基板检查方法

专利名称：基板检查方法
技术领域：
本发明涉及检查设置在被检查基板上的多个布线图案的电气特性的基板检查方 法。
背景技术：
作为这种现有技术，存在下述这样的技术，S卩，将多个布线图案中的任一个布线图 案设定为正极侧，并且将余下的布线图案设定为负极侧，利用输出部对布线图案间赋予电 位差，进而检测在布线图案和输出部之间流过的电流，并根据检测出的电流值判定布线图 案间的绝缘性的优良与否。依次更换被设定为正极侧的布线图案，由此对全部布线图案彼 此间的组合进行绝缘性的检查。作为相关的现有技术文献，有专利文献1、2。专利文献1日本特开昭52-155364号公报专利文献2日本特开2000-193702号公报然而，在上述的检查方法中，由于对全部布线图案彼此间的组合进行绝缘性的检 查，故尽管能够以高信赖性进行检查，但反而却存在检查耗时，检查效率较低的问题。

发明内容
因此，本发明要解决的课题在于提供一种不会降低检查精度，而缩短检查时间提 高检查效率的基板检查方法。为了解决上述课题，技术方案1的发明中，提供一种基板检查方法，其是对设置在 被检查基板上的多个布线图案的电气特性进行检查的方法，在该基板检查方法中，使用与 设置在上述被检查基板上的上述多个布线图案导通的多个探针、借助上述探针对上述布线 图案间赋予电位差的输出部、和检测流过上述输出部和上述布线图案之间的电流的第1及 第2特性检测部，上述基板检查方法具有被依次执行的多个单位检查工序，在上述各单位 检查工序中，将在上述多个布线图案中的且在上述单位检查工序彼此间互不相同的任意1 个布线图案设定为正极侧，并且将上述1个布线图案以外的布线图案设定为负极侧，在此 状态下，利用上述输出部并借助上述探针，对正极侧的上述布线图案和负极侧的上述布线 图案之间赋予电位差，上述单位检查工序具有第1副工序和第2副工序，在该第1副工序 中，在第1检测时间，利用上述第1特性检测部，对流过布线图案与上述输出部之间的电流 进行检测，其中，该布线图案是指在执行中的该单位检查工序中被设定为负极侧的上述布 线图案中的、在之前的上述单位检查工序中未被设定过正极侧的布线图案，并根据该检测 结果，对被设定为正极侧的上述布线图案、与被设定为负极侧的上述布线图案中的未被设 定过正极侧的上述布线图案之间的第1电气特性进行检查，在该第2副工序中，在比上述第 1检测时间提前的第2检测时间，利用上述第2特性检测部，对流过布线图案与上述输出部 之间的电流进行检测，其中，该布线图案是指在执行中的该单位检查工序中被设定为负极 侧的上述布线图案中的在之前的上述单位检查工序已被设定过正极侧的上述布线图案，并根据该检测结果，对被设定为正极侧的上述布线图案、与被设定为负极侧的上述布线图案中的已被设定过正极侧的上述布线图案之间的上述第1电气特性进行检查。另外，技术方案2的发明中，在技术方案1的发明所涉及的基板检查方法的基础 上，在上述多个单位检查工序之中的最初执行的最先单位检查工序和最后执行的最终单位 检查工序之间所执行的各中间单位检查工序，具备上述第1副检查工序和上述第2副检查 工序，上述最先单位检查工序具备上述第1副工序，上述最终单位检查工序具备上述第2副 工序。另外，技术方案3的发明中，在技术方案1或技术方案2的发明所涉及的基板检查 方法的基础上，还使用有借助上述探针对上述布线图案间的电位差进行检测的电位差检测 部，上述各单位检查工序还具有第3副工序，在该第3副工序中，当利用上述输出部对被设 定为正极侧的上述布线图案与被设定为负极侧的上述布线图案之间赋予电位差时，根据利 用上述电位差检测部检测出的正极侧的上述布线图案与负极侧的上述布线图案之间的电 位差随时间的变化情况，对正极侧的上述布线图案与负极侧的上述布线图案之间的第2电 气特性进行检查。另外，技术方案4的发明中，在技术方案3的发明所涉及的基板检查方法的基础 上，在上述第3副工序中，根据利用上述电位差检测部检测出的上述电位差在上升过程中 是否有暂时下降的情况，对上述第2电气特性进行检查。另外，技术方案5的发明中，在技术方案1至技术方案4中任一发明所涉及的基板 检查方法的基础上，从面积更大的上述布线图案被设定为正极侧的单位检查工序起依次执 行上述多个单位检查工序。另外，技术方案6的发明中，在技术方案1至技术方案4中任一发明所涉及的基板 检查方法的基础上，上述多个单位检查工序，根据在该各单位检查工序被设定为正极侧的 上述布线图案的面积的不同而被分为多个工序组，从属于被设定为正极侧的上述布线图案 的面积更大的工序组的单位检查工序起依次执行上述多个单位检查工序。另外，技术方案7的发明中，在技术方案5的发明所涉及的基板检查方法的基础 上，上述各单位检查工序中的由上述输出部开始赋予上述电位差起到上述第1副工序中的 上述第1检测时间为止的时间，随着1个上述单位检查工序的结束而逐渐缩短。另外，技术方案8的发明中，在技术方案6的发明所涉及的基板检查方法的基础 上，上述各单位检查工序中的从上述输出部开始赋予上述电位差起到上述第1副工序中的 上述第1检测时间为止的时间，随着属于1个上述工序组的全部的上述单位检查工序的结 束而逐渐缩短。根据技术方案1及技术方案2所述的发明，在各单位检查工序中，将设定为负极侧 的布线图案分为在此之前的单位检查工序中未被设定过正极侧的布线图案组(第1组)、和 已被设定过正极侧的布线图案组(第2组)，并且进行电流检测的特性检测部还设置有第1 及第2特性检测部。而且，利用第1特性检测部对流过第1组的负极侧的布线图案与输出 部之间的电流进行检测(第1副工序)，利用第2特性检测部对流过第2组的负极侧的布线 图案与输出部之间的电流进行检测(第2副工序)。由此在各单位检查工序中，由于将设定 为负侧的布线图案分为第1组和第2组，按照各组利用第1或第2特性检测部对流过负侧 的布线图案与输出部之间的电流进行检测，因此能够缩短从输出部开始对布线图案间赋予电位差时起到流过负侧的各组的布线图案与输出部之间的电流下降至规定的判定允许电 平以下为止的时间。结果，能够从开始对布线图案间赋予电位差起以较短的时间检测出流 过布线图案与输出部之间的电流，进而对布线图案间的第1电气特性进行检查，不会使检 查的信赖性降低，实现检查时间的缩短。另外，在各单位检查工序中，将对流过第2组的负极侧的布线图案与输出部之间 的电流的检测时间(第2检测时间)，设定为比流过第1组的负极侧的布线图案与输出部之 间的电流的检测时间(第1检测时间)更为提前的时间。