专利名称：一种光学元件透过率的测量方法及装置的制作方法
技术领域：
本发明属于激光测量技术领域，具体涉及一种光学元件透过率的测量方法及装置，特别是用于大能量、高重频紫外脉冲激光的光学镜片透过率的测量方法及其装置。
背景技术：
光学元件透过率是指从光学元件出射的辐射光通量与投射到该光学元件的辐射光通量之比，它是光学元件能量传输的重要指标。由于光学元件透过率直接地反映了其辐射光通量的损耗与成像质量的好坏，所以对光学元件的透过率的测量是非常重要的。
目前常用的测量光学元件的激光透过率的方法是单通道测量法。如图1所示，采用高稳定的固体激光光源，通过测量出射激光光路上同一位置放置待测光学元件前后的功率，由功率比值得到待测光学元件透过率。然而，单通道测量法存在固有的缺点，例如对于相对脉冲能量抖动σ =±5%的193nm紫外准分子激光，设其平均能量为Eavg光学元件为透镜，待测透镜的真实透过率为TMal，则激光脉冲能量实时测量值可能是能量最小值Eavg+OminXEavg到最大值Eavg+OmaxXEavg之间的范围内的某一个值。σ —和σ _为能量偏离平均值系数σ的最小值和最大值。使用该传统的单通道测量法来对该待测透镜的透过率进行测定。例如，在某一极端情况下，未加入待测透镜时测得能量为O. 95Eavg (或1. 05Eavg，0. 95Eavg是相对脉冲能量抖动σ min = -5%时σ max = 5%的激光能量抖动的下限值Eavg+ σ minXEavg，1. 05Eavg是相对脉冲能量抖动时的激光的能量抖动的上限值Eavg+ σ maxXEavg)，加入待测透镜时测得能量为1.05EavgXTMal(或O. 95EavgXTMal)，将测量结果做比值运算，得到的透过率为1. 105TMal(或O. 905Treal)，即较真实透过率将有约10%的偏差，显然不同次测量结果偏差很大，测量重复性无法保证，不满足测量要求。另一方面，若已知待测透镜的透过率大于ι-1 O |，此时，加入待测透镜前后光能量的变化可能会淹没在激光能量抖动造成的光能量变化之中。可见，使用传统的光学元件透过率测量方法将难以测定紫外脉冲激光下光学元件的透过率。另一种测量光学元件透过率的方法是分光光度计法。该方法采用氢弧灯与卤钨灯光源，产生紫外到红外的宽谱光线，通过单色器分光后得到特定波长光线，利用光线通过待测物前后光谱强度变化，得到待测物的光透过率。因此，虽然这种方法可以精确的测量光学元件透过率，但由于其光源为低功率的氢弧灯与卤钨灯，光学元件透过率都是在低功率情况下测得的，无法判别光学元件在大能量、高重频激光脉冲的长时间辐照状态下的透过率情况。为了解决紫外脉冲激光的光学元件透过率的测量难题，亟需开发一种新的光学元件透过率测量方法及装置。
发明内容
(一 )要解决的技术问题本专利拟解决在光源本身能量不稳定的情况下得出较为精确的透过率值的问题，设计合适的光路并优化测量条件，可以在大能量、高重频条件下实现光学元件透过率的高精度测量。( 二)技术方案本发明提出一种光学元件透过率测量方法，用于测量光学元件对于特定波长的激光光束的透过率，该方法包括如下步骤将所述特定波长的激光光束进行分束，得到两束激光，使之分别通过一个参考光路和一个测量光路；在测量光路上不放置所述光学元件，测量得到通过参考光路的激光光束的能量E1，通过测量光路的激光能量为E2 ;在测量光路上放置所述元学元件，测量得到通过参考光路的激光光束的能量E/，通过测量光路的激光能量为E3 ;根据公式T = E1E3ZiE/ E2计算该光学元件的透过率T。