专利名称：多孔板表面检查方法以及多孔板表面检查装置的制作方法
技术领域：
本发明涉及对具有多个透孔部的多孔板进行摄像，基于此摄像的影像来检查多孔板表面的多孔板表面检查方法以及多孔板表面检查装置。
背景技术：
近年来，各种在板材表面照射照明光，对在表面反射的反射光进行摄像，基于此摄像的影像检查板材表面的技术被提出来(例如，参照专利文献I)。在专利文献I中，作为检查萌罩板缺陷的方法，公开了以下方法:在向萌罩板的一个主面照射透过用的照明光的同时，向萌罩板的另一主面照射反射用的照明光，并且在萌罩板的另一主面侧，以接收透过萌罩板的透过光和在萌罩板的另一主面反射的反射光的的方式对萌罩板进行摄像，从而不受萌罩板附着的异物的影响，正确地检查萌罩板的缺陷。现有技术文献专利文献1:日本特开平6-341958号公报发明概要发明要解决的课题但是在现有的照射透过光和反射光以对多孔板的表面进行摄像来检查多孔板的缺陷的方法中，例如，在透过多孔板的透孔部的透过光的光量比在多孔板的表面反射的反射光的光量暗时，且在反射光和透过光之间的光量的差别很大时，有把透孔部误判为异物的危险。所以，正确检查多孔板表面的污垢、伤痕、电镀不良、异物附着等是困难的。本发明是鉴于上述课题而研发的，其目的是为了提供一种能够正确检查出多孔板的表面的污垢、伤痕、电镀不良、异物附着等的多孔板表面检查方法以及多孔板表面检查装置。发明解决课题的手段本发明的解决所述课题的多孔板表面检查方法，其特征在于，是一种对具有多个透孔部的多孔板进行摄像，基于该摄像的影像，检查多孔板表面的多孔板表面检查方法，所述多孔板表面检查方法包含:对于多孔板从该多孔板的表面侧照射反射用的照明光，并且从多孔板的背面侧照射背光用的照明光的步骤；从多孔板的表面侧对多孔板的表面进行摄像的步骤；基于该摄像的影像测定多孔板的表面反射的反射光的光量和透过多孔板的孔部的透过光的光量的步骤；为了使反射光的光量和透过光的光量相同并且变成在预先设定的范围内的光量，调节反射用的照明光和背光用的照明光的光量的步骤；在光量已调节的状态，对多孔板的表面进行摄像，基于此摄像的影像检查多孔板的缺陷的步骤。通过本发明，因为为了使反射光的光量和透过光的光量相同并且变成在预先设定的范围内的光量，而调节反射用的照明光和背光用的照明光的光量，所以能够使得进行这样光量调节后摄像的影像中的多孔板的表面和多孔板的透孔部的浓度差变小。
因此在检查多孔板缺陷的工程中，能够防止把多孔板的透孔部误认为异物，可以正确地判断多孔板的表面有无缺陷。因此在多孔板的表面有污垢、伤痕、电镀不良、异物附着等情况下能够正确地检出这些。较为理想的是，在检查多孔板的缺陷的步骤中，将在调节光量之后摄像的影像划分为多个影像范围，从多个影像范围中设定作为检查对象的影像范围的检查对象影像范围和作为比较对象的其它多个影像范围的比较对象影像范围，测定检查对象影像范围的光量和比较对象影像范围的光量，在检查对象影像范围的光量和比较对象影像范围的光量的差分在事先设定的阈值以上的情况下，判断在检查对象影像范围对应的部分存在缺陷。较为理想的是，在多孔板具有将多个透孔部配设在列方向，且将配设在该列方向的多个透孔部的列在宽度方向配设多个的构成的情况下，在检查多孔板的缺陷的步骤中，将大于一个透孔部大的，且列方向的尺寸具有从该透孔部到和位于列方向一侧的其它透孔部的分界部分的尺寸长度、宽度方向的尺寸具有从透孔部到和位于宽度方向一侧的其它透孔部的分界部分的尺寸长度的，范围设定为检查对象影像范围，并且在相对检查对象影像范围在列方向偏移的位置将具有和检查对象影像范围相同尺寸的范围设定为比较对象影像范围。