其取决于如下的理由。S卩对于 此刻设定为负极侧的第2组的布线图案与被设定为正极侧的布线图案的组合而言，由于在 之前的单位检查工序中已由第1副工序进行过了检查，因此能够提前电流的检测时间，维 持检查的信赖性。因此，通过提前电流的检测时间，能够缩短检查时间。在执行的单位检查工序中，在进行第1副工序的检查的最先及中间的单位检查工 序中，需要与第1检测时间对应的检查时间，但在只进行第2副工序的检查的最后的单位检 查工序(最终单位检查工 序)中，则以与第2检测时间对应的检查时间结束检查。因此，能 够将关于各布线图案间的电气特性(例如，绝缘性)的检查所需的全部的检查时间缩短了 最终单位检查工序中的检查时间的缩短量，实现了检查效率的提高。而且，在针对各布线图 案间进行的利用第1及第2副工序的正反2次的检查中，由于在利用第1副工序中进行的 第1次(正方向)的检查中，更长地设定了从输出部对布线图案间赋予电位差起到由第1特 性检测部进行电流检测为止的时间，因此不用担心会因缩短利用第2副工序进行的第2次 (反方向)的检查的检查时间而导致检查精度的降低。另外，在本发明中，由于将在各布线图案间进行的正反2次的检查分为使用第1特 性检测部的第1副工序、和使用第2特性检测部的第2副工序，因此当在任意的单位检查工 序中，在布线图案间发现绝缘不良等的不良时，能够辨别出不良是发生在第1组的负极侧 的布线图案与正极侧的布线图案之间，还是发生在第2组的负极侧的布线图案与正极侧的 布线图案之间。根据技术方案3所述的发明，在各单位检查工序中，根据在对被设定为正极侧的 布线图案与被设定为负极侧的布线图案之间赋予电位差时所产生的正负布线图案间的电 位差的随时间的变化情况，来检查正负布线图案间的第2电气特性。另外，当在各单位检查 工序中在正极侧的布线图案与任意1个负极侧的布线图案之间产生了火花放电时，从开始 赋予电位差时起朝向恒定的电平上升的正负的布线图案间的电位差会暂时下降。因此，通 过监视各单位检查工序中的对正负的布线图案间赋予电位差时的正负的布线图案间的电 位差的随时间的变化情况，能够检查出在正负的布线图案间是否有由火花放电引起的绝缘 不良。另外，在本发明中，由于是在各布线图案间按照正反2方向赋予电位差来对各布 线图案间的电气特性进行检查，因此对于因极性不同而电气特性各异的由火花放电所引起 的绝缘不良部位能够适宜地应对，进行布线图案间的绝缘检查，实现检查精度的提高。另外，当进行各单位检查工序内的第1及第2副工序时，利用通过输出部对布线图 案间赋予电位差时的布线图案间的电位差随时间的变化，能够进行第3副工序的检查，因 此不会延长检查时间地将第3副工序追加到各单位检查工序中。根据技术方案4所述的发明，在第3副工序中，由于根据在对被设定为正极侧的布线图案与被设定为负极侧的布线图案之间赋予电位差时产生的正负的布线图案间的电位差在上升过程中是否有暂时下降，来对第2电气特性进行检查，因此能够切实地检查是否 有因布线图案间的火花放电所引起的绝缘不良。关于技术方案5所述的发明，布线图案上产生的绝缘不良，具有布线图案的面积 越大越容易产生的倾向。因此，在本发明中，通过从面积更大的布线图案被设定为正极侧的 单位检查工序起依次执行，当在布线图案存在绝缘不良部位时，能够在短时间内高效地发 现该绝缘不良的存在。根据技术方案6所述的发明，在布线图案中产生的绝缘不良具有布线图案的面积 越大越容易产生的倾向。因此，在本发明中，多个单位检查工序按照在该各单位检查工序中 被设定为正极侧的布线图案的面积不同而分类成多个工序组，从属于被设定为正极侧的上 述布线图案的面积更大的工序组的单位检查工序起依次执行。由此，当在布线图案中存在 绝缘不良部位时，能够在短时间内高效地发现该绝缘不良的存在。关于技术方案7所述的发明，在各单位检查工序中，当利用输出部对正极侧的布 线图案与负极侧的布线图案之间赋予电位差时，流过输出部与布线图案之间的电流到稳定 为止所需的时间，与由正负的布线图案构成的电容器的容量有关，因此存在设定为正极侧 的布线图案的面积越大时间越长的倾向。在本发明中，按照从面积更大的布线图案被设定 为正极侧的单位检查工序起依次执行，各单位检查工序中的从输出部开始赋予电位差起到 第1副工序中的第1检测时间为止的时间被逐渐缩短。因此，能够将各单位检查工序中的 由第1检测时间规定的检查时间设定成与被设定为正极侧的布线图案的面积相应的适当 且更短的时间。根据技术方案8所述的发明，在各单位检查工序中，当利用输出部对正极侧的布 线图案与负极侧的布线图案之间赋予电位差时，流过输出部与布线图案之间的电流到稳定 为止所需的时间，与由正负的布线图案构成的电容器的容量有关，因此存在设定为正极侧 的布线图案的面积越大时间越长的倾向。在本发明中，按照从属于被设定为正极侧的布线 图案的面积更大的组的单位检查工序起依次执行，随着属于1个上述工序组的全部上述单 位检查工序的结束，各单位检查工序中的从输出部开始赋予电位差起到第1副工序中的第 1检测时间为止的时间逐渐缩短。因此，能够将属于各工序组的单位检查工序中的由第1检 测时间规定的检查时间设定成与被设定为正极侧的布线图案的面积相应的适当且更短的 时间。


图1是本发明的一实施方式涉及的基板检查方法所使用的基板检查装置的框图。图2是表示图1的基板检查装置的要部的电路构成的一例的电路图。图3是关于图1的基板检查装置进行检查的检查顺序的说明图。图4是表示各单位检查工序中含有的副工序的细目的图。图5是表示在对布线图案间赋予电位差时流过输出部和布线图案之间的电流随 时间推移而变化的图表。图6是表示在对布线图案间赋予电位差时正负的布线图案间产生的电位差随时 间推移而变化的图表。
图7中，图7(a)及图7(b)是表示对电气特性因极性而不同的绝缘不良部位进行 绝缘检查的样子的图。图8是关于本发明的背景技术所涉及的基板检查方法的检查顺序的说明图。图9是表示在对布线图案间赋予 电位差时流过输出部和布线图案之间的电流随 时间推移而变化的图表。符号说明1...基板检查装置；2...被检查基板；IlUla lid...探针；12...输出部； 13...第1特性检测部；14...第2特性检测部；15...电位差检测部；16...多路调制器； 17...切换开关；18...控制部；21...布线图案；41...绝缘不良部位；A D...布线图案； ta...第1检测时间；tb...第2检测时间。