本发明还提出一种光学元件透过率测量装置，用于测量光学元件对于特定波长的激光光束的透过率，该装置包括用于产生该特定波长的激光光束的激光产生装置，该光学元件透过率测量装置还包括分束器、第一光探测器和第二光探测器，所述分束器用于将所述激光产生装置产生的激光分成两束，一束通过一个测量光路，另一束通过一个参考光路；所述第一、第二探测器用于测量投射其上的激光光束的能量；其中所述光学元件能够可拆卸地安装在所述测量光路上，且当该光学元件安装在该测量光路上时，所述激光光束能透射过该待测光学元件后入射到所述第一光探测器，以及所述参考光路的激光直接入射到第二光探测器。本发明还提出另一种光学元件透过率测量装置，用于测量光学元件对于特定波长的激光光束的透过率，该装置包括用于产生具有特定波长和第一重频频率的激光光束的激光产生装置，该光学元件透过率测量装置还包括分束器、光斩波器、分束镜、第一锁相放大器、第二锁相放大器和光探测器，所述激光产生装置还用于同步产生一个重频信号，并将该重频信号发送到所述光斩波器和第一锁相放大器，该重频信号频率等于激光脉冲重频频率；所述分束器用于将所述激光产生装置产生的激光分成两束，一束通过一个测量光路，另一束通过一个参考光路；所述光斩波器用于接收由分束器出射的通过所述参考光路的激光，以所述激光产生装置发出的重频信号作为触发信号，根据一调制信号对所接收的激光进行斩波调制，输出具有第二重频频率的激光，该调制信号频率等于第二重频频率；所述分束镜用于将所述测量光路与所述参考光路的激光在测量光方向与参考光方向分别合并生成为两束混合光束；在入射到此分束镜前，测量光路方向与参考光路方向正交，测量光和参考光在分束镜上同一位置发生透射和反射，测量光的透射光与参考光的反射光合成一束混合光束，而测量光的反射光与参考光的透射光则合成另一束混合光束，这两束混合光束在分束镜上同一位置处正交出射分束镜；所述光探测器用于测量所述混合光束的能量信号，并将其分别输入所述第一、第二锁相放大器；所述第一锁相放大器和第二锁相放大器用于分别接收所述激光产生装置发出的重频信号和所述光斩波器发出的调制信号，并分别将第一重频频率和第二重频频率作为其参考频率，以分别从所述混合光束的能量信号中检测出频率分别为所述第一重频频率和所述第二重频频率的激光能量信号，这两个信号分别对应于测量光束与参考光束的光强；待测光学元件能够可拆卸地安装在测量光路上，且当该光学元件安装在该测量光路上时，所述激光光束能透射过该待测光学元件后入射到分束镜。(三)有益效果本发明提出的光学元件测量方法及其装置，采用双光路等光程测量，达到了实时在线测量的目的，有效地消除了光源能量抖动对测量结果的重复性以及对高透过镜片透过率测定的影响，能够对用于任何紫外脉冲激光器的光学元件透过率实现精确且方便的测量。
图1为传统的光学元件透过率测量装置的结构示意图；图2为本发明提出的用于大能量、高重频紫外脉冲激光的光学元件透过率测量装置的第一实施例的结构示意图；图3为本发明提出的用于大能量、高重频紫外脉冲激光的光学元件透过率测量装置的第二实施例的结构示意图。
具体实施例方式本发明的目的在于提供一种用于大能量、高重频紫外脉冲激光的光学元件透过率的精确测量方法及其装置。根据本发明的一个方面，提出一种光学元件透过率测量方法，该方法首先将所述特定波长的激光光束进行分束，得到两束激光，使之分别通过一个参考光路和一个测量光路。由于不同的光探测器之间存在难以消除的测量误差，同一光探测器经过一段时间工作后会发生老化导致测量结果发生变化，并且分束器的分束比难以精确控制。因此，通过该测量装置测量光学元件的透过率时，首先在测量光路上不加入待测光学元件，对参考光路与测量光路进行能量标定，得到参考光能量E1与测量光能量E2的激光能量比值k，即k =E1ZE20 k反映了整个光路的分光特性，与激光光源的变化、光探测器的响应情况等无关。然后，将待测光学元件放入测量光路中，使激光透过待测光学元件后入射到第一光探测器，得到此时的测量光能量E3与参考光能量E/。