另外，较为理想的是，在检查多孔板的缺陷的步骤中，在对于检查对象影像范围在各列方向上偏离的位置，设定多个比较对象影像范围。本发明的多孔板表面检查装置，其特征在于，是对具有多个透孔部的多孔板进行摄像，基于该摄像的影像，检查多孔板的表面的多孔板表面检查装置，所述多孔板表面检查装置包含:反射照明光源，其与多孔板的表面相向配置，且向多孔板的表面照射反射用的照明光；背光照明光源，其与多孔板的背面相向配置，且向多孔板的背面照射背光用的照明光；摄像部，其对多孔板的表面进行摄像；光量调节部，其基于通过摄像部摄像的影像，测定多孔板的表面反射的反射光的光量和透过多孔板的透孔部的透过光的光量，且为了使反射光的光量和透过光的光量相同并且变成在事先设定的范围内的光量，调节反射照明光源和背光照明光源的光量；以及检查部，通过光量调节部进行过光量调节的反射用的照明光和背光用的照明光照射在多孔板的状态下，基于通过摄像部摄像的影像，检查多孔板的缺陷。通过本发明，因为为了使反射光的光量和透过光的光量相同并且在事先设定的范围内，而调节反射用的照明光和背光用的照明光的光量，所以能够使得进行这样光量调节后摄像的影像中的多孔板的表面和多孔板的透孔部的浓度差变小。因此能够防止把多孔板的透孔部误认为异物，可以正确地判断多孔板的表面有无缺陷。因此能够正确地检查出在多孔板的表面有污垢、伤痕、电镀不良、异物附着等情况。进一步，检查部具有影像范围设定装置，其将通过摄像部摄像的影像划分多个影像范围，并且从该多个影像范围中设定成为检查对象的影像范围的检查对象影响范围和成为比较对象的其他影像范围的比较对象影响范围；光量测定装置，其测定通过影像范围设定装置设定的检查对象影像范围的光量和比较对象影像范围的光量；判断装置，其算出通过光量测定装置测定的检查对象影像范围的光量和比较对象影像范围的光量的差分，该差分在事先设定的阈值以上的情况下，判断在对应检查对象的影像范围的部分存在缺陷。进一步，在多孔板具有将多个透孔部配设在列方向，且将配设在该列方向的多个透孔部的列在宽度方向配设多个的构成的情况下，影像范围设定装置将大于一个透孔部大的，且列方向的尺寸具有从该透孔部到和位于列方向一侧的其它透孔部的分界部分的尺寸长度、宽度方向的尺寸具有从所述透孔部到和位于宽度方向一侧的其它透孔部的分界部分的尺寸长度的，范围设定为检查对象影像范围，并且在相对该检查对象影像范围在列方向偏离的位置将具有和检查对象影像范围相同尺寸的范围设定为比较对象影像范围。通过本发明，能够把检查对象影像范围以及比较对象影像范围的透孔部的面积和表面的面积的比例设定为定值。因此，能够使没有缺陷的范围内的光量维持一个定值，减小测定误差。因此，特别是在沿着列方向具有透孔部Wc的部分和不具有透孔部Wc部分的存在比例按规定正确排列的多孔板的情况，能够正确地进行检查。影像范围设定装置也可以在相对检查对象影像范围在各个列方向偏离的位置设定多个比较对象影像范围而构成。发明的效果通过本发明的多孔板表面检查方法以及装置，因为为了使反射光的光量和透过光的光量相同并且变成在事先设定的范围内的光量，而调节反射用的照明光和背光用的照明光的光量，所以能够使得进行这样光量调节后摄像的影像中的多孔板的表面和多孔板的透孔部的浓度差变小。因此，在检查多孔板的缺陷的工程中，能够防止把多孔板的透孔部误认为异物，可以正确地判断多孔板的表面有无缺陷。因此能够正确地检查出在多孔板的表面有污垢、伤痕、电镀不良、异物附着等情况。本说明书包含作为本申请优先权基础的日本国专利申请2010-255947号的说明书以及/或者附图中记载的内容。附图的简单说明
