专利名称：一种气体稳压定量稀薄化部件及其用途的制作方法
技术领域：
本发明涉及气体在线检测设备领域，具体地，本发明涉及一种气体稳压定量稀薄化部件及其用途。
背景技术：
用于气体测定的分析方法主要包括红外分析、热导式气体检测、电化学传感器、半导体传感器、色谱分析、质谱分析、拉曼光谱分析仪等。其中过程质谱仪具有对气体检测灵敏度高，反应时间快，易于与计算机相连接，造价也相对较低的优势，在气固化学反应分析及催化瞬态产物分析中应用广泛。例如，在用于残余气体的在线分析时，特别是用于快速反应气体的在线分析时，是其他气体检测器所不能取代的。用作痕量气体分析，特别是对环境有害的气体的分析，催化剂评价方面，其更有优势。但它存在对不同气体之间的分辨率较差，对过程气体带来的污染较敏感等缺点，特别是当测试气中含有大量碳氢化合物时，用于检测的灯丝上容易沉积碳而产生污染。过程质谱仪用于小分子或是吸附性强的气体的在线分析时，稳定性差，且反应不够灵敏，容易受入口气体压力波动与组成的影响，难以得到稳定的定量关系曲线。对于质谱仪的以上缺点，常规解决方案是采用毛细管进样，通过增加壁阻的方式， 来实现较大压差对过程质谱仪的测定影响。但是采用这种方案会导致检测气体时产生较大的时间延迟，对于瞬态反应的检测极为不利。因此，从检测源头减少这些带有污染性气体的进样量，成为一个可行的方案。而且，在某些条件下，气体检测往往需要集成多个气体检测器进行互补性检测，减少气体之间的相互干扰，实现气体的准确测量。原位红外在线分析测试系统是指在真空((10_3Pa)条件下，监测固体表面吸附物种与其他气体的在线反应过程的系统。如何在线供入微量反应气体是原位红外在线分析测试成功的关键。原位红外在线分析测试系统主要由反应物气体控制及计量单元、系统真空装置和原位红外反应器组成。反应物气体控制及计量单元主要是将符合反应要求的数种反应物气体精确地送到原位红外反应器与固体表面吸附的另一种反应物进行反应，该单元功能如何准确实现，是所属领域的技术难题。上述质谱仪及原位红外在线分析测试系统检测过程中存在的问题即现有技术亟需解决的技术难题。为解决以上难题，所属领域技术人员开发出一系列解决方案。例如实用新型CN 2388602Y公开了一种用于质谱原位检测的连续进样装置，其由采样毛细管、三通转换接头、 稳流阀、流量计、机械泵、精密泄露阀等组成，利用三通转换接头与机械泵配合形成一 W型的等比例采样气路，稳流阀、流量计和机械泵组成了可随时调整的采样调节装置，简便易行。该装置采用稳流阀、流量计和机械泵组成的抽气系统控制进入检测器的气体量，但是该装置不能减小污染性气体浓度，并且不能实现多个检测器的同时互补性检测。因此，开发一种适用于多路气体检测(包括快速过程质谱仪)且带有气体稳压稀薄化功能的连接部件具有非常重要的意义。
发明内容
在线检测气体过程中，尤其是检测快速反应产生的气体，根据气体传感器各自不同的特点，需要结合多种气体检测器进行互补性测试，排除因气体传感器各自的选择性带来的局限性，实现气体的精准快速检测。同时，气体入口压力和气体流量的波动对气体检测器的检测性能具有较大的影响，影响气体测量的准确性。因此，开发能满足多种气体检测器同时检测、实现气体分流、保证气体稳压的部件尤为重要。本发明正是基于不同气体电化学传感器、热导检测器、光谱检测器以及快速质谱检测器之间互补性测试的需要，开发的一种气体稳压定量稀薄化部件，实现多种气体准确、稳定测量。