具体实施例方式[关于本发明的技术背景]在对本发明的实施方式进行说明前，参照图8及图9，对本发明的技术背景进行说 明。在该图8的背景技术所涉及的基板检查方法中，对被标注A D的网络标号的4个布 线图案A D进行绝缘检查。检查是由被标注1 4的工序标号的4个单位检查工序1 4构成。在最初的单位检查工序1中，在设定布线图案A为正极侧，设定布线图案B D为 负极侧的状态下，利用输出部对布线图案A与布线图案B D之间赋予电位差，检测流过输 出部和布线图案A(或布线图案B D)之间的电流，根据检测出的电流值来检查布线图案 A和布线图案B D之间的绝缘性的优良与否。在接着的单位检查工序2中，在设定布线 图案B为正极侧，设定布线图案A、C、D为负极侧的状态下，利用输出部对布线图案B与布 线图案A、C、D之间赋予电位差，检测流过输出部和布线图案B (或布线图案A、C、D)之间的 电流，并根据检测出的电流值来检测布线图案B与布线图案A，C、D之间的绝缘性的优良与 否。同样地，在单位检查工序3中，将布线图案C设定为正极侧，来对布线图案C与布线图 案A、B、D之间的绝缘性的优良与否进行检查。在单位检查工序4中，将布线图案D设定为 正极侧，对布线图案D与布线图案A C之间的绝缘性的优良与否进行检查。在各单位检查工序1 4中，在对布线图案A D间赋予电位差时，流过输出部和 布线图案A D之间的电流，如图9的图表所示，在输出部对布线图案A D间赋予的电 位差刚开始后极不稳定，随着布线图案A D逐渐带电(充电)，而逐渐地趋向于一定的值 (例如，完全绝缘时成为零)。因此，在各单位检查工序1 4中，为了以较高的信赖性来检 查布线图案A D间的绝缘性，优选从对布线图案A D赋予电位差开始时起经过规定时 间，在流过输出部和布线图案A D之间的电流值达到稳定的状态下，再检测该电流值。这里，在本实施方式所涉及的基板检查方法中，针对作为检查对象的布线图案间 的绝缘性(第1电气特性)的检查，是在对布线图案间赋予了电位差的状态下，检测施加在 布线图案间的电位差的值、和流过布线图案间与赋予电位差的输出部之间的电流值，基于 上述值导出布线图案间的虚拟电阻值，并根据该电阻值的值对布线图案间的绝缘性的优良 与否进行判定。另外，在应用了本实施方式所涉及的基板检查方法的基板检查装置中，还会根据 以怎样的区域来检测布线图案间的电阻值，对流过布线图案与输出部之间的电流，预先决定限定其上限值的判定允许电平。因此，为了按照预期的区域来检测布线图案间的电阻值， 如图9所示，需要将流过布线图案与输出部之间的电流的检测时间tc设定成此刻的电流值 在与该区域对应的判定允许电平Lc以下。另外，越想要以更高的值检测出布线图案间的电 阻值，则越需要以更低的电平检测出电流值。由于该系统构成上的制约，当意欲对布线图案间的高电平的绝缘性进行检查时， 从对布线图案间赋予电位差开始到流过布线图案与输出部之间的电流下降至规定的判定 允许电平Lc以下为止，无法进行电流的检测。因此，存在越是较高电平的绝缘检查，检查所 需的时间越长的问题。关于此点，在该背景技术所涉及的检查方法中，将上述检测时间tc设定为流过输 出部和布线图案A D之间的电流的检测时间(从赋予电位差开始时起到要进行电流检测 的时间为止的时间长度)。并且，该检测时间tc在各单位检查工序1 4中被设定成恒定。 但是，在将流过输出部和布线图案A D之间的电流的检测时间tc在各单位检查工序1 4中设定成恒定的构成中，还存在1个被检查基板的检查所需的时间增长，检查效率较差的 问题。
另外，在设置于被检查基板的布线图案间的绝缘不良中，除了布线图案彼此间完 全导通的通常的绝缘不良外，还包括虽然非导通但因布线图案的形成不良或尘土等在布线 图案间产生火花放电所引起的不良。根据该火花放电所引起的绝缘不良，因施加在布线图 案间的绝缘不良部位的绝缘检查用的电位差的极性不同而使得电气特性各异。例如，存在 下述例子当在2个布线图案间存在绝缘不良部位时，在以一方的布线图案为正极侧的方 式对2个布线图案间赋予检查用的电位差时不发生火花放电而未判定出绝缘不良，却在以 相同的检查方法以另一方的布线图案为正极侧的方式对2个布线图案间赋予检查用的电 位差时发生了火花放电而判定出现绝缘不良。因此，对于因极性不同带来的火花放电的有 无的变化的绝缘不良部位需要适当地应对来进行绝缘检查。[关于实施方式]图1是本发明的一实施方式涉及的基板检查方法所使用的基板检查装置的框图， 图2是表示图1的基板检查装置的要部的电路构成的一例的电路图，图3是关于图1的基 板检查装置进行检查的检查顺序的说明图。首先参照图1，对板检查装置1的构成进行概略地说明。该基板检查装置1，如图1 所示，构成为具有多个探针11、输出部12、第1及第2特性检测部13、14、电位差检测部15、 作为连接切换部发挥作用的多路调制器16及切换开关17、和控制部18，对设置在被检查基 板2的多个布线图案21间的后述的第1及第2电气特性进行检查。探针11与设置在被检查基板2的布线图案21 (或焊接在布线图案21的焊块等)， 与布线图案21分别导通。输出部12，通过控制部18的控制，借助探针11对设定为正极侧 的布线图案21和设定为负极侧的布线图案21之间赋予电位差。输出部12例如通过按照 规定的输出电平供给电流，来对正负的布线图案21间赋予电位差。第1及第2特性检测部13、14，被插入到探针11与输出部12之间的导电路(更具 体而言，为多路调制器16与输出部12的负极侧端子之间的导电路)，借助探针11来检测流 过输出部12与布线图案21之间的电流。对于第1特性检测部13和第2特性检测部14间 的作用的差别将在后边叙述。