图1是说明本实施方式中多孔板表面检查装置的构成的立体图。图2是本实施方式中多孔板表面检查装置的构成的示意图。图3是对没有缺陷的多孔板进行摄像的影像的示意图。图4是以断面示出图3的A部的照射光以及反射光的状态的图。图5是对有缺陷的多孔板进行摄像的影像的示意图。图6是以断面示出图5的B部的照射光以及反射光的状态的图。图7是示出检查对象影像范围和比较对象影像范围的设定例中的一个示例的图。图8是示出对应于图7的比较例的图。实施发明的方式有关本发明的实施方式，在下面使用附图进行说明。图1是说明本实施方式中多孔板表面检查装置的构成的立体图，图2是本实施方式中多孔板表面检查装置的构成的示意图。多孔板表面检查装置I是检查在具有多个透孔部Wc (参考图7)的多孔板W的表面Wa是否存在污垢、伤痕、电镀不良、异物附着等缺陷的装置，对多孔板W摄像，基于该摄像的影像进行判断有无缺陷的处理。多孔板表面检查装置I具有:反射照明光源3，其向多孔板W的表面Wa照射反射用的照明光；背光照明光源2，其向多孔板W的背面照射背光用的照明光；摄像部4，其从多孔板W的表面Wa侧对多孔板W进行摄像；以及控制部5，其基于通过摄像部4摄像的影像来调节反射照明光源3和背光照明光源2的光量并检查多孔板W的缺陷(参照图2)。多孔板W例如由用于镍氢二次电池的芯体等的钢板制的带状薄板部件构成，在其两面实施了电镀处理。多孔板W通过没有图示的传送装置，以表面Wa配置在上侧的形态被沿着纵向方向按照指定的速度传送。多孔板W具有多个透孔部Wc。各透孔部Wc例如具有俯视为大致矩形的开口形状，并且以沿着多孔板W的纵向方向的方式设置在列方向。而且透孔部Wc的列在宽度方向上配设多个以并排配置。反射照明光源3配置在多孔板W的表面Wa的相对方向，为了使得遍及多孔板W的宽度方向保持一定的亮度，向多孔板W的表面Wa照射照明光。背光照明光源2配置在多孔板W的背面的相对方向，为了使得遍及多孔板W的宽度方向保持一定的亮度，向多孔板W的背面照射照明光。在本实施方式中，如图2所示，背光照明光源2具有比多孔板W在宽度方向上更突出的尺寸，使得从背光照明光源2向多孔板W的背面照射的照射光的一部分，透过透孔部Wc而成为透过光，且可被摄像部4接收。摄像部4配置在多孔板W的表面Wa的相对方向，以对包括多孔板W的表面Wa和比多孔板W的侧端部Wb更靠宽度方向外侧的部分的范围S进行摄像的方式构成。控制部5由微型计算机等构成，具备:A/D变换装置，其将由摄像部4摄像的影像从模拟影像信号向数字影像信号变换；RAM，其将通过A/D变换装置变换的数字影像信号作为影像数据进行记忆；CPU，其进行光量的调节、影像处理等各种计算处理；以及R0M，其存储各种控制CPU的程序。控制部5具有光量调节部6和检查部7。光量调节部6基于由摄像部4摄像的影像进行分别对反射照明光源3和背光照明光源2的光量进行调节的光量调节处理。检查部7在由光量调节部6进行光量调节后，对由摄像部4摄像的影像，实施影像处理，进行对多孔板W的缺陷进行检查的缺陷检查处理。光量调节部6对应作为检查对象的多孔板W的种类，在预先设定的时机进行光量调节。例如，多孔板W是镀层比较厚的马口铁板，以从卷状卷曲的状态顺序地被抽出以被检查的方式，在卷的前端侧和尾部侧的表面Wa的光泽不同的情况下，也可以和检查部7的缺陷检查处理同步一直进行光量调节。