封传动，在同时保 证真空腔体20的洁净度的前提下，在所述真空动密封精确传动装置中增设测速组件60，在 齿轮轴10上同轴固定套设感应片66并在感应片66上开设通槽67，将感应片66设于所述 光电传感器62的两检测臂65a、65b之间，结构紧凑，光电传感器62由第一检测臂65a的一 端发送光信号给第二检测臂65b，当电机50带动齿轮轴10转动时，同步带动感应片66做 旋转运动，当感应片66转动到所述通槽67与两所述检测臂65a、65b位于同一平面上时，所 述光信号能有效被所述第二检测臂65b所接收，通过第二检测臂65b接收到的信号信息可以记录电机50启动的起始位置，定义齿轮轴10旋转的起始点及旋转角度，便于精确控制电 机50输入真空腔体20内的转速大小，通过光电传感器62感应并记录信号，可以同步检测 电机50传给真空齿轮轴10的实际转速，达到精确传动的目的。本发明实施例的真空动密封精确传动装置中的第一波纹管固定座72、第二波纹管 固定座74、动密封组件固定座32、电机固定座52及支柱80之间的固定连接大多通过螺钉 连接来实现，所涉及的动密封组件30的结构及该动密封组件30的密封原理为本领域技术 人员所知，因此不另描述。以上结合最佳实施例对本发明进行了描述，但本发明并不局限于以上揭示的实施 例，而应当涵盖各种根据本发明的本质进行的修改、等效组合。
权利要求
一种真空动密封精确传动装置，包括齿轮轴、提供真空环境的真空腔体及位于所述真空腔体外的动密封组件、动密封组件固定座、第一联轴器、电机、电机固定座，所述动密封组件固定座的一端固定在所述真空腔体的侧壁上，所述动密封组件固定座的另一端与所述电机固定座固定连接，所述动密封组件固定座开设有空腔，所述动密封组件固定在所述动密封组件固定座上并容置在所述空腔内，所述第一联轴器容置在所述空腔内并位于所述动密封组件与所述电机固定座之间，所述电机固定座上开设有安装孔，所述电机固定在所述电机固定座上，所述电机具有输出轴，所述输出轴穿过所述安装孔与所述第一联轴器连接，所述真空腔体的侧壁对应所述动密封组件的部位开设有通孔，所述齿轮轴的一端与所述第一联轴器连接，另一端穿过所述动密封组件及所述通孔伸入至真空腔体内，所述齿轮轴分别与所述动密封组件及通孔枢接，其特征在于，还包括有测速组件，所述测速组件包括光电传感器、感应片及传感器固定座，所述传感器固定座固定在所述电机固定座上，所述光电传感器固定在所述传感器固定座上，所述光电传感器的一侧的两端水平凸伸形成两检测臂，所述检测臂穿过所述动密封组件固定座并深入所述空腔内，所述感应片同轴固定在所述齿轮轴上并位于所述光电传感器的两检测臂之间，所述感应片上开设有通槽，所述光电传感器从一检测臂的一端发送光信号至另一检测臂。
2.如权利要求1所述的真空动密封精确传动装置，其特征在于，还包括有第二联轴器、 联动轴、波纹管、第一波纹管固定座、第二波纹管固定座及至少两支柱，所述第二联轴器、波 纹管、第一波纹管固定座、第二波纹管固定座及所述支柱均设置在所述真空腔体与动密封 组件固定座之间，所述动密封组件固定座通过所述支柱与所述真空腔体的侧壁固定连接， 所述第一波纹管固定座固定在所述真空腔体的侧壁上，所述第二波纹管固定座固定在所述 动密封组件固定座上，所述波纹管一端与所述第一波纹管固定座固定连接，另一端与所述 第二波纹管固定座固定连接，所述第二联轴器悬设在所述波纹管内，所述齿轮轴位于真空 腔体外的一端与所述第二联轴器固定连接，所述联动轴的一端与所述第二联轴器固定连 接，另一端穿过所述动密封组件并与所述第一联轴器固定连接，所述联动轴与所述动密封 组件枢接，所述感应片固定在所述联动轴上。
3.如权利要求2所述的真空动密封精确传动装置，其特征在于，所述第一波纹管固定 座与真空腔体之间、所述第二波纹管固定座与动密封组件固定座之间均设有密封圈。
4.如权利要求1所述的真空动密封精确传动装置，其特征在于，所述通孔与所述齿轮 轴之间设有轴承。
5.如权利要求1所述的真空动密封精确传动装置，其特征在于，所述感应片呈圆盘结 构，所述感应片上开设有两所述通槽，两所述通槽位于所述感应片的同一直径方向上。
全文摘要
本发明公开了一种真空动密封精确传动装置，所述真空动密封精确传动装置还包括测速组件，该测速组件包括光电传感器、感应片及传感器固定座，光电传感器固定在传感器固定座上，光电传感器的一侧的两端水平凸伸形成两检测臂，感应片同轴固定在向真空腔体内传输动力的齿轮轴上并位于两检测臂之间，结构紧凑，感应片上开设有通槽，光电传感器从一检测臂的一端发送光信号至另一检测臂，当通槽随感应片转动到与两检测臂位于同一平面时，光信号能有效被另一检测臂所接收。本发明的真空动密封精确传动装置通过光电传感器与感应片的配合可记录电机启动的起始位置，并可同步检测电机传给齿轮轴的实际转速，能在保证真空洁净度的同时实现精确、平稳的传动。
文档编号G01P3/36GK101958634SQ20101017113
公开日2011年1月26日 申请日期2010年5月6日 优先权日2010年5月6日
发明者刘惠森, 张华 , 杨明生, 王勇, 王曼媛, 王银果, 范继良 申请人:东莞宏威数码机械有限公司