由于分光特性保持不变，假设实际测量时在测量光路不加入光学元件时的测量光束能量为E2’，则根据等式k = E/E2 = E1VE/，计算得到E2’= E1Vk,由此,可以得到待测透镜的透过率为T = E3AE1Vk) = E3/[E1V(E1ZiE2)] = E1E3ZV E20根据本发明的另一个方面，提供一种光学元件透过率测量装置，其为种双光路双探头测量装置，该装置包括一个激光产生装置、一个分束器和两个光探测器(第一、第二光探测器)。激光产生装置用于产生特定波长和能量的激光，分束器将所产生的激光分成两束，一束通过测量光路，另一束通过参考光路。待测光学元件能够可拆卸地安装在测量光路上，以使测量光路上的激光透射过待测光学元件后入射到第一光探测器；参考光路的激光直接入射到第二光探测器。在测量时，先在测量光路上不放置所述光学元件，测量得到通过参考光路的激光光束的能量E1，通过测量光路的激光能量为E2 ;在测量光路上放置所述元学元件，测量得到通过参考光路的激光光束的能量E/，通过测量光路的激光能量为E3。根据公式T = E1E3/E/ E2计算该光学元件的透过率T。根据本发明的再一个方面，提供的光学元件透过率测量装置是一个双光路单探头测量装置，该装置包括一个激光产生装置、一个分束器、一个光斩波器、一个分束镜、两个锁相放大器(第一、第二锁相放大器)和一个光探测器。
激光产生装置用于产生特定波长、重频频率和能量的激光，并向光斩波器和第一锁相放大器输出一个重频信号，该重频信号的频率等于激光脉冲重频频率。激光产生装置产生的初始激光的重频频率在此称为第一重频频率。分束器将激光产生装置所产生的激光分成两束，一束通过测量光路，另一束通过参考光路。待测光学元件能够可拆卸地安装在测量光路上，以使通过测量光路的激光透射过待测光学元件后入射到分束镜。光斩波器用于接收由分束器出射的通过参考光路的激光，以所述激光产生装置发出的重频信号作为触发信号，根据一调制信号对所接收的激光进行斩波调制，输出具有第二重频频率的激光，该第二重频频率等于斩波调制频率。分束镜用于将通过测量光路与参考光路的激光合并为混合光束。在一种实施方式中，在入射到分束镜前，测量光路方向与参考光路方向正交，测量光和参考光通过分束镜上同一位置发生透射和反射，测量光的透射光与参考光的反射光合成一束混合光束，而测量光的反射光与参考光的透射光则合成另一束混合光束，这两束混合光束在分束镜上同一位置处正交出射分束镜，其中一束混合光束到达光探测器。激光产生装置发出的重频信号与光斩波器发出的调制信号分别送入第一、第二锁相放大器作为其参考频率，同时，将光探测器测得的混合光束的能量信号分别输入锁相放大器与的信号输入端，则第一、第二锁相放大器可以分别从混合光束能量信号中检测出频率分别为所述重频信号和所述调制信号的频率的信号，这两个信号分别对应于测量光路与参考光路的光束能量，从而实现两光路能量的同时测量。在测量时，同样地，首先在测量光路上不加入待测光学元件，对参考光路与测量光路进行能量标定，得到参考光能量E(f\)与测量光E(f2)，得到比值Ii = E(AVEa2)。然后将待测光学元件放入测量光路中，得到参考光能量E’(f\)和测量光E’(f2)。根据等式k =E(f1)/E(f2) =E，(fJ/E’(f2)，计算得到E’ (f2) =E，(fj/k，由此，可以得到待测光学元件透过率为T = E’况)/ ’ (D/k)。为使本发明的目的、技术方案和优点更加清楚明白，以下结合具体实施例，并参照附图，对本发明作进一步的详细说明。第一实施例图2为本发明提出的用于大能量、高重频紫外脉冲激光的光学元件透过率测量装置的第一实施例的结构示意图。如图2所示，该装置是一种双光路双探头(光检测器)装置，包括激光光源100、光衰减器200、分束器210、第一小孔板300、第二小孔板301、待测元件夹持装置510、第一光探测器600、第二光探测器601和计算机800。