也就是说，在进行缺陷检查处理的情况下，也可以一直进行光量调节，基于在光量调节的状态摄像的影像，进行缺陷检查处理。另外，在卷的前端侧和尾部侧的表面Wa的光泽变化比较小的多孔板W的情况下，和最初的缺陷检查处理同步，可以只进行一次光量调节，省略这之后的和缺陷检查处理同步的光量调节。另外，也可以在每隔预先设定的一定的摄像次数，或者每隔一定的时间的时机进行光量调节。作为缺陷检查处理，检查部7进行影像范围设定处理，其中将摄像部4摄像的影像划分为多个影像范围，从多个影像范围中设定作为检查对象的影像范围的检查对象影像范围，和作为比较对象的其它多个影像范围的比较对象影像范围；进行光量测定处理，其中测定由影像范围设定处理设定的检查对象影像范围的光量和比较对象影像范围的光量；进行缺陷判断处理，其中算出由光量测定处理测定的检查对象影像范围的光量和比较对象影像范围的光量的差分，在差分在预先设定的阈值以上的情况下，判断在多孔板W的表面Wa的检查对象影像范围的对应部分存在缺陷。下面对有关利用所述的多孔板表面检查装置I的多孔板表面检查方法进行说明。图3是对表面没有缺陷的多孔板进行摄像的影像的示意图，图4是以断面示出图3的A部的照射光以及反射光的状态的图，图5是对表面有缺陷的多孔板进行摄像的影像的示意图，图6是以断面示出图5的B部的照射光以及反射光的状态的图，图7是检查对象影像范围和比较对象影像范围的设定例中的一个示例的图，是对一部分放大而示出的图。本发明的多孔板表面检查方法，最初进行调节反射照明光源3的光量和背光照明光源2的光量的光量调节处理，然后，进行检查多孔板W的缺陷的缺陷检查处理。首先，在光量调节处理中，在向多孔板W的表面Wa照射反射照明光源3的照明光的同时，向多孔板W的背面照射背光照明光源2的照明光。然后，通过摄像部4对摄像范围S摄像。所摄像的影像从摄像部4输入到控制部5。控制部5的光量调节部6，基于摄像的影像，测定在多孔板W的表面Wa反射的反射光12的光量和透过多孔板W的透孔部Wc的透过光11的光量，为了使得反射光12的光量以及透过光11的光量相同并且变成在预先设定的范围内的光量，进行调节反射照明光源3和背光照明光源2的光量的控制。反射光12的光量以及透过光11的光量被调节为在预先设定的下限阈值Thmin和上限阈值Thmax之间的允许范围内的值。下限阈值Thmin例如被设定为如虫子等异物那样的普通黑色的、吸收光的污垢的反射光的光量，上限阈值Thmax例如被设定为如电镀的伤痕等那样的普通白色的、反射光的污垢的反射光的光量。所以，例如如图3所示，在这样的光量调节后，能够使得摄像的画像Cl中的多孔板W的表面Wa和多孔板W的透孔部Wc的浓度差变小，可以防止检查部7将多孔板W的透孔部Wc误认为异物。另外，虽然在图3中，为了说明方便，在影像Cl中用假想的线表示了多孔板W的侧端部Wb，但是因为透过光11的光量和反射光12的光量是被调节为相同，实际的影像中多孔板W的表面Wa和比多孔板W的侧端部Wb更靠宽度方向外侧的部分没有浓度差，或者浓度差比较小，不可能认出影像Cl中的侧端部Wb。另外，如图5以及图6所示，在异物X附着在多孔板W的表面Wa而变成缺陷的时候，在异物X反射的反射光12'变成扩散反射，其光量比影像C2的其它部分的光量，也就是说，比反射光12的光量以及透过其它透孔部Wc的透过光11的光量要少。所以，在该部分的光量比下限阈值Thmin少的情况下，如图5所示那样，影像C2中的异物X就明显地显现出来。