为解决快速过程质谱仪定量稳定性差与响应延迟等缺陷，同时实现多种气体检测器之间的互补性测试需求，本发明的目的之一在于提供一种适用于多路(I路或2路以上， 例如3路)检测器检测的气体稳压定量稀薄化部件。所述气体稳压定量稀薄化部件，按进样气体流向包括三通接头Tl、真空稀薄室 SI、真空调节系统，真空稀薄室SI通过三通接头Tl与进样气体连接，三通接头Tl另一接口与其他检测器J2连接或排空，即三通接头Tl三个接头分别于进样气体、真空稀薄室SI、其他检测器J2连接；真空稀薄室SI除气体进气与出气支路外的另一侧支路与真空调节系统连接，通过真空调节系统调节真空稀薄室Si的真空度，进样气体经真空稀薄室SI后进入检测器J1。优选地，所述三通接头Tl通过阀门Fl与真空稀薄室SI相连，其中阀门Fl进气口与三通接头Tl相连，出口与真空稀薄室SI连接，阀门Fl还可位于三通接头Tl与检测器J2 之间，其中阀门Fl进气口位于三通接头Tl 一侧，出口位于检测器J2 —侧，特别优选阀门Fl 位于三通接头Tl与真空稀薄室SI之间；优选地，所述阀门Fl为截止阀、闸阀、旋塞阀、球阀、蝶阀、针型阀中的I种或至少2种的组合，特别优选为针型阀；所述阀门Fl用于稳流控制进样气体。优选地，真空稀薄室SI与真空表BI直接相连，真空稀薄室SI的真空度通过真空表进行测量，特别优选真空表BI位于真空稀薄室SI 一侧的单独支路上，即，不是位于气体进气支路、出气支路或真空调节系统支路上。优选地，所述真空调节系统包括真空调节阀F2或/和真空泵VI，特别优选包括真空调节阀F2和真空泵VI，真空调节阀F2、真空泵VI、真空稀薄室SI通过三通接头T2连接； 采用真空泵Vl抽取真空稀薄室SI的气体，使真空稀薄室SI处于真空状态；真空调节阀F2 调节真空泵Vl对真空稀薄室SI的抽速，从而使真空稀薄室SI中的真空度快速达到稳定。优选地，所述真空稀薄室SI温度可控；优选通过温控系统维持真空稀薄室SI内气体温度的稳定；所述温控系统为所属领域已知的技术或/和新技术，例如电加热、循环水温控等；所述温度可为所需要的任意温度，例如室温 100°c。优选地，所述三通接头Tl另一接口经流量计M2与其他检测器J2连接，或经流量计M2后排空。优选地，所述流量计M2位于三通接头Tl与真空稀薄室SI之间。优选地，所述检测器Jl为真空检测器，特别优选为质谱或/和红外分析测试系统； 所述检测器Jl可以为I个检测器或2个以上检测器并联、串联或串并联结合使用。
所述检测器J2为所属领域所需任意检测器，例如光谱仪、色谱仪、质谱仪等，具体地，可以为红外分析仪、热导式气体检测仪、电化学传感器仪、半导体传感器、色谱分析仪、 质谱分析仪、拉曼光谱分析仪等；所述检测器J2可以为I个检测器或2个以上检测器并联、 串联或串并联结合使用。优选地,所述流量计M2为转子流量计。当所述三通接头Tl另一接口为排空状态时，进样气体一路经三通接头Tl后排空， 另一路经真空稀薄室SI进入检测器Jl ;当所述三通接头Tl另一接口与检测器J2连接时， 进样气体一路进入检测器J2，另一路经真空稀薄室SI进入检测器J1，此时为2路检测。本发明的一个优选方案为所述气体稳压定量稀薄化部件包括三通接头Tl、针型阀Fl、真空稀薄室SI、真空表BI、真空调节阀F2、真空泵VI，针型阀Fl进气口通过三通接头 Tl与进样气体连接，针型阀Fl出气口与真空稀薄室SI相连，真空稀薄室SI为一个可控温小腔室，其进气口与针型阀Fl出口连接，其出气口与检测器Jl连接；真空稀薄室SI上除气体进气与出气支路外，还另外具有两条支路，其中一条支路通过三通接头T2与真空泵Vl连接，三通接头T2的支管与真空调节阀F2连接，通过真空调节阀F2的阀开度调节真空稀薄室SI的真空度，并通过单独的温控系统维持腔体内气体温度的稳定，另一条支路与真空表连接，真空稀薄室的真空度通过真空表进行测量。