该实施例的装置所测量的光学元件为透镜500。激光光源100为紫外脉冲激光光源，用于产生紫外脉冲激光。光衰减器200，用于接收所述激光光源100出射的紫外脉冲激光，并将该紫外脉冲激光的能量控制在第一光探测器600与第二光探测器601的阈值范围。激光光源100通常具有重频频率f\。分束器210用于将激光光源100经光衰减器200发出的紫外脉冲激光分成两束激光一束激光通过第一小孔板300后入射到待测透镜500，透过待测透镜500出射的激光入射到第一光探测器600 ;另一束激光经第二小孔板301后直接入射到第二光探测器601。在此，分别将经过第一小孔板300、待测透镜500到达第一光探测器600的光路称为测量光路，将经过第二小孔板301到达第二光探测器601的光路称为参考光路。所述第一小孔板300与第二小孔板301上均设置有供激光通过的小孔，该小孔用于调节激光光束大小，使得光束大小接近待测透镜500的常用受光区域面积，以适应测量需要。在该实施例中，第一小孔板300和第二小孔板301的孔径大小可以调节，以保证通过小孔板后的激光光束大小一致。所述待测透镜500通过所述待测元件夹持装置510可拆卸地固定在所述测量装置的测量光路中。所述第一光探测器600和第二光探测器601用于检测入射其上的紫外脉冲激光的能量大小，产生激光能量信号，其既可以是光电探测头，也可以是热电探测头，二者可以不同，但优选为同一类型且测量区间相同。所述计算机800用于接收由第一光探测器600和第二光探测器601测得的激光能量信号，对所述激光能量信号进行处理后得到所述待测透镜500的透过率。计算机800也可以有具有数据处理功能的其它数据处理装置来实现，如数据采集处理板卡。如上所述，从激光光源100发出的紫外脉冲激光经分束器210分束后分成两束光，其中一束激光通过测量光路到达第一光探测器600，另一束激光通过参考光路到达第二光探测器601。根据激光特性可知，测量光路与参考光路可以看成近似等光程，即两束激光几乎同时到达第一光探测器600与第二光探测器601。在测量时，首先确定待测透镜500的通光尺寸，根据需要调节第一小孔板300与第二小孔板301的孔径大小，使从小孔板300、301射出的激光光束具有合适的大小。再根据待测透镜500选择合适的待测元件夹持装置，但是不将待测透镜500夹持于该待测元件夹持装置510。校准装置的光路，使装置中各元件的中心与光路光轴相重合。打开激光光源100的开关，读取并记录此时第二光探测器601读数E1与第一光探测器600的读数E2，得到比值k = E1ZE2,关闭激光。然后，将待测透镜500夹持于所述待测元件夹持装置510，打开激光光源100的发射开关，读取并记录此时第一光探测器600读数E3与第二光探测器601读数E/。根据等式k = E1ZE2 = E/ /E2'计算得到E2’ = E/ /k,由此,可以得到待测透镜500的透过率为T=E3/ (E1，/k)。第二实施例图3为本发明提出的用于大能量、高重频紫外脉冲激光的光学元件透过率测量装置的第二实施例的结构示意图。如图3所示，该装置是一种双光路单探头(光检测器)装置，包括激光光源100、光衰减器200、分束器210、第一小孔板300、第二小孔板301、光斩波器400、第一反射镜220、第二反射镜221、分束镜211、光束收集器230、待测元件夹持装置510、光探测器600、第一锁相放大器700和第二锁相放大器701和计算机800。该第二实施例的装置所测量的光学元件也为透镜500。激光光源100为紫外脉冲激光光源，用于产生具有第一重频频率的紫外脉冲激光。同时，激光光源还产生一个重频信号F1,并将该重频信号F1发送到光斩波器400和第一锁相放大器700，该重频信号频率等于激光脉冲重频频率。光衰减器200，用于接收所述激光光源100出射的紫外脉冲激光，并将该紫外脉冲激光的能量控制在光探测器600的阈值范围。