另外，虽然图中没有特别显示，在多孔板W的表面Wa有伤痕的时候，伤痕的反射光的光量和其它部分的光量相比变多，在该部分的光量比上限阈值Thmax多的情况下，影像中的伤痕就明显地显现出来。缺陷检查处理，进行在由光量调节部6进行光量调节的状态下，通过摄像部4对多孔板W的表面Wa摄像，基于该摄像的影像，检查多孔板W的缺陷的处理。摄像部4在规定的时机,对以预先设定的一定速度，向着移动方向F移动的多孔板W进行摄像。在此，包括多孔板W的表面Wa和比多孔板W的侧端部Wb更靠外侧的部分的范围S被摄像(参考图1以及图2)。如图7所示，检查部7进行影像处理范围设定处理(影像处理范围设定装置)，其中将摄像部4摄像的影像划分为多个影像范围，从多个影像范围中设定作为检查对象的影像范围的检查对象影像范围21和作为比较对象的其它多个影像范围的比较对象影像范围22-24。检查对象影像范围21和比较对象影像范围22-24，具有在各范围内包含透孔部Wc的至少一部分和多孔板W的表面Wa的一部分两者的大小，在以任意的时机对向移动方向F移动的多孔板W进行摄像的情况下，设定为在各范围内总是加入一定面积的透孔部Wc和表面Wa的大小(尺寸)，并设定为使得各范围21-24内的透孔部Wc的面积和表面Wa的面积的比例为定值。例如，在本实施方式中，如图7所示，检查对象影像范围21是比一个透孔部Wc大的范围，列方向的大小Ld设定为从该透孔部Wc到和位于列方向一侧的其它透孔部Wc的分界部分为止的尺寸长度，宽度方向的大小Lw设定为从该透孔部Wc到和位于宽度方向一侧的其它透孔部Wc的分界部分为止的尺寸长度。比较对象影像范围22-24具有和检查对象影像范围21相同的尺寸，设定在相对于检查对象影像范围21在各个列方向偏离的位置。例如如图7所示，本实施方式的比较对象影像范围22-24以检查对象影像范围21为基准，在从检查对象影像范围21向多孔板W的移动方向F偏离的位置并且设定在一部分互相重叠的位置。另外，虽然所述的实施方式以设定在互相相邻的比较对象影像范围22-24的一部分相互重叠的位置的情况为例进行了说明，但是也可以设定在只是相隔规定的距离的位置，能够通过检查出的缺陷的大小变更设定的位置。例如，通过把各比较对象影像范围22-24设定在一部分重叠的位置，能够检查出容纳在检查对象影像范围21内那样大小的缺陷。另外，通过把各比较对象影像范围22-24设定在互相只是相隔规定距离的位置，可以检查出相比检查对象影像范围21更大的尺寸的缺陷。如果进行了所述的检查对象影像范围21和比较对象影像范围22-24的设定，则接下来，要进行测定检查对象影像范围21的光量和比较对象影像范围22-24的光量的处理(光量测定装置)。光量的测定通过影像处理进行。然后，从检查对象影像范围21的光量和比较对象影像范围22-24的光量的差分，判断对应检查对象影像范围21的部分是否存在缺陷(判断装置)。在此，从各比较对象影像范围22-24的光量计算平均光量，求出检查对象影像范围21的光量和比较对象影像范围22-24的平均光量的差分。然后，在差分在预先设定的阈值以上的情况下，判断在对应多孔板W的表面Wa的检查对象影像范围21的部分存在缺陷，在差分小于阈值的情况下，判断不存在缺陷。图8是对于本实施方式的比较例的内容的说明图，是图7的对应图。例如如图8的比较例所示，在把检查对象影像范围31和比较对象影像范围32-34并列设定在多孔板W的宽度方向的情况下，每个范围的透孔部Wc的面积和表面Wa的面积不同，容易受宽度方向的浓度差的影响。所以，各范围31-34之间的浓度差比较大，成为干扰部分，有误认为缺陷的危险。