本发明所述气体稳压定量稀薄化部件是一种用于多路检测器气体同时检测的部件，所述三通接头Tl用于进样气体分流，少量气体进入真空稀薄室，并进入检测器Jl的进样口，实现检测的稳压、稳流与恒温，提高气体检测的稳定性以及改善气体检测的线性关系，而大部分气体通过三通接头Tl进入其他检测器J2中依次进行检测或排空。本发明所述气体稳压定量稀薄化部件是一种使少量气体稀薄化的部件，采用真空调节系统调节真空稀薄室的气体，使真空稀薄室处于真空和恒温状态，再通过调节真空稀薄室SI的进气量，使进样气体在真空稀薄室SI得到稀薄化，从而减少进入检测器Jl中的进样气体量，降低气体之间的相互干扰，实现气体的准确测量；所述稀薄化即单位体积内气体的量减少。本发明所述气体稳压定量稀薄化部件是一种气体稳压部件，调节气体进气量外， 还可采用真空调节系统使真空稀薄室Si中的真空度快速达到稳定；在本发明的一个实施例中，通过真空调节阀F2调节真空泵Vl对真空稀薄室SI的抽速，从而使真空稀薄室SI中的真空度快速达到稳定。本发明所述气体稳压定量稀薄化部件是一种调整进样气体压力和浓度的部件，调整检测器Jl中进样气体的输入量；本发明可通过阀门Fl或/和真空调节阀F2，调节检测器Jl中进样气体的输入量。本发明的目的之一还在于提供一种气体稳压定量稀薄化方法，包括(I)调节真空稀薄室SI中的真空度，并使其稳定；(2)调节进入检测器J1、检测器J2的气量；(3)气体经流量计Ml稳流后，通过三通接头Tl进入检测器Jl，大量气体通过三通接头Tl进入检测器J2。优选地,所述气体稳压定量稀薄化方法,包括(I)启动真空泵VI，从真空稀薄室SI中抽出气体；
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(2)通过真空调节阀F2的开度控制调节真空稀薄室SI中的真空度，并使其稳定；(3)通过针型阀Fl与三通接头Tl的联合控制，调节进入检测器J1、检测器J2的
气量;(4)气体经流量计Ml稳流后，通过三通接头Tl进入针型阀F1，通过针型阀Fl的阀开度调节，少量甚至痕量气体进入检测器J1，大量气体通过三通接头Tl进入检测器J2。本发明的目的之一还在于提供所述气体稳压定量稀薄化部件的用途。本发明所述气体稳压定量稀薄化部件可用于各种气体或可挥发液体分析仪器的进样单元，优选用于过程质谱仪或/和原位红外分析仪进样，以对高浓度气体进行在线测定，特别优选将该部件用于过程质谱仪进样，增强过程质谱仪的定量稳定性，减少与检测器作用的试样气量，保护检测器，实现质谱长寿命稳定的气体在线分析。本发明所述气体稳压定量稀薄化部件，与过程质谱仪连接使用具有以下优点(I)维持入口气体的压力稳定，增强过程质谱仪真空腔体内真空度的稳定性，从而提高过程质谱仪的检测稳定性，提高过程质谱仪的检测性能；(2)降低高浓度气体(特别是还原性气体、腐蚀性气体)的浓度，减少其对过程质谱仪系统，如离子源、四极杆分析器的损害，延长过程质谱仪的使用寿命；(3)通过调整气体进气压力、温度与浓度，改善气体定量的线性关系，拓宽气体定量的线性范围。本发明的气体稳压定量稀薄化部件，与原位红外在线分析测试系统连接使用具有以下优点(I)实时微量的供入反应气体，在线观测固体表面官能团振动吸收峰的位置与强度变化；(2)增加多种气体在真空稀薄室内的混合均匀性，提高反应的均一性。本发明能够使进样气体入口压力快速达到稳定，高效稀薄进样气体，调节进样气体浓度，并且可用于多路检测器进行气体检测。