分束器210用于将激光光源100经光衰减器200发出的紫外脉冲激光分成两束激光一束激光通过第一小孔板300后入射到待测透镜500，透过待测透镜500出射的激光入射到第一反射镜220 ;另一束激光经光斩波器、第二小孔板301后直接入射到第二反射镜221。在此，分别将经过第一小孔板300、待测透镜500的光路称为测量光路，将经过光斩波器400、第二小孔板301的光路称为参考光路。所述第一小孔板300与第二小孔板301用于调节激光光束大小，使得光束大小接近待测透镜500的常用受光区域面积，以适应测量需要。在该实施例中，第一小孔板300和第二小孔板301的孔径大小可以调节，以保证通过小孔板后的激光光束大小一致。所述待测透镜500通过所述待测元件夹持装置510可拆卸地固定在所述测量装置的测量光路中。所述光斩波器400用于接收由分束器210出射的通过参考光路的激光，并将激光光源100发出的重频信号F1作为触发信号，根据一调制信号F2对所接收的激光进行斩波调制，输出具有第二重频频率f2的激光。该第二重频频率等于其斩波调制频率。光斩波器400可以是旋转光斩波器，包括控制平台、马达头组合和带槽斩波轮；光斩波器400也可以是电子快门，包括控制平台与快门挡板。光斩波器400在工作时，通过控制平台可以调节其斩波调制频率。在一种实施方式中，控制平台具有一个控制接口，通过该控制接口将一控制信号送入光斩波器400的控制平台，从而按照控制信号来改变斩波调制频率，当光束通过光斩波器时，遇到斩波轮叶片或快门挡板关闭的光被阻挡，而遇到斩波轮叶片之间空隙或快门挡板打开的光顺利通过，从而使得光束的时间分布发生改变。所述第一反射镜220和第二反射镜221分别用于将测量光路的激光和参考光路的激光反射到分束镜211。在该实施例中，如图3所示，第一反射镜220和第二反射镜211均以45°角全反射激光光束。所述分束镜211用于将测量光路与参考光路的激光在测量光方向与参考光方向分别合成一束。在入射到此分束镜前，测量光路方向与参考光路方向正交，测量光和参考光在分束镜上同一位置发生透射和反射，测量光的透射光与参考光的反射光合成一束混合光束，而测量光的反射光与参考光的透射光则合成另一束混合光束，这两束混合光束在分束镜上同一位置处正交出射分束镜。所述光探测器600用于接收由分束镜211的一个方向上的出射的混合光束，检测该紫外脉冲激光的能量大小，产生激光能量信号。光探测器600既可以是光电探测头，也可以是热电探测头。所述光束收集器230用于收集从分束镜211出射的与光探测器所接收的混合光束的光路正交方向的光束。所述第一锁相放大器700和第二锁相放大器701用于根据光探测器600探测到的激光能量信号分别得到测量光束的激光能量信号和参考光束的激光能量信号。激光光源100发出的重频信号F1与光斩波器400发出的调制信号F2分别送入第一锁相放大器700和第二锁相放大器701作为其参考频率，同时，将光探测器600测得的混合光束的激光能量信号分别输入第一锁相放大器700和第二锁相放大器701的信号输入端。由此，第一锁相放大器700输出为重频频率为的激光能量信号强度，从而检测出测量光束的强度；第二锁相放大器701输出为重频频率为f2的激光能量信号强度，从而检测出参考光束的强度。
