专利名称：能够测试电子性能与光特性的电子元件测试机具的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及一种电子元件测试机具，尤指一种可调整该电性测试模块的水平度与θ角度，而使该电性测试模块其所有探针都能稳固准确接触待测的电子元件，进而使本实用新型可达到提升测试合格率与效率的功效。
背景技术：
一般的电子元件测试机具，如中国台湾专利公报第1258590号「量产式发光二极管测试装置」，请参阅图1所示，其包含控制模块10与至少一积分球测试模块20及至少一测试板15，该积分球测试模块20与该控制模块10电性连接，又该积分球测试模块20设有电性输出21与光输出22，该积分球测试模块20设有光输入口 23与数个探针，另该测试板 15对应于该积分球测试模块20设置，该测试板15上放置有数个发光二极管16，凭借该积分球测试模块20设有光输入口 23与数个探针，而使该电子元件测试机具可以测试该发光二极管16的电特性与光特性，进而使该电子元件测试机具达到可同时测试电子元件的电特性与光特性的目的。该现有的电子元件测试机具，虽可达到同时测试电子元件的电特性与光特性的目的，但该电子元件测试机具并无调整该积分球测试模块20其水平度或θ角度的机构设计， 因此该测试板15其发光二极管16与积分球测试模块20其探针，两者之间常会因为共平面性(coplanarity)不佳或θ角度偏差，而使部分探针无法稳固准确地接触到待测的发光二极管16，致使测试的准确性与效率降低，进而导致该电子元件测试机具的测试合格率与产能降低，又，该测试板15与积分球测试模块20之间也无自动对位的机构设计，因此操作者须手动控制调整该测试板15的位置，如此将导致测试更为费时，进而造成使用上的不便。因此，如何将上述等缺失加以摒除，即为本案实用新型设计人所欲解决的技术困难点的所在。
发明内容有鉴于现有的电子元件测试机具，因其积分球测试模块无调整水平度或θ角度的结构设计，因此该测试板其发光二极管与积分球测试模块其探针之间容易因共平面性不佳或θ角度偏差，而使部分探针无法稳固准确地接触到待测的发光二极管，致使测试的准确性与效率降低，进而导致该电子元件测试机具的测试合格率与产能降低，因此本实用新型的目的在于提供一种能够测试电子性能与光特性的电子元件测试机具，凭借本实用新型其测试装置设有水平调整装置与旋转角调整装置，而可调整该电性测试模块的水平度与θ 角度，而使该电性测试模块其所有探针都能稳固准确接触待测的电子元件，进而使本实用新型可达到提升测试合格率与效率的功效。为实现上述目的，本实用新型采用的技术方案是—种能够测试电子性能与光特性的电子元件测试机具，其特征在于，包含一机体；[0009]一进出片装置，该进出片装置设于机体内，该进出片装置设有第一传动机构，该进出片装置设有测试平台，该测试平台固设于第一传动机构上方；一测试装置，该测试装置设于机体上，该测试装置设有第二传动机构，该第二传动机构一侧设有光特性测试模块，该测试装置设有电性测试模块，该测试装置设有至少三个水平调整装置，该水平该测试装置设有至少二个旋转角调整装置。其中该测试装置设有底座。其中该测试装置设有探针座。其中该水平调整装置设有第一穿孔与第一固定件，该第一固定件与第一穿孔相穿设。其中该旋转角调整装置设有抵部。其中该旋转角调整装置设有被抵部。其中该机体内设有控制器。其中该机体内设有马达。其中该光特性测试模块为积分球。其中该电性测试模块为探针卡。与现有技术相比较，采用上述技术方案的本实用新型具有的优点在于凭借本实用新型其测试装置设有水平调整装置与旋转角调整装置，而可调整该电性测试模块的水平度与θ角度，而使该电性测试模块其所有探针都能稳固准确接触待测的电子元件，进而使本实用新型可达到提升测试合格率与效率的功效。