图I是在多路检测中使用本发明的气体稳压定量稀薄化部件的一个实施例的流程图；图2是未使用本发明的气体稳压定量稀薄化部件的流程图；图3是采用过程质谱仪进行气体测定的实验结果，其在多路检测器同时检测中， 对使用本发明的气体稳压定量稀薄化部件与未使用本发明气体稳压定量稀薄化部件的测试稳定性进行比较；图4是采用过程质谱仪对一氧化碳(CO)和氢气(H2)两种气体进行定量，而制作的标准曲线，并在多路检测器同时检测中，对使用本发明的气体稳压定量稀薄化部件与未使用本发明的气体稳压定量稀薄化部件的线性相关性进行比较；图5是在多路检测器同时检测中，使用本发明的气体稳压定量稀薄化部件进行脉冲进样，采用过程质谱仪测定的响应时间关系图。
具体实施方式
为便于理解本发明，本发明列举实施例如下。本领域技术人员应该明了，所述实施例仅仅是帮助理解本发明，不应视为对本发明的具体限制。 在本发明的一个实施方案中，总进样气体Ql经通道LI连接质量流量计Ml，质量流量计Ml经通道L2连接三通接头Tl，总进样气体Ql经过三通接头Tl分成气流Q2和Q3，少量气体Q2进入真空稀薄室SI。真空稀薄室SI经通道与真空调节系统相连接，通过真空调节系统调节真空稀薄室SI中的真空度。气体Q2通过真空稀薄室SI后经毛细管Cl进入检测器J1，进行检测。气体Q3经由流量计M2、通道L7进入其他检测器J2(不限于一个检测器)或者排空。在本发明的另一个实施方案中，总进样气体Ql经通道LI连接质量流量计Ml，质量流量计Ml经通道L2连接三通接头Tl，总进样气体Ql经过三通接头Tl分成气流Q2和Q3， 少量气体Q2经通道L3连接进入阀门Fl后，经通道L4进入真空稀薄室SI。真空稀薄室SI 经通道与真空调节系统相连接，通过真空调节系统调节真空稀薄室SI中的真空度，真空表 BI实时显示真空稀薄室SI中的真空度。气体Q2通过真空稀薄室SI后经毛细管Cl进入检测器J1，进行检测。气体Q3经由流量计M2、通道L7进入其他检测器J2 (不限于一个检测器)或者排空。图I是在多路检测中使用本发明的气体稳压定量稀薄化部件的一个实施例的流程图。在图I中，总进样气体Ql经通道LI连接质量流量计Ml，质量流量计Ml经通道L2连接三通接头Tl，总进样气体Ql经过三通接头Tl分成气流Q2和Q3，少量气体Q2经通道L3 连接进入针型阀Fl后，经通道L4进入真空稀薄室SI。真空稀薄室SI经通道L5与三通接头T2连接，真空泵Vl经由通道L6与三通接头T2连接，三通接头T2与真空调节阀F2相连接，通过真空调节阀F2的阀开度调节真空稀薄室SI中的真空度，真空表BI实时显示真空稀薄室SI中的真空度。气体Q2通过真空稀薄室SI后经毛细管Cl进入过程质谱仪J1，进行检测。气体Q3经由转子流量计M2、通道L7进入其他检测器J2(不限于一个检测器)或者排空。图2描述的是未使用本发明的气体稳压定量稀薄化部件的流程图。总进样气体Ql 经通道LI连接质量流量计Ml，质量流量计Ml经通道L2连接三通接头Tl，总进样气体Ql经过三通接头Tl分成气流Q2和Q3，少量气体Q2经毛细管Cl进入过程质谱仪Jl进行检测。 气体Q3经转子流量计M2、通道L7进入其他检测器J2 (不限于一个检测器)或者排空。实施例I采用过程质谱仪对高纯氦气进行测定。