所述计算机800用于接收所述测量激光能量信号和参考激光能量信号，用于对两个激光能量信号进行处理后得到所述待测透镜500的透过率。如上所述，从激光光源100发出的重频频率为的高重频紫外脉冲激光经分束器210分束后分成两束光，其中一束光通过测量光路到达光探测器600。光斩波器400以接收到的激光光源100发出的重频信号F1作为触发信号，以调制频率&对通过参考光路的光进行斩波调制。调制后的参考激光经分束镜211后与测量光同时到达光探测器600。将激光光源100发出的重频信号F1 (重频信号F1的频率与激光光源100发出的激光脉冲的重频频率相等)与光斩波器400发出的调制信号F2 (调制信号F2的频率等于光斩波器400的斩波调制频率f2)分别送入第一锁相放大器700与第二锁相放大器701作为其参考频率，同时，将光探测器600测得的混合信号分别输入第一锁相放大器700与第二锁相放大器701的信号输入端，则两个锁相放大器700、701可以分别从混合信号中检测出频率为与f2的激光能量信号，这两个信号分别对应于测量光路与参考光路的激光的光强，从而实现两光路能量的同时测量。 在测量时，首先确定待测透镜500的通光尺寸，根据需要调节第一小孔板300与第二小孔板301的孔径大小，使从小孔板300、301射出的激光光束具有合适的大小。再根据待测透镜500选择合适的待测元件夹持装置，但是不将待测透镜500夹持于该待测元件夹持装置510。校准装置的光路，使装置中各元件的中心与光路光轴相重合。接着，打开激光光源100的发射开关，读取并记录此时光探测器600读数E (f\)与E(f2)，得到比值k = EK1VEa2),关闭激光光源100。然后将待测透镜500夹持于所述待测元件夹持装置510，打开激光光源100的发射开关，读取并记录此时光探测器600读数E’ (f\)与E’ (f2)。根据等式k = E(f\)/E(f2)=E，(賴，(f2)，计算得到E’ (f2) =E，(f^/k，由此，可以得到待测透镜透过率为T =E，况)/ ’(D/k)。以上所述的具体实施例，对本发明的目的、技术方案和有益效果进行了进一步详细说明，应理解的是，以上所述仅为本发明的具体实施例而已，并不用于限制本发明，凡在本发明的精神和原则之内，所做的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本发明的保护范围之内。
权利要求
1.一种光学元件透过率测量方法，用于测量光学元件对于特定波长的激光光束的透过率，其特征在于，该方法包括如下步骤将所述特定波长的激光光束进行分束，得到两束激光，使之分别通过一个参考光路和一个测量光路；在测量光路上不放置所述光学元件，测量得到通过参考光路的激光光束的能量E1，通过测量光路的激光能量为E2 ；在测量光路上放置所述元学元件，测量得到通过参考光路的激光光束的能量E/，通过测量光路的激光能量为E3 ；根据公式T = E1E3ZiE/ E2计算该光学元件的透过率T。
2.一种光学元件透过率测量装置，用于测量光学元件对于特定波长的激光光束的透过率，该装置包括用于产生该特定波长的激光光束的激光产生装置，其特征在于，该光学元件透过率测量装置还包括分束器、第一光探测器和第二光探测器，所述分束器用于将所述激光产生装置产生的激光分成两束，一束通过一个测量光路，另一束通过一个参考光路；所述第一、第二探测器用于测量投射其上的激光光束的能量；其中所述光学元件能够可拆卸地安装在所述测量光路上，且当该光学元件安装在该测量光路上时，所述激光光束能透射过该待测光学元件后入射到所述第一光探测器，以及所述参考光路的激光直接入射到第二光探测器。
3.如权利要求2所述的光学元件透过率测量装置，其特征在于，在所述参考光路和所述测量光路上均包括小孔板，所述小孔板上设置有供激光通过的小孔，该小孔用于调节激光光束大小，使得光束大小与所述光学元件的受光区域面积相当。
4.如权利要求2所述的光学元件透过率测量装置，其特征在于，所述光学元件(500)通过所述待测元件夹持装置(510)可拆卸地固定在所述测量装置的测量光路中。
5.如权利要求2所述的光学元件透过率测量装置，其特征在于，还包括数据处理装置(800)，其用于接收由第一光探测器(600)和第二光探测器(601)测得的激光能量信号，对所述激光能量信号进行处理后得到所述光学元件(500)的透过率。
