专利名称：一种自动光学检测系统的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及微电子生产领域，尤其涉及一种自动光学检测系统。
背景技术：
AOI (Automatic Optical Inspection，自动光学检测)是液晶及微电子等行业广泛使用的测量手段，而其中AOI设备是液晶及微电子等行业广泛使用的检测设备；AOI设备可用于检测基板的表面的图型是否符合规定、是否存在由破坏性物质(破坏性异物是指嵌入在基板内部，且对基板造成实质破坏的物质)造成的坏点以及判定破坏性物质等造成的坏点的准确位置，如直接采用AOI设备对基板拍照得到较为清晰的图像，并通过对该图像的分析来对基板是否存在坏点进行检测。但是在生产环境中不可避免存在的大量浮游性异物(浮游性异物是指悬浮或贴附于基板表面，而不会对基板内部构造或者产品产生实质破坏的物质)悬浮或贴附于基板表面，而AOI设备并不能自动识别破坏性物质和浮游性异物，因此，采用AOI设备对基板进行拍照得到的图像中既包括浮游性异物也包括破坏性物质，根据此时得到的图像对基板是否存在坏点进行检测可能会存在将浮游性异物误判为破坏性物质的问题，从而影响AOI设备对基板进行检测的准确性，存在较高的误判率，还需要投入大量的人力资源和设备资源对基板进行重检。并且，AOI设备将对基板进行检测的检测结果及时的传输至维护服务器； 维护人员根据维护服务器接收到的检测结果对基板进行相应的维护操作时，可能会存在维修失误的风险，如检测结果存在误判，将非坏点误判为坏点，此时维护人员对该非坏点进行维修，影响生产效率。
实用新型内容本实用新型提供一种自动光学检测系统，以提高对基板进行检测的准确性和有效性。一种自动光学检测系统，包括自动光学检测设备、用于支撑所述自动光学检测设备的龙门架和用于放置基板的基台，还包括气帘，设置在所述龙门架上，用于在所述自动光学检测对所述基板进行检测前，分离和/或活化吸附在基板上的浮游性异物。较佳地，所述气帘包括喷口，所述喷口用于喷出分离和/或活化所述基板上的浮游性异物的高压气体。较佳地，所述喷口喷出的高压气体的压强为0. OlMPA 0. 5MPA。较佳地，所述气帘中用于喷气的喷口与所述基板平行，且所述喷口的横向宽度大于或等于所述基板的横向宽度，所述横向宽度为所述基板中与所述基板的运动方向垂直的边的宽度。较佳地，上述自动光学检测系统还包括吸附器，设置在所述龙门架上，用于在所述自动光学检测对所述基板进行检测前，吸附所述气帘分离和/或活化后的浮游性异物；所述气帘、吸附器和自动光学检测设备沿着所述基板的运动方向依次设置在所述龙门架上。较佳地，所述吸附器为高压静电吸附器或者为真空吸附器。较佳地，所述吸附器为高压静电吸附器为高压静电吸附器，且该高压静电吸附器的加电电压为5KV 200KV。所述龙门架为可水平移动、可升降的支撑架。 较佳地，所述基台表面设置有传送带，所述基板通过所述传送带在所述基台上传送。本实用新型实施例提供的自动光学检测系统，包括自动光学检测设备、用于支撑自动光学检测设备的龙门架和用于防治基板的基台，其中，用于支撑自动光学检测设备的龙门架上还设置有气帘，该气帘用于在所述自动光学检测对所述基板进行检测前，分离和/ 或活化吸附在基板上的浮游性异物，所述基板放置在所述基台上。采用本实用新型实施例提供的自动光学检测系统，由于在自动光学检测设备对基板进行检测之前通过气帘将基板表面的浮游性异物去除，从而降低了浮游性异物对自动光学检测设备对基板进行检测的影响，使得设备可以有针对性地检测和处理影响产品品质的非浮游性异物，提高了自动光学检测设备对基板进行检测的准确性和有效性。