点亮过程质谱仪灯丝，预热30min后，开启高纯氦气，以O. 4L/min的流速经过质量流量计Ml进入过程质谱仪Jl进行测定。该实施例采用本发明所述气体稳压定量稀薄化部件进样。测试结果见图3，其中数据点11描述的是本实施例的质谱响应值。实施例2采用过程质谱仪对浓度范围在O. 37% 10%之间不同浓度的CO标气(Ar作为平衡气)进行测定，建立标准曲线。该实施例采用本发明所述气体稳压定量稀薄化部件进样， 实验结果如图4(a)所示。其中，数据点21描述的是按照本实施例方法进行质谱测定得到的不同浓度的CO的响应值，并依此建立标准曲线(实线所示)。实施例3
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采用过程质谱仪对浓度范围在O. 37% 10%之间不同浓度的H2标气(Ar作为平衡气)进行测定，建立标准曲线。该实施例采用本发明所述气体稳压定量稀薄化部件进样， 实验结果如图4(b)所示。其中，数据点23描述的是按照本实施例方法进行质谱测定得到的不同浓度的H2的响应值，并依此建立标准曲线(实线所示)。实施例4以氩气为平衡气的标气作为脉冲气体，标气的成分是以纯氩气作为平衡气的 14. 9%甲烷，甲烷气体的浓度将从O 14. 9%，采用本发明所述气体稳压定量稀薄化部件， 进行脉冲进样，采用过程质谱仪测定响应时间，其实验结果如图5所示。点31代表的是注入脉冲气体的时刻，点32代表仪器出现响应的时刻，31至32之间的时间间隔代表的是延迟时间。进行三次平行试验，延迟时间分别为2. 94s, 3. 00s, 2. 78s ;而在不使用本发明所述气体稳压定量稀薄化部件的情况下，采用相同长度的毛细管，不能达到仪器的使用真空度，从而不能进行测定。对比例I采用过程质谱仪对高纯氦气进行测定。点亮过程质谱仪灯丝，预热30min后，开启高纯氦气，以O. 4L/min的流速经过质量流量计Ml进入过程质谱仪Jl进行测定。本对比例不采用本发明所述气体稳压定量稀薄化部件进样。测试结果见图3，其中数据点12描述的是本对比例的质谱响应值。对比例2采用过程质谱仪对浓度范围在O. 37% 10%之间不同浓度的CO标气(Ar为平衡气)进行测定，建立标准曲线。本对比例不采用本发明所述气体稳压定量稀薄化部件进样， 实验结果如图4(a)所示。其中，数据点22描述的是按照本对比例方法进行质谱测定得到的不同浓度的CO的响应值，并依此建立标准曲线(虚线所示)。对比例3采用过程质谱仪对浓度范围在O. 37% 10%之间不同浓度的H2标气(Ar作为平衡气)进行测定，建立标准曲线。本对比例不采用本发明所述气体稳压定量稀薄化部件进样，实验结果如图4(b)所示。其中，数据点24描述的是按照本对比例方法进行质谱测定得到的不同浓度的H2的响应值，并依此建立标准曲线(虚线所示)。图3描述的是采用过程质谱仪对高纯氦气进行测定，其在多路检测器同时检测中，对使用本发明的气体稳压定量稀薄化部件与未使用本发明气体稳压定量稀薄化部件的测试稳定性进行比较的实验结果，即实施例I与对比例I的比较结果。对其结果进行分析， 不使用本发明所述气体稳压定量稀薄化部件的质谱响应值的相对标准偏差为6. 23%，使用本发明所述气体稳压定量稀薄化部件的质谱响应值的相对标准偏差为2. 49%，说明质谱测定时，使用本发明所述气体稳压定量稀薄化部件的稳定性明显要优于不使用本发明所述气体稳压定量稀薄化部件的稳定性图4(a)描述的是采用过程质谱仪对浓度范围在O. 37% 10%之间不同浓度的CO 标气(Ar作为平衡气)进行测定，建立标准曲线，对实施例2与对比例2得到的标准曲线的线性相关性进行比较。