对此，因为本实施方式把检查对象影像范围21以及比较对象影像范围22-24排列在多孔板W的移动方向，将透孔部Wc的面积和表面Wa的面积设定为一定比例，所以能够使得不没有缺陷的范围内的光量成为定值，能够降低测定误差。因此，对于象多孔板这样，沿着移动方向(列方向)具有透孔部Wc的部分和不具有透孔部Wc的部分的存在比例按规定正确排列，能够正确地进行检查。通过所述多孔板表面检查装置I，基于摄像部4摄像的影像，测定在多孔板W的表面Wa反射的反射光12的光量和透过多孔板W的透孔部Wc的透过光11的光量，为了使反射光12的光量以及透过光11的光量相同并且变成在预先设定的范围内的光量，调节反射照明光源3和背光照明光源2的光量，所以在这样的光量调节后，能够使得摄像的影像中的多孔板W的表面Wa和透孔部Wc的浓度差变小。因此，对于检查部7能够防止将多孔板W的透孔部Wc误认为异物，可以正确判断多孔板W的表面Wa有无缺陷。因此，在多孔板W的表面Wa存在污垢、伤痕、电镀不良、异物附着的情况下，能够将这些正确地检查出来。另外，本发明并不限定于所述实施方式，在不脱离本发明的宗旨的范围内可以有各种变更。符号说明I多孔板表面检查装置2背光照明光源3反射照明光源4摄像部5控制部6光量调节部7检查部11透过光12反射光21检查对象影像范围22-24比较对象影像范围S摄像范围W多孔板Wa 表面Wb侧端部Wc透孔部X异物(缺陷)
权利要求
1.一种多孔板表面检查方法,其特征在于，所述多孔板表面检查方法是对具有多个透孔部的多孔板进行摄像，且基于该摄像的影像来检查所述多孔板的表面的多孔板表面检查方法， 所述多孔板表面检查方法包括: 对于所述多孔板从该多孔板的表面侧照射反射用的照明光，并且从所述多孔板的背面侧照射背光用的照明光的步骤； 从所述多孔板的表面侧对所述多孔板的表面进行摄像的步骤； 基于该摄像的影像测定在所述多孔板的表面反射的反射光的光量和透过所述多孔板的孔部的透过光的光量的步骤； 为了使所述反射光的光量和所述透过光的光量相同并且变成在预先设定的范围的光量，调节所述反射用的照明光和所述背光用的照明光的光量的步骤；以及 在所述光量已调节的状态，对所述多孔板的表面进行摄像，基于此摄像的影像检查所述多孔板的缺陷的步骤。
2.如权利要求1所述的多孔板表面检查方法，其特征在于， 在检查所述多孔板的缺陷的步骤中， 将在调节所述光量之后摄像的影像划分为多个影像范围，从该多个影像范围中设定作为检查对象的影像范围的检查对象影像范围和作为比较对象的其它多个影像范围的比较对象影像范围，测定所述检查对象影像范围的光量和所述比较对象影像范围的光量，在所述检查对象影像范围的光量和所述比较对象影像范围的光量的差分在预先设定的阈值以上的情况下，判断在所述多孔板的表面的所述检查对象影像范围对应的部分存在缺陷。
3.如权利要求2所述的多孔板表面检查方法，其特征在于， 在所述多孔板具有将所述多个透孔部配设在列方向，且将配设在该列方向的所述多个透孔部的列在宽度方向配设多个的构成的情况下， 在检查所述多孔板的缺陷的步骤中， 将大于所述一个透孔部的，且列方向的尺寸具有从该透孔部到和位于列方向一侧的其它透孔部的分界部分的尺寸长度、宽度方向的尺寸具有从所述透孔部到和位于宽度方向一侧的其它透孔部的分界部分的尺寸长度的，范围设定为所述检查对象影像范围，并且 在相对该检查对象影像范围在列方向偏移的位置，将具有和所述检查对象影像范围相同尺寸的范围设定为所述比较对象影像范围。
