专利名称：具有探针框架的检测设备的制作方法
技术领域：
本发明涉及TFT-LCD (薄膜晶体管液晶显示器)阵列基板检测技术，特别涉及一种具有探针框架的检测设备，该检测设备用于检测TFT-LCD阵列基板。
背景技术：
在薄膜晶体管液晶显示装置(ThinFilm Transistor Liquid crystal Display,以下简称TFT-IXD)制造工艺中，阵列电路的形成是基础环节。阵列电路是通过半导体中常用的掩膜-曝光工艺在基板上形成的，在阵列电路中加入信号，以驱动表面的液晶，形成显示矩阵。由于阵列电路的优劣直接决定了 TFT-LCD装置的品质，因此对阵列电路的检测就成为TFT-IXD制造流程中的重要工序。阵列电路的检测主要是通过阵列测试机台(Array tester)来实现。检测过程中，测试信号通过探针框架(Probe Frame)上的探针(pin)加载到阵列电路中。探针框架内部的电路将信号输入端和安装在探针框架(Probe Frame)上固定位置的探针连接在一起，检测时探针头与阵列基板上的pad(面板检测信号输入端)一一对应接触。在实际应用中，由于TFT-LCD的阵列电路的设计多样性，探针框架的设计也就多种多样，探针的分布可以为左右排列方式、上下排列方式，特殊地，某些探针框架中央部位也存在横梁或竖梁，上面安装有一定数量的探针，以满足测试不同电路的需要。上述每一个探针即是一个用于为阵列基板上某一固定接入点提供检测信号的信号提供单元。实际测试时，上述探针与阵列基板相接触，探针本身是具有弹性的可伸缩装置，在一定的外部压力和自身的弹力共同作用下实现接触。探针在使用过程中由于氧化、磨损、或折断等原因，当需要更换探针时，需要让设备关机，更换后再复机整个过程花费了大量时间，尤其是真空机台设备，从开腔到复机量产至少要花费几个小时，大大影响了设备的工作效率。
实用新型内容本实用新型的目的是提供一种具有探针框架的检测设备。本实用新型的具有探针框架的检测设备可以减少为更换探针而关机的次数，提高设备的工作效率。本实用新型的具有探针框架的检测设备，所述检测设备用于检测阵列基板，所述探针框架包括架体以及用于为所述阵列基板上一接入点提供检测信号的信号提供单元，所述架体上设置有可旋转装置，所述信号提供单元包括多个与信号源电连接的探针，所述多个探针中的一部分安装于所述可旋转装置上并处于工作位置为所述阵列基板提供检测信号，所述多个探针中的另一部分安装于所述可旋转装置上并可以通过所述可旋转装置的旋转，旋转至所述工作位置为所述阵列基板提供检测信号。本实用新型的具有探针框架的检测设备，其中，所述可旋转装置为可旋转设置于所述架体上的转轴，所述转轴平行于所述架体与所述待检测阵列基板结合的结合面，所述多个探针垂直于所述转轴的中心轴线并沿所述转轴的轴周向分布设置于所述转轴上。[0009]本实用新型的具有探针框架的检测设备，其中，所述探针沿所述转轴周向均匀分布设置于所述转轴上。本实用新型的具有探针框架的检测设备，其中，所述多个探针通过旋转座体固定于所述转轴上，所述旋转座体固定套置于所述转轴上，所述探针可插拔的设置于所述旋转座体上。本实用新型的具有探针框架的检测设备，其中，所述探针通过所述旋转座体与所述信号源电连接，所述探针与所述旋转座体电连接，所述旋转座体包括信号端，所述信号端与所述信号源通过电刷电连接。本实用新型的具有探针框架的检测设备，其中，所述信号端套置于所述转轴上，与所述信号端保持接触的所述电刷通过电刷支架固定于所述架体上，所述信号源与所述电刷电连接。本实用新型的具有探针框架的检测设备，其中，所述旋转座体为立方体状，所述旋 转座体的四个侧面上分别设置有一所述探针。本实用新型的具有探针框架的检测设备，其中，所述探针框架还包括用于为所述转轴提供旋转动力的电机，所述电机的输出轴与所述转轴的一端连接。本实用新型的具有探针框架的检测设备，其中，所述探针框架还包括用于控制所述转轴旋转的控制器，所述控制器与所述电机电连接。当本实用新型的检测设备中的探针框架中的探针在使用过程中不能工作时，不需要让设备关机，只需通过人力或电机带动可旋转装置旋转，即可很方便的轮换探针，保证设备继续工作。由此本实用新型的具有探针框架的检测设备可以减少为更换探针而关机的次数，大幅提高设备的工作效率。