根据该实验结果，实施例2的标准曲线的线性相关系数为98. 34%, 对比例2的标准曲线的线性相关系数为97. 32%。图4(b)描述的是采用过程质谱仪对浓度范围在O. 37% 10%之间不同浓度的H2标气(Ar作为平衡气)进行测定，建立标准曲线，对实施例3与对比例3得到的标准曲线的线性相关性进行比较。根据该实验结果，实施例3的标准曲线的线性相关系数为99. 03%, 对比例3的标准曲线的线性相关系数为98. 51%。图4(a)、(b)两图说明在分析测试定量方面，使用本发明所述气体稳压定量稀薄化部件比不使用本发明所述气体稳压定量稀薄化部件有所改进。由以上实施例可知，本发明具有以下优势(I)本发明实施方案可维持进入质谱的气体的压力稳定，并且使整个反应体系快速达到平衡，增强过程质谱仪的稳定性；(2)本发明实施方案可降低高浓度气体(特别是还原性气体、腐蚀性气体)的浓度，减少其对过程质谱仪系统，如灯丝、四极杆的损害，延长过程质谱仪的使用寿命；(3)本发明实施方案可通过调整进样气体压力与样气浓度，拓宽气体定量线性关系与线性范围；(4)本发明实施方案可减少检测系统的测定延迟，适用于瞬态反应的检测。申请人:声明，本发明通过上述实施例来说明本发明的详细工艺设备和工艺流程， 但本发明并不局限于上述详细工艺设备和工艺流程，即不意味着本发明必须依赖上述详细工艺设备和工艺流程才能实施。所属技术领域的技术人员应该明了，对本发明的任何改进， 对本发明产品各原料的等效替换及辅助成分的添加、具体方式的选择等，均落在本发明的保护范围和公开范围之内。
权利要求
1.一种气体稳压定量稀薄化部件，按进样气体流向包括三通接头(Tl)、真空稀薄室 (SI)、真空调节系统，真空稀薄室(SI)通过三通接头(Tl)与进样气体连接，三通接头(Tl) 另一接口与其他检测器(J2)连接或排空；真空稀薄室(SI)除气体进气与出气支路外的另一侧支路与真空调节系统连接，进样气体经真空稀薄室(SI)进入检测器(Jl)。
2.如权利要求I所述的气体稳压定量稀薄化部件，其特征在于，所述三通接头(Tl)优选通过阀门(Fl)与真空稀薄室(SI)相连，其中阀门(Fl)进气口与三通接头(Tl)相连，出口与真空稀薄室(SI)连接，阀门(Fl)还可位于三通接头(Tl)与检测器(J2)之间，其中阀门(Fl)进气口位于三通接头(Tl) 一侧，出口位于检测器(J2) —侧，特别优选阀门(Fl)位于三通接头(Tl)与真空稀薄室(SI)之间；优选地，所述阀门(Fl)为截止阀、闸阀、旋塞阀、 球阀、蝶阀、针型阀中的I种或至少2种的组合，特别优选为针型阀。
3.如权利要求I或2所述的气体稳压定量稀薄化部件，其特征在于，真空稀薄室(SI) 与真空表(BI)直接相连，特别优选真空表(BI)位于真空稀薄室(SI)上除气体进气支路、 出气支路或真空调节系统支路外的另一支路上；优选地，所述真空调节系统包括真空调节阀(F2)或/和真空泵(VI)，特别优选包括真空调节阀(F2)和真空泵(Vl)，真空调节阀(F2)、真空泵(Vl)、真空稀薄室(SI)通过三通接头(T2)连接。
4.如权利要求1-3任一项所述的气体稳压定量稀薄化部件，其特征在于，所述真空稀薄室(SI)优选温度可控；优选通过温控系统维持真空稀薄室(SI)内气体温度的稳定；优选地，所述三通接头(Tl)另一接口经流量计(M2)与其他检测器(J2)连接，或经流量计(M2)后排空；优选地，所述流量计(M2)位于三通接头(Tl)与真空稀薄室(SI)之间；优选地，所述检测器(Jl)为真空检测器，特别优选为质谱或/和红外分析测试系统；所述检测器(Jl)可以为I个检测器或2个以上检测器并联、串联或串并联结合使用。