图1是现有结构的示意图；图2是本实用新型的立体组合示意图；图3是本实用新型其进出片装置的示意图；图4是本实用新型其测试装置的示意图；图5是本实用新型其测试装置的部分示意图；图6是本实用新型其水平调整装置的动作前示意图；图7是本实用新型其水平调整装置的动作后示意图；图8是本实用新型其旋转角调整装置的动作前示意图；图9是本实用新型其旋转角调整装置的动作后示意图。附图标记说明10-控制模块；15-测试板；16-发光二极管；20-积分球测试模块； 21-电性输出；22-光输出；23-光输入口 ；3-机体；31-控制器；32-马达；33-输入装置； 4-进出片装置；41-第一传动机构；42-测试平台；5-测试装置；51-底座；52-CXD对位模块；53-第二传动机构；54-光特性测试模块；55-探针座；551-水平调整装置；552-第一穿孔；553-第一固定件；554-旋转角调整装置；555-被抵部；556-抵部；557-第二穿孔； 558-第二固定件；56-电性测试装置；561-探针；6-晶圆片；61-电子元件。
具体实施方式
为使贵审查员方便简捷了解本实用新型的其他特征内容与优点及其所达成的功效能够更为显现，兹将本实用新型配合附图，详细说明如下请参阅图2所示，本实用新型提供一种能够测试电子性能与光特性的电子元件测试机具，其包含一机体3，该机体3内设有控制器31，该机体3内设有马达32，该马达32与控制器 31电性连接，该机体3设有输入装置33，该输入装置33与控制器31电性连接，该输入装置 33可为键盘；一进出片装置4，该进出片装置4设于机体3内，该进出片装置4与机体3其马达 32电性连接，请配合参阅图3所示，该进出片装置4设有第一传动机构41，该进出片装置4 设有测试平台42，该测试平台42固设于第一传动机构41上方；一测试装置5，该测试装置5设于机体3上，请配合参阅图4所示，该测试装置5设有底座51，该测试装置5设有CCD (Charge Coupled Device，电荷耦合装置)对位模块52， 该CCD对位模块52设于该底座51上，该测试装置5设有第二传动机构53，该第二传动机构 53设于该底座51上，该第二传动机构53与机体3其马达32电性连接，该第二传动机构53 一侧设有光特性测试模块M，又该光特性测试模块M可为积分球，该测试装置5设有探针座55，请再配合参阅图5所示，该探针座55设于该底座51上，该测试装置5设有至少三个水平调整装置551，该水平调整装置551设于该探针座55上，该水平调整装置551设有第一穿孔552，该水平调整装置551设有第一固定件553，该第一固定件553与第一穿孔552相穿设，又该第一固定件553可为螺丝，该测试装置5设有至少二个旋转角调整装置554，该旋转角调整装置5M设有被抵部555，该被抵部555与探针座55相固设，该旋转角调整装置 554设有抵部556，该抵部556与底座51相固设，该抵部556设有第二穿孔557，该抵部556 设有第二固定件558，该第二固定件558与第二穿孔557相穿设，又该第二固定件558可为螺丝，该测试装置5设有电性测试模块56，该电性测试模块56设于该探针座55上，该电性测试模块56设有数个探针561，又该电性测试模块56可为探针卡(probe card)，另该底座 51可设有显示装置57 ；请参阅图2、图7所示，当操作者将待测的晶圆片6放置于进出片装置4其测试平台42上时，该操作者可通过输入装置33输入启动命令，该控制器31即可令马达32转动， 而使该马达32可带动进出片装置4其第一传动机构41移位，该第一传动机构41即可带动该测试平台42与晶圆片6移位至该CCD对位模块52下方进行自动对位动作，完成对位后该第一传动机构41则可将测试平台42与晶圆片6移位至该测试装置5其探针座55下方， 而该马达32可将该测试平台42升起，而使该晶圆片6其电子元件61可接触该电性测试模块56的探针561，而使该电性测试模块56可对该电子元件61进行电性测试，同时该第二传动机构53也可带动该光特性测试模块M移位至该探针座55上方，而使该光特性测试模块 54可对该电子元件61进行光特性测试，测试完成后该马达32可将测试平台42降下，再依与前述相同的动作原理，依序对该晶圆片6其他待测试的电子元件61进行测试，而可完成该晶圆片6所有电子元件61的测试，该第一传动机构41可带动测试平台42与晶圆片6回到初始位置，该操作者即可更换下一片待测试的晶圆片6，进而使本实用新型可达到同时测试电子元件61其电子性能与光特性的目的。