专利名称：可自动多点采样的分析装置的制作方法
技术领域：
本实用新型是一种可自动多点采样的分析装置，尤指可以单一机台即可自动量测监控无尘室内多处地点的有害气体，进而可达到大幅节省量测时间、人力与成本的功效。
背景技术：
一般半导体或面板产业的无尘室(clean room),通常必须针对空气中含有的酸喊气或有机类等AMC (Airborne Molecular Contamination,气体分子污染物)或VOC(Volatile Organic Compound,挥发性有机化合物)的浓度加以量测并监控，以避免这些有害气体影响到产品的良率或精密昂贵的机器设备，目前对于无尘室环境中AMC或VOC的量测监控，请参阅图1所示，通常是由操作者携带人工采样装置11进入所述无尘室内采集空气样本，所述人工采样装置11通常是吸附管或采气袋或不锈钢桶，其可将待测量的空气样本经由所述人工采样装置11收集或吸附，此时所述操作者即可将所述空气样本携带至无尘室外的实验室中，利用热脱附装置12 (Thermal Desorption, TD)与分析仪13进行量测分析，其中所述热脱附装置12是利用高温让化学物质气化的原理，而可将挥发性或半挥发性化合物(也即待辨识或确认的有害气体)从吸附剂中脱附出来，接下来即可将这些化合物送入所述分析仪13中进行量测分析，所述分析仪13更具体地可为一气相层析质谱分析仪(GC-MS, Gas Chromatography-MassSpectrometer ),所述气相层析质谱分析仪是一种利用将化学物质层析分离，再经由电磁场，依据质荷比(m/z mass to charge ratio)的测量,来决定分子质量的技术，因质量是分子的一种特性，故可用于分子的鉴定或确认，如此即可用以进一步确定化合物的种类与含量，并产生一检测结果14，所述检测结果14即为最后量测所得的数据资料，进而可达到量测监控无尘室中有害气体的目的，此外，所述人工采样装置11、热脱附装置12、分析仪13等设备的细部结构或动作原理皆为所属技术领域中具备通常知识者所熟知的，故在此不予详述。所述现有的量测监控设备，虽可达到量测监控无尘室中有害气体的目的，但是其人工采样装置11、热脱附装置12与分析仪13皆须以人工作业方式操作，且操作者必须往返于无尘室与实验室之间，不仅耗时不便，且最后量测所得的检测结果14已非即时性的数据资料，难以立即有效反映现场的情况，因而相关人员并无法于第一时间做必要的处置，导致其实用性大为受限；此外，所述人工采样装置11 一次仅能从事单一地点的采样作业，如无尘室内有多处地点需要监控，便需耗费更多时间重复进行多次采样作业，或者必须同时由多人操作多套人工采样装置11于不同地点进行采样，如此将导致人力与设备成本大幅增加；又，所述检测结果14仅为单一地点的单次量测所得到的数据资料，而每一次的检测结果14都必须由人工方式加以汇整分析方能得到有用的信息，同样浪费人力工时，因此实有改进的必要。因此，如何将上述等缺失加以摒除，即为本案创作人所欲解决的技术困难点的所在。发明内容有鉴于现有的量测监控设备，因是以人工采样装置取样，造成时间、人力及成本浪费等缺失，因此本实用新型的目的在于提供一种可自动多点采样的分析装置，通过本实用新型其多点取样装置包含有至少两个取样管与一取样选择阀，且各所述取样管一端与所述取样选择阀相连接，而使本实用新型可以单一机台即可自动量测监控无尘室内多处地点的有害气体，而可避免现有以人工采样装置取样造成时间、人力及成本浪费等缺失，进而可使本实用新型可达到可大幅节省量测时间、人力与成本的功效。为达成以上的目的，本实用新型提供一种可自动多点采样的分析装置，其包含—仪器本体，所述仪器本体内设有容置空间，所述仪器本体上设有一输出入装置，所述仪器本体其容置空间内设有一控制单元，所述控制单元与所述输出入装置电性连接；一多点取样装置，所述多点取样装置设置于所述仪器本体其容置空间内，且所述多点取样装置与所述控制单元电性连接，所述多点取样装置包含有至少两个取样管与一取样选择阀，各所述取样管一端与所述取样选择阀相连接；一热脱附装置，所述热脱附装置设置于所述仪器本体其容置空间内，且所述热脱附装置与控制单元电性连接，所述热脱附装置与多点取样装置的取样选择阀相连接；一分析装置，所述分析装置设置于所述仪器本体其容置空间内，且所述分析装置与所述控制单元电性连接，所述分析装置与所述热脱附装置相连接。其中，所述分析装置为气相层析质谱分析仪。其中，所述控制单元为中央处理器或微控制器。其中，所述输出入装置为触控式屏幕。其中，所述仪器本体进一步设有至少一个废气出孔。其中，所述分析装置与所述废气出孔相连接。其中，所述取样选择阀一侧进一步设有动力装置。其中，所述动力装置为抽气帮浦。其中，还包含有一数据库系统，所述数据库系统与所述控制单元电性连接。通过本实用新型其多点取样装置包含有至少两个取样管与一取样选择阀，且各所述取样管一端与所述取样选择阀相连接，而使本实用新型可以单一机台即可自动量测监控无尘室内多处地点的有害气体，而可避免现有以人工采样装置取样造成时间、人力及成本浪费等缺失，进而可使本实用新型可达到可大幅节省量测时间、人力与成本的功效。