5.如权利要求1-4任一项所述的气体稳压定量稀薄化部件，其特征在于，所述检测器 (J2)为所属领域所需任意检测器；所述检测器(J2)为I个检测器或2个以上检测器并联、 串联或串并联结合使用；优选地，所述流量计(M2)为转子流量计。
6.如权利要求1-5任一项所述的气体稳压定量稀薄化部件,其特征在于，所述气体稳压定量稀薄化部件包括三通接头(Tl)、针型阀(Fl)、真空稀薄室(SI)、真空表(BI)、真空调节阀(F2)、真空泵(VI)，针型阀(Fl)进气口通过三通接头(Tl)与进样气体连接，针型阀 (Fl)出气口与真空稀薄室(SI)相连，真空稀薄室(SI)为一个可控温小腔室，其进气口与针型阀(Fl)出口连接，其出气口与检测器(Jl)连接；真空稀薄室(SI)上除气体进气与出气支路外，还另外具有两条支路，其中一条支路通过三通接头(T2)与真空泵(Vl)连接，三通接头(T2)的支管与真空调节阀(F2)连接，并通过单独的温控系统维持腔体内气体温度的稳定，另一条支路与真空表连接。
7.一种气体稳压定量稀薄化方法，包括以下步骤(1)调节真空稀薄室(SI)中的真空度，并使其稳定；(2)调节进入检测器(Jl)、检测器(J2)的气量；(3)气体经流量计(Ml)稳流后，通过三通接头(Tl)进入检测器(Jl)，大量气体通过三通接头(Tl)进入检测器(J2)。
8.如权利要求7所述的方法，其特征在于，所述方法包括以下步骤(1)启动真空泵(VI)，从真空稀薄室(SI)中抽出气体；(2)通过真空调节阀(F2)的开度控制调节真空稀薄室(SI)中的真空度，并使其稳定；(3)通过针型阀(Fl)与三通接头(Tl)的联合控制，调节进入检测器(Jl)、检测器(J2) 的气量；(4)气体经流量计(Ml)稳流后，通过三通接头(Tl)进入针型阀(Fl)，通过针型阀(Fl) 的阀开度调节，少量甚至痕量气体进入检测器(Jl)，大量气体通过三通接头(Tl)进入检测器(J2)。
9.如权利要求1-6任一项所述的气体稳压定量稀薄化部件的用途，其特征在于，所述气体稳压定量稀薄化部件用于各种气体或可挥发液体分析仪器的进样单元。
10.如权利要求9所述的用途，其特征在于，所述气体稳压定量稀薄化部件用于过程质谱仪或/和原位红外分析仪进样，特别优选用于过程质谱仪进样。
全文摘要
本发明涉及一种应用于质谱等气体检测器的进样气稳压定量稀薄化部件，按进样气体流向由三通接头(T1)、真空稀薄室(S1)、真空调节系统构成，真空稀薄室(S1)通过三通接头(T1)与进样气体连接，三通接头(T1)另一接口与其他检测器(J2)连接或排空；真空稀薄室(S1)一侧支路与真空调节系统连接，通过真空调节系统调节真空稀薄室(S1)的真空度，进样气体经真空稀薄室(S1)后进入检测器(J1)。使用该进样气稳压定量稀薄化部件可提高检测过程中气体压力与流量的稳定性、减小进入检测器的试样气量，延长分析器使用寿命，还可实现多种检测器的联用，普遍适用于因气体高浓度导致测定体系不稳定的情况。
文档编号G01N35/10GK102608343SQ20121005418
公开日2012年7月25日 申请日期2012年3月2日 优先权日2012年3月2日
发明者余剑, 岳君容, 杨娟, 许光文, 高士秋 申请人:中国科学院过程工程研究所