专利名称：一种洁净室尘埃粒子在线监控系统的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及电子监控系统，尤其涉及一种洁净室尘埃粒子在线监控系统。
背景技术：
目前洁净室采用台式尘埃粒子计数器、压差计和温湿度计等仪器进行流动式测试，首先布置采样点平面图，然后用台式尘埃粒子计数器流动式测试各个采样点的空气粒子个数，最后将数据输入电脑，整理数据，绘出尘埃粒子分布图。根据洁净室设计规范，布置采样点时，采样点个数是用洁净室面积开平方确定的。 这些点仅仅是洁净室大环境下的尘埃粒子测试点，不包括相关工序上的尘埃粒子控制点， 粒子计数传感器安装不灵活，不能检测各个工序上的尘埃粒子数。现有的多点检测装置，在每个点都使用一个气泵，而气泵是洁净室的一种新的污染源。现有在线式尘埃粒子计数器，在每个在线式尘埃粒子传感器均需要使用一个电源适配器才能供电，这样就限制了在线式尘埃粒子计数器安装位置，会导致在线式尘埃粒子计数器的采样管加长，导致采集到的尘埃粒子到达尘埃粒子计数器时变化较大。总之，现有的在线式尘埃粒子计数器虽然达到了实时监测尘埃粒子数的目的，但由于在使用过程中每台计数传感器均需一条电源适配器、一条网线，使得洁净室布置不够简洁，且发尘源增多，兼顾不到洁净度高的工序的尘埃粒子监控。网线和电源适配器目前是比较大的发尘源(集尘源)，且网线表面含有有机硅等成分，在电子行业洁净室中是禁止使用的。
实用新型内容本实用新型要解决的技术问题在于现有技术中洁净室的尘埃粒子计数器安装不灵活，且因为进行在线尘埃粒子计数而导致洁净室内集尘源增多的缺陷，提供一种可灵活安装尘埃粒子计数传感器且能够减少集尘源的洁净室尘埃粒子在线监控系统。本实用新型解决其技术问题所采用的技术方案是提供一种洁净室尘埃粒子在线监控系统，包括多个尘埃粒子计数传感器、无线路由、无线接收节点设备、路由设备和监控终端，所述尘埃粒子计数传感器安装在洁净室的多个检测点，所述尘埃粒子计数传感器包括尘埃粒子采样管、数据发射装置和光电池，所述光电池将光能转化为电能给所述尘埃粒子计数传感器供电，所述尘埃粒子采样管置于洁净室真空气路中，所述尘埃粒子计数传感器将采集的尘埃粒子数据通过所述数据发射装置无线发射给所述无线路由，所述无线路由再将接收的数据无线发送给所述无线接收节点设备， 再通过所述路由设备将数据传给所述监控终端进行在线监控。本实用新型所述的洁净室尘埃粒子在线监控系统中，所述数据发射装置包括通信接口和无线发射器，所述尘埃粒子计数传感器将采集的尘埃粒子数据经过所述通信接口转换后再通过所述无线发射器无线发送给所述无线路由。[0011]本实用新型所述的洁净室尘埃粒子在线监控系统中，所述通信接口为RS485的通
信接口。本实用新型所述的洁净室尘埃粒子在线监控系统中，所述监控终端为安装有PLC 系统、且可以根据获取的尘埃粒子数据实时监控洁净室内各检测点的尘埃粒子数的变化趋势的计算机。采用本实用新型具有以下有益效果本实用新型中的尘埃粒子计数传感器采用光电池代替原来的电源适配器，该光电池可以将如日光灯的光能转化为电能，使得尘埃粒子计数传感器的安装不受电源适配器的限制；在洁净室内采用无线路由和无线接收节点设备将尘埃粒子计数传感器采集的数据进行无线传输和接收，无需在洁净室内安装网线，避免了网线表面硅的污染，减少了洁净室内的集尘源。
下面将结合附图及实施例对本实用新型作进一步说明，附图中图1是本实用新型实施例洁净室尘埃粒子在线监控系统的结构示意图。
具体实施方式
为了使本实用新型的目的、技术方案及优点更加清楚明白，
以下结合附图及实施例，对本实用新型进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅用以解释本实用新型，并不用于限定本实用新型。在本实用新型的较佳实施例洁净室尘埃粒子在线监控系统中，如图1所示，包括多个尘埃粒子计数传感器，如尘埃粒子计数传感器al、a2…aN，该系统还包括无线路由20、 无线接收节点设备30、路由设备40和监控终端50。多个尘埃粒子计数传感器分别安装在洁净室的多个检测点，本实用新型中的尘埃粒子计数传感器的结构都相同，以尘埃粒子计数传感器al为例，包括尘埃粒子采样管11、 数据发射装置12和光电池13，光电池13将光能(如日光灯的光)转化为电能给尘埃粒子计数传感器供电，而无需为每个尘埃粒子计数传感器都配备一个电源适配器，尘埃粒子计数传感器的安装也不受电源适配器的限制(因为电源适配器需要插在电源插座上)，从而可以灵活安装在洁净室内的各个监测点。同时用光电池代替传统的电源适配器也减少了洁净室的发尘或集尘。