专利名称：一种基板异物检测装置及曝光机的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及基板检测技术领域，特别涉及ー种基板异物检测装置及曝光机。
背景技术：
接近式曝光机因具有较高的曝光精度而广泛使用，在使用接近式曝光机时，曝光机上的掩模板与基板之间的距离需要控制在一定的范围内，以免因待曝光基板上的颗粒状的异物划伤掩模板而增加生产成本。为了进一歩减少异物划伤掩模板发生的风险，在对基板曝光之前，需要检测基板上的异物高度是否异常；目前，通常采用基板异物检测装置来检测基板上异物的高度是否异常，具体地，基板异物检测装置包括:拍照系统，与拍照系统信号连接的控制装置，其中，拍照系统拍摄整个待曝光基板，获得基板上异物的平面图，控制装置根据上述图像，把异物的平面直径近似为异物的高度，将平面图形模拟成近似球形，从而计算出异物的高度不过，上述计算出异物高度的方法存在缺陷，得到只是异物的近似高度，并不能准确反映出实际存在的异物高度，特别是对针形异物或不均匀异物不能准确计算异物高度，会导致异物划伤掩模板情况发生，而且，当基板上异物较多时，控制装置处理的数据量大，导致在设定的时间内不能计算出所有异物的高度，存在划伤掩模板的风险。
实用新型内容本实用新型的目的在于提供ー种基板异物检测装置及曝光机，用于快速地、准确地检测基板上异物高度是否异常，进而減少基板上异物划伤掩模板的风险。为了实现上述目的，本实用新型提供以下技术方案:ー种基板异物检测装置，包括:平行设置的第一导轨和第二导轨；滑动装配在所述第一导轨上的信号发射器；滑动装配在所述第二导轨上且与所述信号发射器位置相対的信号接收器；传动连接所述信号发射器，用于驱动所述信号发射器沿所述第一导轨移动的第一马达；传动连接所述信号接收器，用于驱动所述信号接收器沿所述第二导轨移动的第二马达；信号连接所述信号发射器、信号接收器、第一马达和第二马达的控制装置，用于控制所述第一马达和第二马达驱动所述信号发射器和信号接收器同步移动，并控制所述信号发射器向所述信号接收器发射扫描信号，当所述信号接收器没有接收到扫描信号时，所述控制装置发出基板上异物高度异常的警报信息。优选地，上述基板异物检测装置，还包括:滑动装配在所述第一导轨上的第一滑座，滑动装配在所述第二导轨上的第二滑座；其中，所述信号发射器固定安装在所述第一滑座上，所述第一马达与所述第一滑座传动连接；所述信号接收器固定安装在所述第二滑座上，所述第二马达与所述第二滑座传动连接。较佳地，所述第一滑座具有延伸方向与所述第一导轨垂直的第三导轨，所述第二滑座具有延伸方向与所述第二导轨垂直的第四导轨。优选地，所述信号发射器固定安装在所述第三导轨上，且所述信号发射器相对于所述第一导轨的高度可调；所述信号接收器固定安装在所述第四导轨上，且所述信号接收器相对于所述第二导轨的高度可调。优选地，所述信号发射器滑动装配在所述第三导轨上，所述信号接收器滑动装配在所述第四导轨上，还包括:与所述信号发射器传动连接用于驱动所述信号发射器沿所述第三导轨移动的第
ニ马达;与所述信号接收器传动连接用于驱动所述信号接收器沿所述第四导轨移动的第四马达。优选地，所述控制装置信号连接所述第三马达和第四马达，用于控制所述第三马达和第四马达驱动所述信号发射器和信号接收器同步移动。优选地，所述第三导轨具有刻度标尺，所述第四导轨具有刻度标尺。优选地，所述信号发射器为激光发射器，所述信号接收器为激光接收器。进ー步地，上述基板异物检测装置还包括:与所述控制装置信号连接用于拍摄基板上异物的拍照系统，所述拍照系统包括:至少ー个镜头和至少ー个光照灯。本实用新型还提供了一种曝光机，包括以上任一所述的基板异物检测装置。在本实用新型中，基板异物检测装置利用能够同步移动的信号发射器和信号接收器，扫描基板上异物的高度，具体地，信号发射器发射扫描信号，信号接收器接收扫描信息，当信号接收器接收到扫描信号时，控制装置根据信号接收器接收到的扫描信息判断基板上的异物高度小于设定高度，此时基板上异物不会划伤掩模板；当信号接收器没有接收到扫描信号时，即扫描信号被基板上的异物阻挡，信号接收器接收不到扫描信号，控制装置根据信号接收器接收到的扫描信息判断基板上的异物高度大于设定高度，发出警报信息，等待操作人员确认异常情況。可见，与现有技术相比，采用本实用新型提供的基板异物检测装置，能够快速地、准确地检测出基板上的异物高度是否异常，从而減少基板上异物划伤掩模板的风险。