图I为本实用新型的检测设备中的探针框架的结构示意图的俯视图；图2为图I的A-A剖视图；图3为图I的B-B剖视图；图4为图3的C-C剖面图。
具体实施方式
本实用新型的检测设备中的探针框架将传统插入式更换探针的方式用旋转探针的方式代替，有效的减少了关机更换探针的次数，尤其对真空检测机台效果显著，有效提高设备的生产效率。如图I、图2、图3、图4所示，TFT-IXD基板检测设备用于检测阵列基板。本实用新型的具有探针框架的TFT-LCD基板检测设备中的探针框架，包括架体I以及安装于架体I上用于为阵列基板上一接入点提供检测信号的信号提供单元20。其中，信号提供单元20有多个，每个信号提供单元20为阵列基板上某一固定接入点提供检测信号。架体I上设置有可旋转装置。每个信号提供单元20包括多个与信号源8电连接的探针2，多个探针2中的一部分安装于上述可旋转装置上并处于工作位置(图2中E位置)为阵列基板提供检测信号，多个探针2中的另一部分安装于上述可旋转装置上并可以通过上述可旋转装置的旋转，旋转至上述工作位置为阵列基板提供检测信号。当本实用新型的具有探针框架的检测设备工作时，架体与待检测阵列基板结合，安装于上述可旋转装置上并处于工作位置的探针向上伸出并与阵列基板相接触，为其提供检测信号。当这部分探针在使用过程中由于氧化、磨损、或折断等原因不能工作时，不需要让设备关机，只需通过人力或电机带动上述可旋转装置旋转，安装于上述可旋转装置上的另一部分探针即可以旋转至工作位置为阵列基板提供检测信号。具体来说，本实施例中，上述可旋转装置为可旋转设置于架体I上的转轴3，架体I包括多个竖直设置的立板10，转轴3可旋转的设置与相对的立板10之间。转轴3平行于架体I与待检测阵列基板结合的结合面9，即转轴3平行于架体I的上表面。多个探针2垂直于转轴3的中心轴线并沿转轴3的轴周向分布设置于转轴3上。这样当转轴3旋转，一部分探针2即可旋转至工作位置(即图2中E位置)，并垂直于结合面9，同时垂直于待检测阵列基板。当架体I与待检测阵列基板结合，工作位置的探针2与待检测阵列基板垂直接触，为其提供检测信号。当这部分探针不能工作时，通过人 力或电机带动转轴3旋转，安装于转轴3上的另一部分探针(即图2中F位置、H位置或G位置的探针2)，都可以旋转至工作位置为阵列基板提供检测信号。为避免电信号外泄，转轴3采用绝缘材料制成。本实施例中，本实用新型的具有探针框架的检测设备的探针框架还包括用于为转轴3提供动力的电机4，电机4的输出轴与转轴3的一端连接。电机4可以固定于架体I的立板10上。本实施例中，本实用新型的具有探针框架的检测设备的探针框架还包括用于控制转轴3旋转的控制器(图中未示出)，上述控制器与电机4电连接，用以控制转轴3的旋转角度。本实施例中，多个信号提供单元20安装于同一转轴3上，这样当某一个信号提供单元上的处于工作位置的探针不能工作时，转轴3上其他信号提供单元上的处于工作位置的探针也要随之转动。作为本实施例的改进，每一转轴上可以只安装一个信号提供单元，一个信号提供单元轮换探针时，其他信号提供单元不必随之旋转。为使转轴3受力平衡，本实施例中，探针2沿转轴3的周向均匀分布设置于转轴3上。为方便转轴3上探针2的维修、更换，本实施例中，探针2通过旋转座体5固定于转轴3上。旋转座体5固定套置于转轴3上，探针2可插拔的设置于旋转座体5上。为保证在转轴3的旋转过程中，探针2始终与信号源8电连接，本实施例中，探针2通过旋转座体5与信号源8电连接，探针2与旋转座体5电连接，旋转座体5包括套置于转轴3上的信号端51，信号端51与信号源8通过电刷6电连接。