电位差检测部15被设置成，借助多路调制器16可连接于在各探针11与输出部12之间的导电路，借助探针11来对通过输出部12赋予给设定为正极侧的布线图案21和设定 为负极侧的布线图案21之间的电位差进行检测。多路调制器16被插入到连接探针11与输出部12、第1及第2特性检测部13、14 和电位差检测部15的导电路中，通过后述的控制部18的控制来切换探针11与输出部12、 第1及第2特性检测部13、14和电位差检测部15间的连接关系。而且，根据后述的各单位 检查工序中的设定为正极侧的布线图案21和设定为负极侧的布线图案21的组合，利用多 路调制器16依次切换探针11侧与输出部12侧的连接关系。切换开关17被插入到连接多路调制器16与第1及第2特性检测部13、14的导电 路中，通过后述的控制部18的控制，切换借助了多路调制器16的探针11和第1及第2特 性检测部13、14的连接关系。控制部18，对多路调制器16、切换开关17及输出部12等进行控制，并且根据第1 及第2特性检测部13、14及电位差检测部15的检测结果，进行关于设置在被检查基板2的 各布线图案21间的第1及第2电气特性的判定处理。关于该控制部18的判定处理的详细 的内容将在后边叙述。接着参照图2，对探针11、输出部12、第1及第2特性检测部13、14、电位差检测部 15、多路调制器16和切换开关17的电路构成例进行说明。其中，该图2所示的电路构成例 只不过为一个例子，并不局限于此。另外，在图2所示的构成及后述的图3所示的检查顺序中，为简化说明，将对设置 在被检查基板2的布线图案21的数量为4个的情况进行说明。对4个布线图案21标注 A D的网络标号。在此后的说明中，会对标注了网络标号A D的布线图案21的标号使 用A D的标号。探针Ila Ild与作为检查对象的布线图案A D对应设置。多路调制器16中， 具有数量与受控制部18控制的探针11的数量相同的开关组31a 31d。各开关组31a 31d中设置有4个开关SWl SW4。各开关组31a 31d的开关SWl SW4的一端侧(探针 侧)的接点与对应的探针Ila Ild电连接。开关SWl用于接通、断开对应的探针Ila Ild和输出部12的正极侧端子的连接，开关SWl的另一端侧(与探针侧相反的一侧)的接 点与输出部12的正极侧端子电连接。开关SW2用于接通、断开对应的探针Ila Ild和插 入了第1及第2特性检测部13、14及切换开关17的接地用的导电路的连接，开关SW2的另 一端侧的接点与切换开关17的一端侧的接点电连接。开关SW3用于接通、断开对应的探针 Ila Ild与电位差检测部15的正极侧端子的连接，开关SW3的另一端侧的接点与电位差 检测部15的正极侧端子电连接。开关SW4用于接通、断开对应的探针Ila Ild与电位差 检测部15的负极侧端子的连接，开关SW4的另一端侧的接点与电位差检测部15的负极侧 端子电连接。其中开关SW2能够省略。另外，在本实施方式中虽然分开设置多路调制器16 和切换开关17，但亦可将切换开关17的后述的开关组32a 32d设置在多路调制器16内。切换开关17具有数量与受控制部18控制的探针11的数量相同的开关组32a 32d。各开关组32a 32d上设置有2个开关SWl 1、SW12。各开关组32a 32d的开关SWl 1， 接通、断开插入了第1特性检测部13的接地用的第1导电路33和插入了多路调制器16的 各开关SW2且与对应的各探针Ila Ild连接的导电路间的连接关系。开关SW12接通、断开插入了第2特性检测部14的接地用的第2导电路34和插入了多路调制器16的各开关 SW12且与对应的各探针Ila Ild连接的导电路的连接关系。各开关组32a 32d的开 关SW11、SW12的一端侧(探针侧)的接点与多路调制器16的对应的开关组31a 31d的 开关SW2的另一端侧的接点电连接。开关SW11、12的另一端侧(与探针侧相反的一侧)的 接点，与第1特性检测部13或第2特性检测部14的正极侧端子分别电连接。接着参照图3，对使用图1的基板检查装置的基板检查方法进行说明。在该基板检 查方法中，对设置在被检查基板2的多个布线图案A D间的绝缘性进行检查。作为关于 该绝缘性的检查项目，包括与第1及第2电气特性相关的项目。在关于第1电气特性的检查项目中，主要进行检查布线图案A D间是否被电绝 缘的通常的绝缘检查。在关于第2电气特性的检查项目中，主要进行虽然布线图案A D 间非导通但却因布线图案A D的形成不良或尘土等在布线图案A D间发生火花放电所 引起的绝缘不良的检查。
另外，在本实施方式所涉及的基板检查方法中，将设置在被检查基板2的多个布 线图案A D中的任意1个布线图案A D设定为正极侧，将除此之外的余下布线图案A D设定为负极侧，对正极侧的布线图案A D与负极侧的布线图案A D之间赋予用于检查 的电位差，来对这些布线图案A D间的第1及第2电气特性进行检查。而且，每结束1次 绝缘检查，依次更换设定为正极的布线图案A D，由此对布线图案A D的组合，按照不同 的极性各赋予2次电位差进行检查。更具体而言，如图3所示，本实施方式所涉及的基板检查方法具有数量与作为检 查对象的4个布线图案A D相同的单位检查工序1 4。在各单位检查工序1 4中，将 多个布线图案A D中的单位检查工序1 4彼此间互不相同的任意1个布线图案A D 设定为正极侧、并将该1个布线图案A D以外的布线图案A D设定为负极侧。并且，在 该状态下，通过输出部12借助探针Ila Ild对正极侧的布线图案A D与负极侧的布线 图案A D之间赋予电位差，来进行关于第1及第2电气特性的检查。这里，设置在被检查基板2上的多个布线图案A D，根据布线图案A D的长度 或作用等而分别具有种种面积。VG网络(电源布线及接地布线)与信号网络(信号布线) 相比具有极大的面积。另外，一般大多情况为，设置在被检查基板2的VG网络数量较少，而 信号网络的数量较多。其中，在图3所示的例子中，布线图案A、B为VG网络，布线图案C、D 为信号网络。另外，在布线图案A D的面积中，布线图案A为最大、布线图案B、布线图案 C、布线图案D的面积依次减小。多个单位检查工序1 4，按照面积较大的布线图案A D被设定为正极侧的单 位检查工序1 4依次执行。具体而言，是按照布线图案A被设定为正极侧的单位检查工 序1、布线图案B被设定为正极侧的单位检查工序2、布线图案C被设定为正极侧的单位检 查工序3、布线图案D被设定为正极侧的单位检查工序4的顺序来执行的。布线图案A D上产生的绝缘不良，具有布线图案A D的面积越大越容易产生 的倾向。因此，如上所述，通过按照面积较大的布线图案A D被设定为正极侧的单位检查 工序1 4来依次执行，当在布线图案A D存在绝缘不良部位时，能够在短时间内高效地 发现该绝缘不良的存在。图4是表示各单位检查工序中含有的副工序的细分项目的图。如图4所示，在第一个执行的最先单位检查工序1和最后一个执行的最终单位检查工序4之间执行的中间单 位检查工序3、4，具有第1副工序、第2副工序及第3副工序。最先单位检查工序1具有第 1副工序及第3副工序。