图1为本实用新型实施例提供的ー种基板异物检测装置的结构示意图；图2为图1中基板异物检测装置的连接关系图；图3为当基板上异物高度小于设定高度时的结构示意图；图4为当基板上异物高度大于设定高度时的结构示意图；图5为本实用新型实施例提供的基板异物检测装置的工作原理图；图6为本实用新型实施例提供的另ー种基板异物检测装置的结构示意图。
具体实施方式
现有基板异物检测装置，是通过拍照系统获得基板上异物的平面图，把异物的平面直径近似为异物的高度，控制装置将异物的平面图模拟成近似球形，从而得到异物的近似高度；但这种检测方式并不能准确反映出实际存在的异物高度，特别是对针形异物或不均匀异物不能准确计算异物高度，会导致异物划伤掩模板的情况发生，而且，控制装置处理的数据量大，在异物多时，可能在设定的时间内不能计算出所有异物的高度，影响生产运行速度。有鉴于此，本实用新型提供了ー种基板异物检测装置和曝光机，利用能够同步移动的信号发射器和信号接收器，扫描基板上异物的高度，当信号接收器接收不到扫描信号时，控制装置发出警报信息并使基板异物检测装置停止，等待人为确认异常。因此，采用本实用新型提供的基板异物检测装置，能够快速地、准确地检测基板上异物的高度是否异常，从而減少基板上异物划伤掩模板的风险。为了使本领域技术人员更好的理解本实用新型的技术方案，下面结合说明书附图对本实用新型实施例进行详细的描述。如图1、图2所示，本实用新型实施例提供的异物检测装置包括:平行设置的第一导轨10和第二导轨20 ；滑动装配在第一导轨10上的信号发射器12 ；滑动装配在第二导轨20上且与信号发射器12位置相対的信号接收器22 ；传动连接信号发射器12，用于驱动信号发射器12沿第一导轨10移动的第一马达
41；传动连接信号接收器22，用于驱动信号接收器22沿第二导轨20移动的第二马达
42；信号连接信号发射器12、信号接收器22、第一马达和第二马达的控制装置30，用于控制第一马达41和第二马达42驱动信号发射器12和信号接收器22同步移动，并控制信号发射器12向信号接收器22发射扫描信号，当信号接收器22没有接收到扫描信号吋，控制装置30发出基板I上异物2高度异常的警报信息。具体地，在本实施例中，基板异物检测装置包括:两条平行相对设置的第一导轨10和第二导轨20，滑动装配在第一导轨10上的信号发射器12，滑动装配在第二导轨20上的信号接收器22，用于驱动信号发射器12沿第一导轨10移动的第一马达41，用于驱动信号接收器22沿第二导轨20移动的第二马达42，以及分别与信号发射器12、信号接收器22、第一马达41和第二马达42信号连接的控制装置30，控制装置30用于控制第一马达41和第二马达42驱动信号发射器12和信号接收器22同步移动，并控制信号发射器12发射扫描信号，根据信号接收器22接收的扫描信号，判断基板I上异物2的高度是否大于设定高度。如图3所示，当信号接收器22可以接收到信号发射器12发射的扫描信号时，控制装置30判断出基板I上异物2高度小于设定高度H ;如图4所示，当信号接收器22接受不到对应的信号发射器12发射的扫描信号时，信号发射器12发射的扫描信号被异物2阻挡，信号接收器22不能接收到扫描信号，控制装置30判断出基板I上异物2高度大于设定高度H，并发出警报信息，等待操作人员确认异常情況。更加详细地说，參见图5，为上述基板异物检测装置的工作原理图，具体如下:步骤301，在控制装置中输入需要监控的异物高度；步骤302，通过信号发射器和信号接收器扫描基板，判断基板上的异物高度是否大于设定高度；步骤303，基板上异物高度大于设定高度，控制装置发出警报信息，等待认为确认；步骤304，基板上异物高度小于设定高度，基板流入下ーエ序。