本实用新型实施例洁净室尘埃粒子在线监控系统中，光电池13可采用型号为2⑶IOA的光电池。尘埃粒子采样管11置于洁净室真空气路中，从而无需为洁净室内的每个检测点安装气泵，减少了污染源。尘埃粒子计数传感器al将尘埃粒子采样管11采集的尘埃粒子数据通过数据发射装置12传输给无线路由20，无线路由20再将接收的数据无线发送给无线接收节点设备30，再通过路由设备40将数据传给监控终端50进行在线监控。本实用新型实施例洁净室尘埃粒子在线监控系统中，数据发射装置12包括通信接口和无线发射器，尘埃粒子计数传感器将采集的尘埃粒子数据经过通信接口转换后再通过无线发射器无线发送给所述无线路由。本实施例中，通信接口采用型号为RS485的通信接口。进一步地，本实用新型实施例洁净室尘埃粒子在线监控系统中，无线路由20和无
4线接收节点设备30置于洁净室内，其采用无线传输技术，无需使用网线，从而避免了网线表面硅的污染，减少了集尘源。路由设备40和监控终端50置于洁净室外，便于远程在线监控。本实用新型实施例的监控终端50可以对多个洁净室所测得的数据进行在线监测，每个洁净室的无线接收节点设备30将数据传输给路由设备40后，路由设备40可通过有线方式再将数据传给监控终端50。本实用新型实施例洁净室尘埃粒子在线监控系统中，监控终端50为安装有PLC 系统(PLC Programmable Logic Control，即可编程逻辑控制系统)、且可以根据获取的尘埃粒子数据实时监控洁净室内各检测点的尘埃粒子数的变化趋势的计算机，在监控终端50 安装PLC控制软件，实现尘埃粒子的实时在线监控。在监控终端50可设置相应网关，路由设备40必须通过该网关才能将数据传送给监控终端50。采用本实用新型具有以下有益效果本实用新型中的尘埃粒子计数传感器采用光电池13代替原来的电源适配器，该光电池13可以将如日光灯的光能转化为电能，使得尘埃粒子计数传感器的安装不受电源适配器的限制；在洁净室内采用无线路由20和无线接收节点设备30将尘埃粒子计数传感器采集的数据进行无线传输和接收，无需在洁净室内安装网线，避免了网线表面有机硅的污染，减少了洁净室内的集尘源。另外，尘埃粒子计数传感器中采用不超过1米的尘埃粒子采样管11，使得测量的数据更准确。应当理解的是，对本领域普通技术人员来说，可以根据上述说明加以改进或变换， 而所有这些改进和变换都应属于本实用新型所附权利要求的保护范围。
权利要求1.一种洁净室尘埃粒子在线监控系统，其特征在于，包括多个尘埃粒子计数传感器、无线路由、无线接收节点设备、路由设备和监控终端，所述尘埃粒子计数传感器安装在洁净室的多个检测点，所述尘埃粒子计数传感器包括尘埃粒子采样管、数据发射装置和光电池，所述光电池将光能转化为电能给所述尘埃粒子计数传感器供电，所述尘埃粒子采样管置于洁净室真空气路中，所述尘埃粒子计数传感器将采集的尘埃粒子数据通过所述数据发射装置无线发射给所述无线路由，所述无线路由再将接收的数据无线发送给所述无线接收节点设备，再通过所述路由设备将数据传给所述监控终端进行在线监控。
2.根据权利要求1所述的洁净室尘埃粒子在线监控系统，其特征在于，所述数据发射装置包括通信接口和无线发射器，所述尘埃粒子计数传感器将采集的尘埃粒子数据经过所述通信接口转换后再通过所述无线发射器无线发送给所述无线路由。
3.根据权利要求2所述的洁净室尘埃粒子在线监控系统，其特征在于，所述通信接口为RS485的通信接口。
4.根据权利要求1所述的洁净室尘埃粒子在线监控系统，其特征在于，所述监控终端为安装有PLC系统、且可以根据获取的尘埃粒子数据实时监控洁净室内各检测点的尘埃粒子数的变化趋势的计算机。
专利摘要本实用新型公开了一种洁净室尘埃粒子在线监控系统，包括多个尘埃粒子计数传感器、无线路由、无线接收节点设备、路由设备和监控终端，尘埃粒子计数传感器安装在洁净室的多个检测点，尘埃粒子计数传感器包括尘埃粒子采样管、通信接口和光电池，光电池将光能转化为电能给尘埃粒子计数传感器供电。本实用新型中的尘埃粒子计数传感器采用光电池代替原来的电源适配器，该光电池可以将如日光灯的光能转化为电能，使得尘埃粒子计数传感器的安装不受电源适配器的限制；洁净室内采用无线路由和无线接收节点设备将尘埃粒子计数传感器采集的数据进行无线传输和接收，无需在洁净室内安装网线，避免了网线表面有机硅的污染，减少了洁净室内的集尘源。
文档编号G01N15/10GK202256115SQ20112033417
公开日2012年5月30日 申请日期2011年9月7日 优先权日2011年9月7日
发明者张强, 朱春媛, 管映亭 申请人:深圳市新纶科技股份有限公司