最终单位检查工序4具有第2副工序及第3副工序。在第1及第 2副工序中，执行关于上述的第1电气特性的检查，在第3副工序中，执行关于上述的第2电 气特性的检查。 首先，对第1副工序和第2副工序的不同进行说明。在执行中的单位检查工序1 4中，在设定为负极侧的布线图案A D中，含有在之前(执行完毕)单位检查工序1 4 中尚未被设定过正极侧的布线图案A D (第1组的布线图案A D)、和已经被设定过正极 侧的布线图案A D (第2组的布线图案A D)。第1副工序是用来关于在被设定为负极 侧的第1组的布线图案A D和设定为正极侧的布线图案A D之间，进行与第1电气特 性有关的检查的工序。第2副工序是用于关于在被设定为负极侧的第2组的布线图案A D和设定为正极侧的布线图案A D之间，进行与第1电气特性有关的检查的工序。其中， 由于在最先单位检查工序1中被设定为负极侧的布线图案B D都属于第1组，因此省略 第2副工序，且由于在最终单位检查工序4中被设定为负极侧的布线图案A C都属于第 2组，因此省略第1副工序。在第1副工序中，在借助探针Ila Ild通过输出部12对被设定为正极侧的布线 图案A D与被设定为负极侧的第1组的布线图案A D之间赋予电位差的状态下，利用 第1特性检测部13借助探针Ila Ild对流过被设定为负极侧的第1组的布线图案A D与输出部12之间的电流进行检测。伴随着该电流检测，借助探针Ila Ild利用电位差 检测部15对被设定为正极侧的布线图案A D与被设定为负极侧的布线图案A D之间 的电位差进行检测。并且，根据该检测出的电流值和电位差值(例如，根据用电位差值除以 电流值等)，算出设定为正极侧的布线图案A D与被设定为负极侧的第1组的布线图案 A D之间的虚拟的电阻值，并根据该算出的电阻值对被设定为正极侧的布线图案A D与 被设定为负极侧的第1组的布线图案A D之间的第1电气特性进行判定。例如，如果算 出的电阻值在第1基准电阻电平以上，则对于第1电气特性判定为无异常，如果算出的电阻 值不足第1基准电阻电平，则对于第1电气特性判定为有异常。此外，该第1副工序中的对赋予电位差开始后的电流值及电位差值进行检测的时 间ta(参照图5)，由存储在控制部18中的第1检测时间所决定。该时间ta被设定为流过 布线图案A D与输出部12之间的电流值从刚开始赋予电位差后瞬间上升的值下降至第1 判定允许电平La以下的时间，其中第1判定允许电平La是为了以高电平来检测布线图案 A D间的虚拟电阻值而求出的。另外，通过控制部18进行关于此时的电阻值的算出及判 定等的信息处理。在第2副工序中，在借助探针Ila Ild通过输出部12对被设定为正极侧的布线 图案A D与被设定为负极侧的第2组的布线图案A D之间赋予电位差的状态下，利用 第2特性检测部14借助探针Ila Ild对流过设定为负极侧的第2组的布线图案A D与 输出部12之间的电流进行检测。伴随着该电流检测，借助探针Ila Ild利用电位差检测 部15对被设定为正极侧的布线图案A D与被设定为负极侧的布线图案A D之间的电 位差进行检测。并且，根据该检测出的电流值和电位差值(例如，根据用电位差值除以电流 值等)，算出设定为正极侧的布线图案A D与被设定为负极侧的第2组的布线图案A D之间的虚拟的电阻值，并根据该算出的电阻值对被设定为正极侧的布线图案A D与被设 定为负极侧的第2组的布线图案A D之间的第1电气特性进行判定。例如，如果算出的 电阻值在第2基准电阻电平以上，则对于第1电气特性判定为无异常，当算出的电阻值为不 足第2基准电阻电平，则对于第1电气特性判定为有异常。此外，该第2副工序中的对赋予电位差开始后的电流值及电位差值进行检测的时 间tb(参照图5)，由存储在控制部18中的第2检测时间所决定，第2检测时间被设定为比 上述的第1时间提前的时间。该时间tb被设定为流过布线图案A D与输出部12之间的 电流值从刚开始赋予电位差后瞬间上升的值下降至第2判定允许电平Lb以下的时间，其中 第2判定允许电平Lb是为了以低于第1副工序的检测电平的电平来检测布线图案A D 间的虚拟电阻值而求出的。另外，通过控制部18进行关于此时的电阻值的算出及判定等的 信息处理。在执行第1及第2副工序的中间单位检查工序2、3中，同时并行处理第1及第2 副工序。这里，对于各单位检查工序1 4中的多路调制器16的开关组31a 31d的各开 关SWl SW4、及切换开关17的开关组32a 32d的各开关SW11、SW12的切换动作进行说明。在第1个执行的最先单位检查工序1中，由于将布线图案A连接于输出部12的 正极侧端子部，将布线图案B D接地，因此使多路调制器16的开关组31a的开关SWl为 ON、开关SW2为OFF、开关组31b 32d的开关SWl为OFF、开关SW2为ON。另外，使切换开 关17的开关组32b 32d的开关SWll为ON、开关SW12为0FF，由此能够利用第1检测部 13来检测从负极侧的第1组的布线图案B D流向地面的电流。另外，由于利用电位差检 测部15检测正极侧的布线图案A与负极侧的布线图案B D之间的电位差，因此使多路调 制器16的开关组31a的开关SW3为0N、开关SW4为0FF，并且使开关组31b 31d的开关 SW3 为 OFF、开关 SW4 为 0N。在第2个执行的中间单位检查工序2中，由于将布线图案B连接于输出部12的正 极侧端子部，将布线图案A、C、D接地，因此使多路调制器16的开关组31b的开关SWl为0N、 开关SW2为OFF、开关组31a、31c、32d的开关SWl为OFF、开关SW2为0N。另外，使切换开关 17的开关组32c、32d的开关SWll为0N、开关SW12为0FF，并且使开关组32a的开关SWll 为OFF、开关SW12为0N。由此，能够利用第1检测部13检测从负极侧的第1组的布线图案 C、D流向地面的电流，并且能够利用第2检测部14检测从负极侧的第2组的布线图案A流 向地面的电流。另外，由于利用电位差检测部15检测正极侧的布线图案B与负极侧的布线 图案A、C、D之间的电位差，因此使多路调制器16的开关组31b的开关SW3为0N、开关SW4 为0FF，并且使开关组31a、31c、31d的开关SW3为OFF、开关SW4为0N。在第3个执行的中间单位检查工序3中，由于将布线图案C连接于输出部12的正 极侧端子部，将布线图案A、B、D接地，因此使多路调制器16的开关组31c的开关SWl为0N、 开关SW2为OFF、开关组31a、31b、32d的开关SWl为OFF、开关SW2为0N。