专利名称：光栅衍射效率测试装置的制作方法
技术领域：
本实用新型有关一种光栅光谱衍射效率的测试装置。
背景技术：
在光学研究中常常需要测量光栅光谱的衍射效率，但现有技术的装置均只能测量大小相同口径的光栅的衍射效率，而不能测大小不同口径的光栅的衍射效率，且现有技术的装置也不能测量不同偏振态的衍射效率。因此采用现有技术的测试装置进行测试时，对于光栅口径不同或存在不同偏振态的情况只能分别进行测试，造成测试时间长，程序复杂，测试精度低。故现有技术中的测试装置仍有改进的必要。
发明内容本实用新型提供一种光栅衍射效率测试装置，以解决现有技术中存在的不能测量口径大小不同的光栅衍射效率，以及不能测量不同偏振态的衍射效率的技术问题。为此，本实用新型的一种光栅衍射效率测试装置，包括依光路顺次连接的光源室、第一分光系统、第二分光系统和接收器系统，所述光源室用于发出光；所述第一分光系统内设第一光栅，用于将所述光源室发出的光转化为单色光；所述第二分光系统设有被测光栅，用于接收所述单色光，并将所述单色光进行衍射；所述接收器系统内依光路顺次设有偏振器、第四狭缝和接收器，所述偏振器用于将衍射后的光分为水平偏振光和竖直偏振光并通过所述第四狭缝，所述接收器接收所述第四狭缝后的光线。其中，所述第四狭缝为水平位置能切换的光阑。其中，所述被测光栅前设有具一定透光口径并能替换的第一光阑。其中，所述光源室中还设有第一凹面镜，所述第一分光系统内还设有第一狭缝，所述第一凹面镜用于将所述光源发出的光会聚于所述第一分光系统的第一狭缝，所述第一光栅接收通过所述第一狭缝的光并转化为单色光。其中，所述第二分光系统还包括大准直镜，所述接收器系统还包括第三狭缝，所述大准直镜用于将所述单色光准直成为平行光并照在所述被测光栅上进行衍射，且所述大准直镜将所述被测光栅的衍射光会聚于所述第三狭缝处，所述偏振器用于接收所述第三狭缝后的光。本实用新型为能测量平面反射光栅衍射效率的装置，既能测反射光栅的综合衍射效率(不分偏振光)也能测量其水平偏振光衍射效率和与其垂直的偏振光的衍射效率，在被测光栅前面设有第一光阑，可以测量不同面积大小的光栅样品。且本实用新型的光路分布有利于充分利用空间，缩小整体体积，达到了有益的技术效果。
图1是本实用新型的结构示意图。附图标记说明[0012]1-光源室；11-光源；12-第一凹面镜；2_第一分光系统；21_第一狭缝；22_第二狭缝；23_第一光栅；3_第二分光系统；31_平面镜；32_大准直镜；33_被测光栅；34_第一光阑；4_接收器系统；41_第三狭缝；42_偏振器；43_第二凹面镜；44_第四狭缝；45_接收器。
具体实施方式
为了使本实用新型的形状、构造以及特点能够更好地被理解，以下将列举较佳实施例并结合附图进行详细说明。本实用新型的光栅衍射效率测试装置，包括依光路顺次连接的光源室1，第一分光系统2,第二分光系统3和接收器系统4。光源室I中光源11发出的光，经第一凹面镜12会聚于第一分光系统2的第一狭缝21，并经第一分光系统2内设的第一光栅23产生单色光。第一分光系统2的光路是C-T型光路，第一分光系统2分光后的单色光经第二狭缝22进入第二分光系统3。第二分光系统3的光路是立特罗型光路，进入第二分光系统3的光经平面镜31转折约90°后照在第二分光系统3的大准直镜32上，经大准直镜32后的平行光照在被测光栅33上，经被测光栅33衍射后的光再经大准直镜32会聚于接收器系统4的第三狭缝41。被测光栅33前设有具一定透光口径并能替换的第一光阑34。被测光栅33位置可用相同大小的平面反射镜代替，以平面镜的反射光作为参考基础。接收器系统4设置有偏振器42，偏振器42将第三狭缝41进入的光分为水平偏振光和竖直偏振光，可以测出被测光栅水平和竖直两个偏振方向的偏振光的衍射效率。拿走偏振器，则可测出不分偏振的综合衍射效率。经偏振器42后的光经第二凹面镜43会聚在第四狭缝44中。