请再参阅图6、图7所示，当该探针座55与电性测试装置56其水平度偏差，或该电性测试装置56与该晶圆片6两者未达平行时，凭借本实用新型其测试装置5设有水平调整装置551，而可调整该探针座55与电特性测试装置56的水平度，而可使该电性测试装置56 其所有探针561都能与晶圆片6其电子元件61稳固接触，而可排除现有该测试板15其发光二极管16与积分球测试模块20其探针，两者常因共平面性不佳而使部分探针无法稳固接触该发光二极管16，导致测试合格率降低的缺失，而使本实用新型可提升测试准确性与效率；又，请再参阅图8、图9所示，当该探针座55与电特性测试装置56其θ角度有偏差时，该电特性测试装置56其探针561的位置将无法准确与晶圆片6其电子元件61相对应， 凭借本实用新型其测试装置5设有旋转角调整装置554，而可调整该探针座55与电性测试装置56的θ角度，而使该电性测试装置56其所有探针561都能准确对应到该晶圆片6其电子元件61的位置，进而使本实用新型可达到提升测试合格率与效率的功效。请再参阅图2所示，凭借本实用新型其测试装置5设有CCD对位模块52，而可自动对位，而使操作者无需手动控制调整该测试平台42的位置，而可缩短测试的操作时间，进而使本实用新型可兼具达到更佳测试效率的功效。为使本实用新型更加显现出其进步性与实用性，兹与现有作一比较分析如下现有技术1、测试模块无水平或旋转角调整装置，使探针因角度或位置偏差无法稳固准确接触待测的电子元件，导致测试合格率降低。2、无法自动对位，测试的操作时间较长。本实用新型优点1、测试装置具水平与旋转角调整装置，使探针可稳固准确接触待测的电子元件， 可使测试合格率提高。2、可自动对位，测试的操作时间较短。以上说明对本实用新型而言只是说明性的，而非限制性的，本领域普通技术人员理解，在不脱离权利要求所限定的精神和范围的情况下，可作出许多修改、变化或等效，但都将落入本实用新型的保护范围之内。
权利要求1.一种能够测试电子性能与光特性的电子元件测试机具，其特征在于，包含一机体；一进出片装置，该进出片装置设于机体内，该进出片装置设有第一传动机构，该进出片装置设有测试平台，该测试平台固设于第一传动机构上方；一测试装置，该测试装置设于机体上，该测试装置设有第二传动机构，该第二传动机构一侧设有光特性测试模块，该测试装置设有电性测试模块，该测试装置设有至少三个水平调整装置，该水平该测试装置设有至少二个旋转角调整装置。
2.根据权利要求1所述的能够测试电子性能与光特性的电子元件测试机具，其特征在于该测试装置设有底座。
3.根据权利要求1所述的能够测试电子性能与光特性的电子元件测试机具，其特征在于该测试装置设有探针座。
4.根据权利要求1所述的能够测试电子性能与光特性的电子元件测试机具，其特征在于该水平调整装置设有第一穿孔与第一固定件，该第一固定件与第一穿孔相穿设。
5.根据权利要求1所述的能够测试电子性能与光特性的电子元件测试机具，其特征在于该旋转角调整装置设有抵部。
6.根据权利要求1所述的能够测试电子性能与光特性的电子元件测试机具，其特征在于该旋转角调整装置设有被抵部。
7.根据权利要求1所述的能够测试电子性能与光特性的电子元件测试机具，其特征在于该机体内设有控制器。
8.根据权利要求1所述的能够测试电子性能与光特性的电子元件测试机具，其特征在于该机体内设有马达。
9.根据权利要求1所述的能够测试电子性能与光特性的电子元件测试机具，其特征在于该光特性测试模块为积分球。
10.根据权利要求1所述的能够测试电子性能与光特性的电子元件测试机具，其特征在于该电性测试模块为探针卡。
专利摘要本实用新型提供一种能够测试电子性能与光特性的电子元件测试机具，进出片装置设于机体内，该进出片装置设有第一传动机构，该进出片装置设有测试平台，该测试平台固设于第一传动机构上方；一测试装置，该测试装置设于机体上，该测试装置设有第二传动机构，该第二传动机构一侧设有光特性测试模块，该测试装置设有电性测试模块，该测试装置设有至少三个水平调整装置，该水平该测试装置设有至少二个旋转角调整装置；凭借本实用新型其测试装置设有水平调整装置与旋转角调整装置，而可调整该电性测试模块的水平度与θ角度，而使该电性测试模块其所有探针都能稳固准确接触待测的电子元件，进而使本实用新型可达到提升测试合格率与效率的功效。
文档编号G01R31/00GK202093103SQ20112012545
公开日2011年12月28日 申请日期2011年4月26日 优先权日2011年4月26日
发明者林源记, 谢志宏, 陈圣杰 申请人:亚克先进科技股份有限公司