另外，使切换开 关17的开关组32d的开关SWll为0N、开关SW12为0FF，并且开关组32a、32b的开关SWll 为OFF、开关SW12为0N。由此，能够利用第1检测部13检测从负极侧的第1组的布线图案 D流向地面的电流，并且能够利用第2检测部14检测从负极侧的第2组的布线图案A、B流向地面的电流。另外，由于利用电位差检测部15检测正极侧的布线图案C与负极侧的布线 图案A、B、D之间的电位差，因此使多路调制器16的开关组31c的开关SW3为ON、开关SW4 为OFF，并且使开关组31a、31b、31d的开关SW3为OFF、开关SW4为ON。在第4个执行的中间单位检查工序4中，由于将布线图案D连接于输出部12的正 极侧端子部，将布线图案A C接地，因此使多路调制器16的开关组31d的开关SWl为ON、 开关SW2为OFF、开关组31a 32c的开关SWl为OFF、开关SW2为ON。另外，使切换开关 17的开关组32a 32c的开关SWll为OFF、开关SW12为0N，由此，能够利用第2检测部14 检测从负极侧的第2组的布线图案A C流向地面的电流。另外，由于利用电位差检测部 15检测正极侧的布线图案D与负极侧的布线图案A C之间的电位差，因此使多路调制器 16的开关组31d的开关SW3为ON、开关SW4为OFF，并且使开关组31a 31c的开关SW3为 OFF、开关 SW4 为 ON。在各单位检查工序1 4中，当对布线图 案A D间赋予电位差时，流过输出部12 与布线图案A D之间的电流，如图5的图形Ga、Gb所示，在由输出部12对布线图案A D间刚开始赋予电位差后并不稳定，随着布线图案A D逐渐带电，而逐渐地趋向于一定的 值(例如，完全绝缘时成为零)。另外，在正负的布线图案A DAI间产生的电位差，也如 图6的图表所示，由输出部12对布线图案A D间开始赋予电位差时的零起，随着布线图 案A D逐渐带电，而逐渐趋向于一定的值。其中，图5的图形Ga示出在各单位检查工序 1 4中的流过设定为负侧的第1组的布线图案A D与输出部12之间的电流随时间的推 移而发生的变化。另外，图5的图形Gb示出在各单位检查工序1 4中的流过设定为负侧 的第2组的布线图案A D与输出部12之间的电流随时间的推移而发生的变化。因此，在根据流过输出部12与布线图案A D之间的电流值和对正负的布线图案 A D间赋予的电位差值而取得关于正负的布线图案A D间的电阻值的信息时，为了取得 关于电阻值的更正确的信息，优选在由输出部12对布线图案A D间开始赋予电位差起经 过充足的时间后，进行电流值及电位差值的检测。另外，在应用了本实施方式所涉及的基板检查方法的基板检查装置1中，利用上 述的系统构成上的制约，若想以更高的电平检测出布线图案A D间的绝缘性，则在下述的 时刻进行电流的检测，即，从对布线图案A D间开始赋予电位差后流过布线图案A D与 输出部12之间的电流下降至与绝缘性的检测电平对应的更低的判定允许电平La、Lb以下 的时刻。因此，在本实施方式中，在各单位检查工序中，将设定为负侧的布线图案A D分 为第1组和第2组，利用第1或第2特性检测部13、14按照各组检测流过负侧的布线图案 A D和输出部12之间的电流，因此，能够缩短从输出部12对布线图案A D间开始赋予 电位差时起到流过负侧的各组的布线图案A D与输出部12之间的电流下降至规定的判 定允许电平La、Lb以下为止的时间。结果，能够在从开始对布线图案A D间赋予电位差 起以较短的时间检测出流过布线图案A D与输出部12之间的电流，能够对布线图案A D间的绝缘性(第1电气特性)进行检查，这样也就不会使检查的信赖性降低，实现检查时 间的缩短。另外，在本实施方式中，关于布线图案A D间的各组合，由于正反地改变电位差 的施加方向，而进行2次关于第1电气特性的检查，因此在该2次的检查中，对于以正方向赋予电位差的第1副工序而言，较长地设定从开始赋予电位差时起到检测电流值及电位差值的第1检测时间ta的时间。由此，更加正确地取得了关于布线图案A D间的电阻值的 信息，对第1电气特性进行更为正确的判定。另外，对于反方向赋予电位差的第2副工序而言，将从开始赋予电位差时起到检 测电流值及电位差值的第2检测时间tb的时间设定得比第1副工序的第1检测时间ta提 前。由此，实现第2副工序所检查的检查时间的缩短。此外，对于此刻设定为负极侧的第2 组的布线图案A D与被设定为正极侧的布线图案A D的组合而言，由于在之前的单位 检查工序中已经由第1副工序进行了正方向的检查，因此即便提前电流值及电位差值的检 测时间，也能够维持关于第1电气特性的检查的信赖性。因此，在各单位检查工序1 4中，在进行了第1副工序的检查的最先单位检查工 序1及各中间单位检查工序2、4中，需要与第1检测时间ta对应的检查时间，但在只进行 第2副工序的检查的最终单位检查工序4中，则以与第2检测时间tb对应的检查时间结束 检查。因此，能够将关于各布线图案A D间的第1电气特性的检查所需的全部的检查时 间缩短最终单位检查工序4中检查时间的缩短量，实现了检查效率的提高。而且，在对各布 线图案A D间进行的利用第1及第2副工序的正反2次的检查中，由于在利用第1副工 序进行的第1次(正方向)的检查中，更长地设定了从输出部12对布线图案A D间开始 赋予电位差起到进行电流值及电压值的检测为止的时间，因此也不用担心会因缩短第2副 工序进行的第2次(反方向)的检查的检查时间而导致检查精度的降低。另外，在本实施方式中，由于将在各布线图案A D间进行的正反2次的检查分为 使用第1特性检测部13的第1副工序、和使用第2特性检测部14的第2副工序，因此当在 任意的单位检查工序1 4中，在布线图案A D间发现绝缘不良等的不良时，能够辨别不 良是发生在第1组的负极侧的布线图案A D与正极侧的布线图案A D之间，还是发生 在第2组的负极侧的布线图案A D与正极侧的布线图案A D之间。另外，在本实施方式中，对于布线图案A D间的绝缘性，在第1副工序中检查是 否具有例如100ΜΩ级的绝缘性，在第2副工序中检查是否具有例如1ΜΩ级的绝缘性。