本实施例中，与信号端51保持接触的电刷6通过电刷支架7固定于架体2上，信号源8与电刷6电连接。具体来说，电刷6 —端与信号端51保持接触，另一端固定于电刷支架7上。电刷支架7固定于架体I上。本实施例中，旋转座体5为立方体状。旋转座体5的四个侧面上分别垂直设置有一个探针2，四个探针2中，彼此相邻的探针2的夹角成90度。[0036]在本实用新型的其他实施例中，旋转座体5可以为横截面为正八边形的块体。旋转座体5的八个侧面上分别垂直设置有一个探针2，八个探针2中，彼此相邻的探针2的夹角成45度。以上所述仅是本实用新型的优选实施方式，应当指出，对于本技术领域的普通技 术人员来说，在不脱离本实用新型原理的前提下，还可以做出若干改进和润饰，这些改进和润饰也应视为本实用新型的保护范围。
权利要求1.一种具有探针框架的检测设备，所述检测设备用于检测阵列基板，所述探针框架包括架体以及用于为所述阵列基板上一接入点提供检测信号的信号提供单元，其特征在于，所述架体上设置有可旋转装置，所述信号提供单元包括多个与信号源电连接的探针，所述多个探针中的一部分安装于所述可旋转装置上并处于工作位置为所述阵列基板提供检测信号，所述多个探针中的另一部分安装于所述可旋转装置上并可以通过所述可旋转装置的旋转，旋转至所述工作位置为所述阵列基板提供检测信号。
2.根据权利要求I所述的具有探针框架的检测设备，其特征在于，所述可旋转装置为可旋转设置于所述架体上的转轴，所述转轴平行于所述架体与所述待检测阵列基板结合的结合面，所述多个探针垂直于所述转轴的中心轴线并沿所述转轴的轴周向分布设置于所述转轴上。
3.根据权利要求2所述的具有探针框架的检测设备，其特征在于，所述探针沿所述转轴周向均匀分布设置于所述转轴上。
4.根据权利要求2所述的具有探针框架的检测设备，其特征在于，所述多个探针通过旋转座体固定于所述转轴上，所述旋转座体固定套置于所述转轴上，所述探针可插拔的设置于所述旋转座体上。
5.根据权利要求4所述的具有探针框架的检测设备，其特征在于，所述探针通过所述旋转座体与所述信号源电连接，所述探针与所述旋转座体电连接，所述旋转座体包括信号端，所述信号端与所述信号源通过电刷电连接。
6.根据权利要求5所述的具有探针框架的检测设备，其特征在于，所述信号端套置于所述转轴上，与所述信号端保持接触的所述电刷通过电刷支架固定于所述架体上，所述信号源与所述电刷电连接。
7.根据权利要求6所述的具有探针框架的检测设备，其特征在于，所述旋转座体为立方体状，所述旋转座体的四个侧面上分别设置有一所述探针。
8.根据权利要求2所述的具有探针框架的检测设备，其特征在于，所述探针框架还包括用于为所述转轴提供旋转动力的电机，所述电机的输出轴与所述转轴的一端连接。
9.根据权利要求8所述的具有探针框架的检测设备，其特征在于，所述探针框架还包括用于控制所述转轴旋转的控制器，所述控制器与所述电机电连接。
专利摘要本实用新型提供的具有探针框架的检测设备，检测设备用于检测阵列基板，探针框架包括架体以及用于为所述阵列基板上一接入点提供检测信号的信号提供单元，架体上设置有可旋转装置，信号提供单元包括多个与信号源电连接的探针，多个探针中的一部分安装于可旋转装置上并处于工作位置为阵列基板提供检测信号，多个探针中的另一部分安装于可旋转装置上并可以通过可旋转装置的旋转，旋转至工作位置为阵列基板提供检测信号。本实用新型的检测设备，用于检测阵列电路，可以减少为更换探针而关机的次数，提高设备的工作效率。
文档编号G01R31/28GK202486284SQ20122011776
公开日2012年10月10日 申请日期2012年3月26日 优先权日2012年3月26日
发明者何欢, 孟庆超, 杨潇宇, 罗强强 申请人:京东方科技集团股份有限公司, 合肥京东方光电科技有限公司