图1为本实用新型实施例中的自动光学检测系统的结构示意图之一；图2为本实用新型实施例中的自动光学检测系统的结构示意图之二 ；图3为本实用新型实施例中气帘和基板的位置关系结构图；图4为本实用新型实施例中采用如图2所示的自动光学检测系统对基板进行检测的结构示意图。
具体实施方式
针对现有技术存在的上述技术问题，本实用新型实施例提供一种自动光学检测系统，以提高对基板进行检测的准确性和有效性；该自动光学检测系统可包括自动光学检测设备、用于支撑所述自动光学检测设备的龙门架和用于放置基板的基台，还包括气帘， 设置在所述龙门架上，用于在所述自动光学检测对所述基板进行检测前，分离和/或活化吸附在基板上的浮游性异物。采用本实用新型实施例提供的自动光学检测系统，由于在自动光学检测设备对基板进行检测之前通过气帘将基板表面的浮游性异物去除，从而降低了浮游性异物对自动光学检测设备对基板进行检测的影响，使得设备可以有针对性地检测和处理影响产品品质的非浮游性异物，从而提高自动光学检测设备对基板进行检测的准确性和有效性，尤其对于掩模板表面的浮游性异物的去除具有较为明显的作用。下面结合说明书附图对本实用新型技术方案进行详细的描述。参见图1，为本实用新型实施例中的自动光学检测系统的结构示意图，该自动光学检测系统包括自动光学检测设备1、用于支撑所述自动光学检测设备1的龙门架2和用于放置基板3的基台4，还包括气帘5，设置在龙门架2上，用于在自动光学检测设备1对基板3进行检测前，分离(分离是指使得贴附在基板3表面的浮游性异物脱落)或活化(活化是指使嵌入基板3的浮游性异物松动，便于静电吸附)吸附在基板3上的浮游性异物6，所述基板3放置在基台 4上。较佳地，为提高对基板3上的浮游性异物去除的有效性，上述自动光学检测系统还包括吸附器7，如图2所示吸附器7，设置在龙门架2上，用于在自动光学检测设备1对基板3进行检测前，吸附气帘5分离和/或活化后的浮游性异物；气帘5、吸附器7和自动光学检测设备1沿着基板3的运动方向依次设置在龙门架2上。较佳地，本实用新型实施例中的气帘5可以设置为可喷出用于分离和/或活化基板3上的浮游性异物的高压气体的气帘。气帘5上设置有用于喷出分离和/或活化所述基板上的浮游性异物的高压气体的喷口。较佳地，为提高对浮游性异物进行分离和/或活化的有效性，气帘5喷出的高压气体的压强为0. OlMPA 0. 5MPA。本实用新型实施例中的气帘5可以为超音速气帘。较佳地，为进一步提高气帘5对基板3上的浮游性异物进行分离和/或活化的均勻性，气帘5中的喷口与基板3平行，且所述喷口的横向宽度dl大于或等于基板3的横向宽度d2，横向宽度是指基板3中与基板3的运动方向垂直的边的宽度，如图3所示。较佳地，为进一步提高对浮游性异物进行分离和/或活化的有效性，气帘5与基板 3平行，且气帘5与基板3的距离L为10毫米 200毫米，如图3所示。较佳地，本实用新型实施例中的吸附器7可以为高压静电吸附器或真空吸附器。较佳地，本实用新型实施例中的吸附器7为高压静电吸附器，且该高压静电吸附器的加电电压为5KV 200KV。较佳地，为提高对基板3进行检测的准确性，本实用新型实施例中的自动光学检测设备1的检测头采用CCD (Charge-Coupled Device,电荷耦合元件)图像传感器或TDI图像传感器。较佳地，为更好的调节气帘5和吸附器7相对于基板3的位置，本实用新型实施例中，龙门架2可设置为可水平移动和可升降的支撑架。本实用新型实施例中，龙门架2可以为独立于基台4的独立支撑架，也可以是固定设置在基台4上的支撑架，可根据实际需要灵活设置。