另外，在各单位检查工序1 4中，当利用输出部12对正极侧的布线图案A D 与负极侧的布线图案A D之间赋予电位差时，流过输出部12与布线图案A D之间的电 流到稳定为止所需的时间，由于与由正负的布线图案A D构成的电容器的容量有关，因此 存在设定为正极侧的布线图案A D的面积越大时间越长的倾向。因此，在本实施方式中，单位检查工序1 3中的从输出部12开始赋予电位差起 到第ι副工序中的第1检测时间ta为止的时间，随着1个单位检查工序1、2的结束而逐渐 缩短。其与多个单位检查工序1 4按照面积更大的布线图案A D被设定为正极侧的单 位检查工序1 4的顺序依次执行的情况相对应。由此，能够将单位检查工序1 3中的 由第1检测时间ta规定的检查时间设定成与被设定为正极侧的布线图案A D的面积相 应的适当且更短的时间。而且，优选地，对于单位检查工序2 4中的从输出部12开始赋予电位差时起到 第2副工序中的第2检测时间tb为止的时间而言，最好也随着1个单位检查工序2、3的结 束而逐渐缩短。能够将最终单位检查工序4中由第2检测时间tb规定的检查时间设定成 与被设定为正极侧的布线图案D的面积对应的适当且更短的时间。
此外，在本实施方式中，将第1副工序的第1检测时间ta按照第1个的最先单位 检查工序1、第2个的中间单位检查工序2及第3个的中间单位检查工序3的顺序，依次设 定为tal、ta2、ta3(tal > ta2 > ta3)。并且将第2副工序的第2检测时间tb按照第2个 的中间单位检查工序2、第3个的中间单位检查工序3及最后的最终单位检查工序4的顺 序，依次设定为tbl、tb2、tb3(tbl > tb2 > tb3)。此外，相同的各单位检查工序2、3内的 第1检测时间ta与第2检测时间tb的关系为ta2 > tb2、ta3 > tb3。接着、对第3副工序进行说明。在第3副工序中，伴随着第1及第2副工序的执行， 在利用输出部12对正负的布线图案A D间赋予电位差时的负的布线图案A D间的电 位差的值的随时间而变化的形态，根据该 变化的形态，对正负的布线图案A D间执行关于 第2电气特性的检查。在本实施方式中，如上所述作为关于第2电气特性的检查，检查是否 有基于正负的布线图案A D间的火花放电所引起的绝缘不良。更具体而言，在各单位检查工序1 4中，当对正负的布线图案A D赋予电位差 时，如果正负的布线图案A D中没有由火花放电引起的绝缘不良，则正负的布线图案A D间的电位差的值，会如图6实线所示的图形Gl那样从零开始平顺地逐渐上升至恒定的值。 与此相对，当在正负的布线图案A D中产生了由火花放电引起的绝缘不良时，正负的布线 图案A D间的电位差值，在该上升的过程中，伴随着火花放电的发生，会如图6的虚拟线 所示的图形G2那样暂时下降。因此，在该第3副工序中，通过监视在利用输出部12对正负 的布线图案A D间赋予电位差时的正负的布线图案A D间的电位差在上升过程中是否 有暂时下降G2a，能够准确地检查出在正负的布线图案A D间是否有由火花放电引起的绝 缘不良。此外，第3副工序中的正负的布线图案A D间的电位差的检测是利用电位差检 测部15来进行的，对于通过电位差检测部15检测出的电位差的值随时间而变化的样子的 监视及判定等是通过控制部18来进行的。另外，在本实施方式中，由于是在各布线图案A D间按照正反2方向赋予电位差 来对各布线图案A D间的由火花放电引起的绝缘不良进行检查，因此对于因极性不同而 导致电气特性各异的绝缘不良部位能够适当地应对，来进行布线图案A D间的绝缘检查， 实现了检查精度的提高。以下对该检测精度提高的原理进行说明。在布线图案21间产生的绝缘不良部位例如是，由于尘土等异物、或因蚀刻不良而 残留有布线图案21形成中的无用的布线材料等而产生的。该绝缘不良部位31，有时会因异 物、布线材料的蚀刻残余部的形状、与相邻的布线图案21之间的隙间寸法等缘故，在对绝 缘不良部位41赋予的绝缘检查用的电位差的极性不同时，绝缘不良部位41上的电位差赋 予时的电荷的分布状态等各异，显示不同的电气特性。图7(a)及图7(b)，是表示利用本实施方式所涉及的基板检查方法的第3副工序， 对因极性不同而电气特性各异的绝缘不良部位进行绝缘检查的样子的图。在该图7(a)及 图7(b)所示的绝缘不良部位41的例子中，生成有从布线图案B向布线图案A侧呈突起状 突出的蚀刻残余部42。在这种绝缘不良部位41中有时存在下述的情形，即，如图7(a)所示，将布线图案 A设定为正极侧、布线图案B设定为负极侧，在对这2个布线图案A、B间赋予电位差时，电 荷亦很难向蚀刻残余部42的顶端部42a集中，因此不会在布线图案A、B间发生火花放电，不被判定为绝缘不良。另外如图7(b)所示，在将布线图案A设定为负极侧、布线图案B设 定为正极侧，在对这2个布线图案A、B间赋予电位差时，由于电荷容易向蚀刻残余部42的 顶端部42a集中，因此在布线图案A、B间发生火花放电，判定为绝缘不良。像这样，通过对 换极性，并对布线图案21间赋予检查用的电位差，对于图7(a)及图7(b)所示那样的因极 性不同而电气特性各异的绝缘不良部位41，能够防止漏检，从而实现了检查精度的提高。另外，根据本实施方式所涉及的检查方法，当进行各单位检查工序1 4内的第1 及第2副工序时，利用通过输出部12对布线图案A D间赋予电位差时的布线图案A D 间的电位差随时间的变化，能够进行第3副工序的检查，因此不会延长检查时间地将第3副 工序追加到各单位检查工序1 4中。此外，在上述的实施方式中，对于多个单位检查工序1 4而言，按照面积更大的 布线图案A D被设定为正极侧的单位检查工序1 4的顺序依次执行。作为关于此点的 变形例，亦可将多个单位检查工序1 4按照该各单位检查工序1 4中被设定为正极侧 的布线图案A D的面积的不同而分为多个工序组，依次执行属于被设定为正极侧的布线 图案A D的面积更大的工序组的单位检查工序1 4。作为具体例，亦可将多个单位检查 工序1 4分为VG网络的布线图案A、B被设定为正极侧的第1工序组、和信号网络的布线 图案C、 D被设定为正极侧的第2工序组。此时，依次对属于第1工序组的单位检查工序A、 B、及之后的属于第2工序组的单位检查工序C、D进行检查。其中，相同工序组内的单位检 查工序的顺序为任意。另外，如上述的变形例所述，当将多个单位检查工序1 4分为多个工序组时，亦 可使各单位检查工序ι 4中的从输出部12开始赋予电位差起到第1副工序中的第1检 测时间ta为止的时间，根据属于1个工序组的全部的单位检查工序1 4的结束而逐渐缩 短。