图1为现有的动作示意图。图2为本实用新型的架构方块示意图。图3为本实用新型安装设置于无尘室的示意图。图4为本实用新型的动作示意图。图5为本实用新型另一个取样管进行取样及后续流程的动作示意图。附图标记说明11_人工采样装置；12_热脱附装置；13_分析仪；14_检测结果；
3-仪器本体；31_容置空间；32_输出入装置；33_控制单元；34_废气出口 ；4_多点取样装置；41_取样管；42_取样选择阀；421_动力装置；5_热脱附装置；51_样本入口 ；52_样本出口 ；6-分析装置；61-进样孔；62-排气孔；7-数据库系统；8_无尘室；81_机台；82_废气处
理系统。
具体实施方式
为使贵审查员方便简捷了解本实用新型的其他特征内容与优点及其所达成的功效能够更为显现，兹将本实用新型配合附图，详细说明如下请参阅图2所示，本实用新型是提供一种可自动多点采样的分析装置，其包含一仪器本体3，所述仪器本体3内设有容置空间31，所述仪器本体3上设有一输出入装置32，又所述输出入装置32可为触控式屏幕，由此，使所述输出入装置32可供操作者输入操作命令或读取操作信息，所述仪器本体3其容置空间31内设有一控制单元33，所述控制单元33与所述输出入装置32电性连接，又所述控制单元33可为中央处理器(CPU)或为微控制器(MCU)，此外，所述仪器本体3尚可进一步设有至少一个废气出孔34 ；一多点取样装置4，所述多点取样装置4设置于所述仪器本体3其容置空间31内，且所述多点取样装置4与所述控制单元3电性连接，所述多点取样装置4包含有至少两个取样管41与一取样选择阀42，各所述取样管41 一端与所述取样选择阀42相连接，又所述取样选择阀42更具体地可为一多路切换阀(mult1-way valve),请再配合参阅图3所示,各所述取样管41另一端则可依使用者需求分别设置于无尘室8内各个欲监控的地点，例如靠近各机台81附近，请再参阅图2所示，通过各所述取样管41分别与所述取样选择阀42相连接，而使所述取样选择阀42可控制并切换所述取样管41与热脱附装置5的样本入口 51之间的流通状态，又所述取样选择阀42 —侧尚可进一步设有动力装置421，所述动力装置421可为抽气帮浦，由此，而使所述抽气帮浦可作为非样本气体抽气之用；一热脱附装置5，所述热脱附装置5设置于所述仪器本体3其容置空间31内，且所述热脱附装置5与控制单元33电性连接，又所述热脱附装置5设有一样本入口 51与一样本出口 52，所述热脱附装置5其样本入口 51与多点取样装置4其取样选择阀42相连接，所述热脱附装置5其细部构造或动作原理是属先前技术且非本案技术特征，故在此不予详述； 一分析装置6，所述分析装置6设置于所述仪器本体3其容置空间31内，且所述分析装置6与所述控制单元33电性连接，又所述分析装置6设有进样孔61与一排气孔62，所述分析装置6其进样孔61与所述热脱附装置5其样本出口 52相连接，所述分析装置6其排气孔62与仪器本体3其废气出口 34相连接，又所述分析装置6更具体地可为一气相层析质谱分析仪(GC-MS, Gas Chromatography-Mass Spectrometer),所述分析装置6其细部构造或动作原理同样也属先前技术且非本案技术特征，于此不再赘述；一数据库系统7，所述数据库系统7与所述控制单元33电性连接；请参阅图3、图4所示，当所述仪器本体3安装设置于无尘室8内，且各取样管41安装设置于各个欲监控的地点后，操作者即可通过所述输出入装置32输入相关的控制命令，所述控制单元33即可令所述多点取样装置4的取样选择阀42作动，而使所述取样选择阀42可开通与所述欲监控的地点相对应的取样管41之间的阀路，而使所述欲监控的地点的空气样本可经由取样管41进入所述热脱附装置5与后续的分析装置6进行热脱附与量测分析，所述分析装置6即可将最后的量测数据传回所述控制单元33，而使所述控制单元33可将所述量测数据传送至所述数据库系统7以建立数据库，与此同时，请再配合参阅图5所示，所述控制单元33也可依操作者的控制命令，继续重复且自动进行下一个取样管41的取样与后续的动作流程，最后，远端的相关人员即可以有线或无线连线的方式通过所述数据库系统7取得数据库的内容，而可进行无尘室内各重要地点有害气体的即时性监控，使相关人员可于异常发生的第一时间前往现场进行处理，进而可使本实用新型可达到量测监控无尘室中有害气体的目的。