4.如权利要求3所述的多孔板表面检查方法，其特征在于， 在检查所述多孔板的缺陷的步骤中， 在相对所述检查对象影像范围在各列方向上偏离的位置，设定多个所述比较对象影像范围。
5.一种多孔板表面检查装置，其特征在于，所述多孔板表面检查装置是对具有多个透孔部的多孔板进行摄像，基于该摄像的影像来检查所述多孔板的表面的多孔板表面检查装置， 所述多孔板表面检查装置包括: 反射照明光源，其与所述多孔板的表面相向配置，且向所述多孔板的表面照射反射用的照明光；背光照明光源，其与所述多孔板的背面相向配置，且向所述多孔板的背面照射背光用的照明光； 摄像部，其对所述多孔板的表面进行摄像； 光量调节部，其基于通过所述摄像部摄像的影像，测定在所述多孔板的表面反射的反射光的光量和透过所述多孔板的透孔部的透过光的光量，为了使所述反射光的光量和所述透过光的光量相同且变成在预先设定的范围内的光量，调节所述反射照明光源和所述背光照明光源的光量；以及 检查部，其在通过所述光量调节部进行过光量调节的所述反射用的照明光和所述背光用的照明光照射在所述多孔板的状态下，基于通过所述摄像部摄像的影像来检查所述多孔板的缺陷。
6.如权利要求5所述的多孔板表面检查装置，其特征在于， 所述检查部具有: 影像范围设定装置，其将通过所述摄像部摄像的影像划分多个影像范围，并且从该多个影像范围中设定作为检查对象的影像范围的检查对象影响范围和作为比较对象的其他影像范围的比较对象影响范围； 光测定装置，其测定通过该影像范围设定装置设定的所述检查对象影像范围的光量和所述比较对象影像范围的光量；以及 判断装置，其算出通过该光量测定装置测定的所述检查对象影像范围的光量和所述比较对象影像范围的光量的差分，在该差分在预先设定的阈值以上的情况下，判断在对应所述检查对象的影像范围的部分存在缺陷。
7.如权利要求6所述的多孔板表面检查装置，其特征在于， 在所述多孔板具有将所述多个透孔部配设在列方向，且将配设在该列方向的所述多个透孔部的列在宽度方向配设多个的构成的情况下， 所述影像范围设定装置， 将大于所述一个透孔部的，且列方向的尺寸具有从该透孔部到和位于列方向一侧的其它透孔部的分界部分的尺寸长度、宽度方向的尺寸具有从所述透孔部到和位于宽度方向一侧的其它透孔部的分界部分的尺寸长度的，范围设定为所述检查对象影像范围，并且 在相对该检查对象影像范围在列方向偏离的位置，将具有和所述检查对象影像范围相同尺寸的范围设定为所述比较对象影像范围。
8.如权利要求7所述的多孔板表面检查装置，其特征在于， 所述影像范围设定装置， 在相对所述检查对象影像范围在各列方向上偏离的位置，设定多个所述比较对象影像范围。
全文摘要
本发明的目的是提供一种能够正确检查在多孔板的表面的污垢、伤痕、电镀不良、异物附着等的多孔板表面检查方法以及装置。本发明从多孔板W的表面侧照射反射用的照明光，并且从多孔板W的背面侧照射背光用的照明光，利用摄像部4对多孔板W的表面Wa进行摄像。然后，基于此影像，测定在多孔板W的表面Wa反射的反射光12的光量和透过多孔板W的透孔部Wc的透过光11的光量，为了使这两个光量相同并且在事先设定的范围内，调节反射用的照明光和背光用的照明光的光量。然后，在光量已调节的状态，对多孔板W的表面Wa进行摄像，基于此摄像的影像检查多孔板W的表面Wa的缺陷。
文档编号G01N21/89GK103119424SQ20118004600
公开日2013年5月22日 申请日期2011年11月14日 优先权日2010年11月16日
发明者松村修美, 今重薫, 矢崎伸二 申请人:东洋钢钣株式会社