第四狭缝44实际上是一个水平位置可以切换的光阑，可选择两种偏振态的光让其分别通过。被测光栅33前使用不同口径的第一光阑34，可适用于对面积大小不同的光栅进行测试。接收器45置于第四狭缝44后，以接收水平偏振、垂直偏振光或综合光。经第二分光系统3输出的光斑是竖直的长条形的，经偏振器42后仍然是竖直的但分成了水平方向稍许错开的两个光斑，其中一条是水平偏振光形成的光斑，另一条是竖直偏振形成的光斑。起会聚作用的第二凹面镜43的焦距设计，使得经偏振器42分开的两个偏振方向的光斑刚能够由第四狭缝44的光阑选取，又不能分开太大距离以至于光斑到接收器45的位置时超出接收器45的光敏面。光栅闪耀效率是与照射在光栅上的光线与光栅法线角度即光路设置有关的。本实用新型采用立特罗型光路(整个光学系统由一面大镜子和光栅组成，大镜子既充当准直镜又充当分光后的成像镜，平面镜仅起转折光路用)与一般的光栅衍射效率定义一致，这样测得结果具有较高的可比性。本实用新型为能测量平面反射光栅衍射效率的装置，既能测反射光栅的综合衍射效率(不分偏振光)也能测量其水平偏振光衍射效率和与其垂直的偏振光的衍射效率，在被测光栅前面设有第一光阑，可以测量不同面积大小的光栅样品。且本实用新型的光路分布有利于充分利用空间，缩小整体体积。以上对本实用新型的描述是说明性的，而非限制性的，本专业技术人员理解，在权利要求限定的精神与范围之内可对其进行许多修改、变化或等效，但是它们都将落入本实用新型的保护范围内。
权利要求1.一种光栅衍射效率测试装置，其特征在于，包括依光路顺次连接的光源室、第一分光系统、第二分光系统和接收器系统，所述光源室用于发出光；所述第一分光系统内设第一光栅，用于将所述光源室发出的光转化为单色光；所述第二分光系统设有被测光栅，用于接收所述单色光，并将所述单色光进行衍射；所述接收器系统内依光路顺次设有偏振器、第四狭缝和接收器，所述偏振器用于将衍射后的光分为水平偏振光和竖直偏振光并通过所述第四狭缝，所述接收器接收所述第四狭缝后的光线。
2.如权利要求1所述的光栅衍射效率测试装置，其特征在于，所述第四狭缝为水平位置能切换的光阑。
3.如权利要求1所述的光栅衍射效率测试装置，其特征在于，所述被测光栅前设有具一定透光口径并能替换的第一光阑。
4.如权利要求1所述的光栅衍射效率测试装置，其特征在于，所述光源室中还设有第一凹面镜，所述第一分光系统内还设有第一狭缝，所述第一凹面镜用于将所述光源发出的光会聚于所述第一分光系统的第一狭缝，所述第一光栅接收通过所述第一狭缝的光并转化为单色光。
5.如权利要求4所述的光栅衍射效率测试装置，其特征在于，所述第二分光系统还包括大准直镜，所述接收器系统还包括第三狭缝，所述大准直镜用于将所述单色光准直成为平行光并照在所述被测光栅上进行衍射，且所述大准直镜将所述被测光栅的衍射光会聚于所述第三狭缝处，所述偏振器用于接收所述第三狭缝后的光。
专利摘要一种光栅衍射效率测试装置，包括依光路顺次连接的光源室、第一分光系统、第二分光系统和接收器系统，所述光源室用于发出光；所述第一分光系统内设第一光栅，用于将所述光源室发出的光转化为单色光；所述第二分光系统设有被测光栅，用于接收所述单色光，并将所述单色光进行衍射；所述接收器系统内依光路顺次设有偏振器、第四狭缝和接收器，所述偏振器用于将衍射后的光分为水平偏振光和竖直偏振光并通过所述第四狭缝，所述接收器接收所述第四狭缝后的光线。本实用新型既能测反射光栅的综合衍射效率(不分偏振光)也能测量其水平偏振光衍射效率和与其垂直的偏振光的衍射效率，且可以测量不同面积大小的光栅样品。
文档编号G01M11/02GK202886088SQ20122059426
公开日2013年4月17日 申请日期2012年11月12日 优先权日2012年11月12日
发明者武进田, 赵英伟, 刘坤, 杨洪久 申请人:北京瑞利分析仪器有限公司