本实用新型实施例中，基台4上设置有传送带，基板3通过传送带在基台4上传送，且基板3在传送过程中，气帘5对该基板上的浮游性异物进行分离和/或活化，如图4 所示。本实用新型实施例提供的自动光学检测系统，包括自动光学检测设备、用于支撑自动光学检测设备的龙门架和用于防治基板的基台，其中，所述龙门架上还设置有用于支撑自动光学检测设备的龙门架上还设置有气帘，该气帘用于在所述自动光学检测对所述基板进行检测前，分离和/或活化吸附在基板上的浮游性异物。采用本实用新型实施例提供的自动光学检测系统，由于在自动光学检测设备对基板进行检测之前通过气帘将基板表面的浮游性异物去除，从而降低了浮游性异物对自动光学检测设备对基板进行检测的影响， 使得设备可以有针对性地检测和处理影响产品品质的非浮游性异物，从而提高了自动光学
5检测设备对基板进行检测的准确性和有效性。 显然，本领域的技术人员可以对本实用新型进行各种改动和变型而不脱离本实用新型的精神和范围。这样，倘若本实用新型的这些修改和变型属于本实用新型权利要求及其等同技术的范围之内，则本实用新型也意图包含这些改动和变型在内。
权利要求1.一种自动光学检测系统，包括自动光学检测设备、用于支撑所述自动光学检测设备的龙门架和用于放置基板的基台，其特征在于，还包括气帘，设置在所述龙门架上，用于在所述自动光学检测设备对所述基板进行检测前，分离和/或活化吸附在基板上的浮游性异物。
2.如权利要求1所述的自动光学检测系统，其特征在于，所述气帘包括喷口，所述喷口用于喷出分离和/或活化所述基板上的浮游性异物的高压气体。
3.如权利要求2所述的自动光学检测系统，其特征在于，所述喷口喷出的高压气体的压强为 0. OlMPA 0. 5MPA。
4.如权利要求2所述的自动光学检测系统，其特征在于，所述喷口与所述基板平行，且所述喷口的横向宽度大于或等于所述基板的横向宽度，所述横向宽度为所述基板中与所述基板的运动方向垂直的边的宽度。
5.如权利要求1 4任一项所述的自动光学检测系统，其特征在于，还包括吸附器，设置在所述龙门架上，用于在所述自动光学检测设备对所述基板进行检测前， 吸附所述气帘分离和/或活化后的浮游性异物；所述气帘、吸附器和自动光学检测设备沿着所述基板的运动方向依次设置在所述龙门1 ο
6.如权利要求5所述的自动光学检测系统，其特征在于，所述吸附器为高压静电吸附器或者为真空吸附器。
7.如权利要求6所述的自动光学检测系统，其特征在于，所述吸附器为高压静电吸附器，且该高压静电吸附器的加电电压为5KV 200KV。
8.如权利要求1所述的自动光学检测系统，其特征在于，所述龙门架为可水平移动、可升降的支撑架。
9.如权利要求1所述的自动光学检测系统，其特征在于，所述基台表面设置有传送带， 所述基板通过所述传送带在所述基台上传送。
专利摘要本实用新型公开了一种自动光学检测系统，以提高对基板进行检测的准确性和有效性。自动光学检测系统，包括自动光学检测设备、用于支撑所述自动光学检测设备的龙门架和用于放置基板的基台，还包括气帘，设置在所述龙门架上，用于在所述自动光学检测设备对所述基板进行检测前，分离和/或活化吸附在基板上的浮游性异物，所述基板放置在所述基台上。采用本实用新型实施例提供的自动光学检测系统，由于在自动光学检测设备对基板进行检测之前通过气帘将基板表面的浮游性异物去除，从而降低了浮游性异物对自动光学检测设备对基板进行检测的影响，从而提高了自动光学检测设备对基板进行检测的准确性和有效性。
文档编号G01N21/88GK201984043SQ20112007875
公开日2011年9月21日 申请日期2011年3月23日 优先权日2011年3月23日
发明者徐涛 申请人:京东方科技集团股份有限公司, 北京京东方显示技术有限公司