例如，在将多个单位检查工序1 4分为第1及第2工序组时，在属于第1工序组的单 位检查工序1、2中使用相同的第1检测时间ta。并且，随着属于第1工序组的全部单位检 查工序1、2结束，使第1检测时间ta提前，在属于第2工序组的单位检查工序3、4中，按照 该提前的第1检测时间ta进行检查。此外，对于第2副工序中使用的第2检测时间tb，亦 可按照工序组单位依次提前。另外，在上述的实施方式中，使用第1及第2特性检测部13、14检测出的电流值和 电位差检测部15检测出的电位差值，来进行各单位检查工序1 4的第1及第2副工序中 的正负的布线图案A D间的虚拟电阻值的算出。作为关于此点的变形例，亦可根据第1 及第2特性检测部13、14检测出的电流值、和对应于输出部12的输出电平而预先在控制部 18中登录的电位差值，来算出布线图案A D间的虚拟电阻值。另外，在上述的实施方式中，对多个探针11设置2个特性检测部，使该2个特性检 测部发挥第1及第2特性检测部13、14的作用。作为关于此点的变形例，亦可按照各探针 11单独设置第1及第2特性检测部13、14，根据各第1特性检测部13的检测电流值或各第 2特性检测部14的检测电流值的相加值来判定第1电气特性。或者作为又一其他变形例， 还可按照各探针11来设置1个特性检测部。此时，当与各特性检测部所对应的探针11连 接的布线图案A D在各单位检查工序1中属于负极侧的第1组时，该特性检测部起到第 1特性检测部的作用，当与各特性检测部所对应的探针11连接的布线图案A D在各单位 检查工序1中属于负极侧的第2组时，该特性检测部起到第2特性检测部的作用。
权利要求
一种基板检查方法，其是对设置在被检查基板上的多个布线图案的电气特性进行检查的方法，其特征在于，在该基板检查方法中，使用与设置在所述被检查基板上的所述多个布线图案导通的多个探针、借助所述探针对所述布线图案间赋予电位差的输出部、和检测流过所述输出部和所述布线图案之间的电流的第1及第2特性检测部，所述基板检查方法具有被依次执行的多个单位检查工序，在所述各单位检查工序中，将在所述多个布线图案中的且在所述单位检查工序彼此间互不相同的任意1个布线图案设定为正极侧，并且将所述1个布线图案以外的布线图案设定为负极侧，在此状态下，利用所述输出部并借助所述探针，对正极侧的所述布线图案和负极侧的所述布线图案之间赋予电位差，所述单位检查工序具有第1副工序和第2副工序，在该第1副工序中，在第1检测时间，利用所述第1特性检测部，对流过布线图案与所述输出部之间的电流进行检测，其中，该布线图案是指在执行中的该单位检查工序中被设定为负极侧的所述布线图案中的、在之前的所述单位检查工序中未被设定过正极侧的布线图案，并根据该检测结果，对被设定为正极侧的所述布线图案、与被设定为负极侧的所述布线图案中的未被设定过正极侧的所述布线图案之间的第1电气特性进行检查，在该第2副工序中，在比所述第1检测时间提前的第2检测时间，利用所述第2特性检测部，对流过布线图案与所述输出部之间的电流进行检测，其中，该布线图案是指在执行中的该单位检查工序中被设定为负极侧的所述布线图案中的、在之前的所述单位检查工序已被设定过正极侧的布线图案，并根据该检测结果，对被设定为正极侧的所述布线图案、与被设定为负极侧的所述布线图案中的已被设定过正极侧的所述布线图案之间的所述第1电气特性进行检查。
2.根据权利要求1所述的基板检查方法，其特征在于，在所述多个单位检查工序之中的最初执行的最先单位检查工序和最后执行的最终单 位检查工序之间所执行的各中间单位检查工序，具备所述第1副检查工序和所述第2副检查工序，所述最先单位检查工序具备所述第1副工序，所述最终单位检查工序具备所述第2副工序。
3.根据权利要求1或2所述的基板检查方法，其特征在于，还使用借助所述探针对所述布线图案间的电位差进行检测的电位差检测部，所述各单位检查工序还具有第3副工序，在该第3副工序中，当利用所述输出部对被设定为正极侧的所述布线图案与被设定为 负极侧的所述布线图案之间赋予电位差时，根据利用所述电位差检测部检测出的正极侧的 所述布线图案与负极侧的所述布线图案之间的电位差随时间的变化情况，对正极侧的所述 布线图案与负极侧的所述布线图案之间的第2电气特性进行检查。
4.根据权利要求3所述的基板检查方法，其特征在于，在所述第3副工序中，根据利用所述电位差检测部检测出的所述电位差在上升过程中 是否有暂时下降的情况，对所述第2电气特性进行检查。
5.根据权利要求1至4中任一项所述的基板检查方法，其特征在于，从面积更大的所述布线图案被设定为正极侧的单位检查工序起依次执行所述多个单 位检查工序。
6.根据权利要求1至4中任一项所述的基板检查方法，其特征在于，所述多个单位检查工序，根据在该各单位检查工序被设定为正极侧的所述布线图案的 面积的不同而被分为多个工序组，从属于被设定为正极侧的所述布线图案的面积更大的工序组的单位检查工序起依次 执行所述多个单位检查工序。
7.根据权利要求5所述的基板检查方法，其特征在于，所述各单位检查工序中的由所述输出部开始赋予所述电位差起到所述第1副工序中 的所述第1检测时间为止的时间，随着1个所述单位检查工序的结束而逐渐缩短。
8.根据权利要求6所述的基板检查方法，其特征在于，所述各单位检查工序中的由所述输出部开始赋予所述电位差起到所述第1副工序中 的所述第1检测时间为止的时间，随着属于1个所述工序组的全部的所述单位检查工序的 结束而逐渐缩短。
全文摘要
本发明提供不会降低检查精度而缩短检查时间提高检查效率的基板检查方法。在依次执行的各单位检查工序(1～4)中，将互不相同的任意1个布线图案(A～D)设定为正极侧、其他的布线图案(A～D)设定为负极侧，对该正负的布线图案(A～D)间赋予电位差，根据流过布线图案与输出部之间的电流值检查正负的布线图案(A～D)间的电气特性。在各单位检查工序(1～4)中，利用第1特性检测部对负极侧的布线图案(A～D)中的未被设定过正极侧的布线图案(A～D)的电流进行检测，利用第2特性检测部对已被设定过正极侧的布线图案(A～D)的电流进行检测。第2特性检测部进行的电流检测，在比第1特性检测部进行的电流检测提前的时间进行。
文档编号G01R31/00GK101937030SQ201010214210
公开日2011年1月5日 申请日期2010年6月25日 优先权日2009年6月26日
发明者山下宗宽 申请人:日本电产理德株式会社