6.一种光学元件透过率测量装置，用于测量光学元件对于特定波长的激光光束的透过率，该装置包括用于产生具有特定波长和第一重频频率的激光光束的激光产生装置，其特征在于，该光学元件透过率测量装置还包括分束器、光斩波器、分束镜、第一锁相放大器、第二锁相放大器和光探测器，所述激光产生装置还用于同步产生一个重频信号，并将该重频信号发送到所述光斩波器和第一锁相放大器，该重频信号频率等于激光脉冲重频频率；所述分束器用于将所述激光产生装置产生的激光分成两束，一束通过一个测量光路，另一束通过一个参考光路；所述光斩波器用于接收由分束器出射的通过所述参考光路的激光，以所述激光产生装置发出的重频信号作为触发信号，根据一调制信号对所接收的激光进行斩波调制，输出具有第二重频频率的激光，该调制信号频率等于第二重频频率；所述分束镜用于将所述测量光路与所述参考光路的激光在测量光方向与参考光方向分别合并生成为两束混合光束；在入射到此分束镜前，测量光路方向与参考光路方向正交，测量光和参考光在分束镜上同一位置发生透射和反射，测量光的透射光与参考光的反射光合成一束混合光束，而测量光的反射光与参考光的透射光则合成另一束混合光束，这两束混合光束在分束镜上同一位置处正交出射分束镜；所述光探测器用于测量所述混合光束的能量信号，并将其分别输入所述第一、第二锁相放大器；所述第一锁相放大器和第二锁相放大器用于分别接收所述激光产生装置发出的重频信号和所述光斩波器发出的调制信号，并分别将第一重频频率和第二重频频率作为其参考频率，以分别从所述混合光束的能量信号中检测出频率分别为所述第一重频频率和所述第二重频频率的激光能量信号，这两个信号分别对应于测量光束与参考光束的光强；待测光学元件能够可拆卸地安装在测量光路上，且当该光学元件安装在该测量光路上时，所述激光光束能透射过该待测光学元件后入射到分束镜。
7.如权利要求6所述的光学元件透过率测量装置，其特征在于，在所述参考光路和所述测量光路上均包括小孔板，所述小孔板上设置有供激光通过的小孔，该小孔用于调节激光光束大小，使得光束大小与述光学元件的受光区域面积相当。
8.如权利要求6所述的光学元件透过率测量装置，其特征在于，所述光学元件(500)通过所述待测元件夹持装置(510)可拆卸地固定在所述测量装置的测量光路中。
9.如权利要求6所述的光学元件透过率测量装置，其特征在于，还包括数据处理装置(800)，其用于接收所述具有第一重频频率和具有所述第二重频频率的激光能量信号，对该两个激光能量信号进行处理后得到所述光学元件(500)的透过率。
10.如权利要求6所述的光学元件透过率测量装置，其特征在于，还包括第一反射镜和第二反射镜，其分别用于将测量光路的激光和参考光路的激光反射到分束镜。
全文摘要
本发明公开了一种光学元件透过率测量方法和相应的装置。其中方法包括将特定波长的激光光束进行分束，得到两束激光，使之分别通过一个参考光路和一个测量光路；在测量光路上不放置光学元件，测量得到通过参考光路的激光光束的能量E1，通过测量光路的激光能量为E2；在测量光路上放置元学元件，测量得到通过参考光路的激光光束的能量E1’，通过测量光路的激光能量为E3；根据公式T＝E1E3/E1’E2计算该光学元件的透过率T。本发明的测量方法和装置采用双光路等光程测量，达到了实时在线测量的目的，能够有效地消除光源能量抖动对测量结果的重复性以及对高透过镜片透过率测定的影响，能够对用于任何紫外脉冲激光器的光学元件透过率实现精确且方便的测量。
文档编号G01M11/02GK103018012SQ20121052494
公开日2013年4月3日 申请日期2012年12月7日 优先权日2012年12月7日
发明者周翊, 宋兴亮, 范元媛, 沙鹏飞, 赵江山, 李慧, 鲍洋, 张立佳, 崔惠绒, 王宇 申请人:中国科学院光电研究院