请再参阅图2所示，通过本实用新型其多点取样装置4包含有至少两个取样管41与一取样选择阀42，且各所述取样管41 一端与所述取样选择阀42相连接，而使本实用新型可以单一机台即可自动量测监控无尘室内多处地点的有害气体，而可避免现有以人工采样装置11取样造成时间、人力及成本浪费等缺失，进而可使本实用新型可达到可大幅节省量测时间、人力与成本的功效；此外，请再配合参阅图3所示，又通过所述仪器本体3设有废气出口 34，且所述废气出口 34与所述分析装置6的排气孔62相连接，而使所述废气出口 34可供与无尘室8内既有的废弃处理系统82相连接，可利用现成的厂务设备将最后由所述仪器本体3排出的气体样本加以处理，而不像现有必须于实验室内另外建置废气处理的环境或设备，因此本实用新型可将所述多点取样装置4、热脱附装置5与分析装置6等设备整合为单一机台并直接安装于无尘室8内，且通过所述控制单元33达到自动化的控制与量测监控作业，进而可使本实用新型可兼具大幅提升操作便利性的功效；又，另通过本实用新型设有数据库系统7，而可自动累积并建立有用的统计性数据，以提供给相关人员作为生产管理或找出异常情况的原因的辅助判断信息，避免现有须以人工方式手动汇整所有的检测结果14的数据资料，进而可使本实用新型可兼具大幅提升产品实用性的功效。为使本实用新型更加显现出其进步性与实用性，兹与现有作一比较分析如下现有技术1、各阶段的设备皆需人工操作，所需时间、人力及成本皆较多。2、无法即时性得到量测结果，实用性较低。3、样品的代表性较差。本实用新型优点1、将各阶段的设备整合且可自动化作业，可大幅节省时间、人立即成本。2、可以单一机台同时监控多处地点的有害气体。3、可得到即时性的量测结果以便于第一时间反应，实用性较高。4、可对未知有害气体做定性的功能。
权利要求1.一种可自动多点采样的分析装置，其特征在于，其包含 一仪器本体，所述仪器本体内设有容置空间，所述仪器本体上设有一输出入装置，所述仪器本体其容置空间内设有一控制单元，所述控制单元与所述输出入装置电性连接； 一多点取样装置，所述多点取样装置设置于所述仪器本体其容置空间内，且所述多点取样装置与所述控制单元电性连接，所述多点取样装置包含有至少两个取样管与一取样选择阀，各所述取样管一端与所述取样选择阀相连接； 一热脱附装置，所述热脱附装置设置于所述仪器本体其容置空间内，且所述热脱附装置与控制单元电性连接，所述热脱附装置与多点取样装置的取样选择阀相连接； 一分析装置，所述分析装置设置于所述仪器本体其容置空间内，且所述分析装置与所述控制单元电性连接，所述分析装置与所述热脱附装置相连接。
2.根据权利要求1所述的可自动多点采样的分析装置，其特征在于，所述分析装置为气相层析质谱分析仪。
3.根据权利要求1所述的可自动多点采样的分析装置，其特征在于，所述控制单元为中央处理器或微控制器。
4.根据权利要求1所述的可自动多点采样的分析装置，其特征在于，所述输出入装置为触控式屏幕。
5.根据权利要求1所述的可自动多点采样的分析装置，其特征在于，所述仪器本体进一步设有至少一个废气出孔。
6.根据权利要求5中所述的可自动多点采样的分析装置，其特征在于，所述分析装置与所述废气出孔相连接。
7.根据权利要求1至6中任一项所述的可自动多点采样的分析装置，其特征在于，所述取样选择阀一侧进一步设有动力装置。
8.根据权利要求7中所述的可自动多点采样的分析装置，其特征在于，所述动力装置为抽气帮浦。
9.根据权利要求1至6中任一项所述的可自动多点采样的分析装置，其特征在于，还包含有一数据库系统，所述数据库系统与所述控制单元电性连接。
专利摘要本实用新型是提供一种可自动多点采样的分析装置，其包含一仪器本体，所述仪器本体内设有一控制单元；一多点取样装置，所述多点取样装置设置于所述仪器本体内，所述多点取样装置包含有至少两个取样管与一取样选择阀，各所述取样管一端与所述取样选择阀相连接；一热脱附装置，所述热脱附装置设置于所述仪器本体内，所述热脱附装置与多点取样装置的取样选择阀相连接；一分析装置，所述分析装置设置于所述仪器本体内，所述分析装置与所述热脱附装置相连接；通过本实用新型其多点取样装置包含有至少两个取样管与一取样选择阀，且各所述取样管一端与所述取样选择阀相连接，进而可使本实用新型达到可大幅节省量测时间、人力与成本的功效。
文档编号G01N1/26GK202886154SQ20122038760
公开日2013年4月17日 申请日期2012年8月6日 优先权日2012年8月6日
发明者郑智文, 郑嘉葳 申请人:奇鼎科技股份有限公司