从上述技术方案可知，与现有技术相比，采用本实用新型提供的基板异物检测装置，能够准确地检测出基板上的异物高度是否异常，此外，扫描基板的时间由控制装置控制，通过调整第一马达和第二马达的转速可以调整扫描速度，不存在处理数据延迟的风险，因此，采用本实用新型提供的基板异物检测装置，能够快速地准确地检测出基板上的异物高度是否异常，进而減少基板上异物划伤掩模板的风险。继续參见图1，优选地，上述基板异物检测装置，还包括:滑动装配在第一导轨10上的第一滑座11，滑动装配在第二导轨20上的第二滑座21 ;其中，信号发射器12固定安装在第一滑座11上，第一马达41与第一滑座11传动连接；信号接收器22固定安装在第二滑座21上，第二马达42与第二滑座21传动连接。第一马达41和第二马达42还与控制装置30信号连接，根据控制装置30发出的控制指令驱动第一滑座11沿第一导轨10移动，驱动第二滑座21沿第二导轨20移动，且第一滑座11和第二滑座21同步移动。进ー步地，第一滑座11具有延伸方向与第一导轨10垂直的第三导轨110，第二滑座21具有延伸方向与第二导轨20垂直的第四导轨210。为了能够调整信号发射器12和信号接收器22相对于第一导轨的高度，较佳地，信号发射器12固定安装在第三导轨110上，且信号发射器12相对于第一导轨10的高度可调；信号接收器22固定安装在第四导轨210上，且信号接收器22相对于第二导轨20的高度可调。具体地，例如可通过螺钉将信号发射器12固定安装在第三导轨110上，通过螺钉将信号接收器22固定安装在第四导轨210上。信号发射器12和信号接收器22分别固定安装在第三导轨110和第四导轨210上，固定方式除了以上举例，还可以通过其他常用的固定安装方式，在此不作限定。上述信号发射器12和信号接收器22也可以滑动装配在相应的第三导轨110和第四导轨210上，具体地，信号发射器12滑动装配在第三导轨110上，信号接收器22滑动装配在第四导轨210上，此时为了使信号发射器12能够在第三导轨110上移动和停止，信号接收器22能够在第四导轨210上移动和停止，上述基板异物检测装置还包括:与信号发射器12传动连接，用于驱动该信号发射器12沿第三导轨110移动的第三马达；与信号接收器22传动连接，用于驱动该信号接收器22沿第四导轨210移动的第四马达，且信号发射器12和信号接收器22同步移动。其中，第三马达和第四马达分别与控制装置30信号连接，在控制装置30的控制下，分别驱动信号发射器12和信号接收器22同步移动，或停止在某一高度。采用这种安装方式便于调整信号发射器12和信号接收器22的高度。为了便于确认信号发射器12和信号接收器22的实际高度，优选地，第三导轨110具有刻度标尺，第四导轨210具有刻度标尺。因此，在第一马达41和第二马达42的驱动下，可以实现信号发射器12跟随第一滑座11沿第一导轨10移动，并且移动速度可以根据需要调节，信号接收器22跟随第二滑座21沿第二导轨20移动，且与信号发射器12同步移动。在第三马达和第四马达的驱动下，可以调整信号发射器12和信号接收器22相对于第一导轨10和第二导轨20的高度，使基板异物检测装置可以检测多种异物高度。值得ー提的是，上述信号发射器为激光发射器，上述信号接收器为激光接收器，具体为本领域技术人员所熟知，这里不再赘述。在上述实施例中，基板异物检测装置包括的ー对信号发射器和信号接收器，但不限于此，也可以采用两对或两对以上的信号发射器和信号接收器，相应的具有对应数量的第一马达、第二马达、第一滑座、第二滑座、第三马达和第四马达，具体工作原理与上述实施例提供的基板异物检测装置相同，这里不再赘述。为了确认基板上异物的位置，进ー步地，如图5和图6所示，上述基板异物检测装置，还包括:与控制装置30信号连接用于获取基板上异物平面图的拍照系统，拍照系统包括:镜头51和光照灯52 ;其中，镜头51用于对基板进行拍照，获得基板上异物的平面图；光照灯52为镜头51提供足够的亮度，便于拍照。在本实施例中，镜头51数量为六个，光照灯52数量为两个，但不限于此，可以根据待测基板的大小选择镜头51和光照灯52的数量，通过上述拍照系统可以获得基板上异物的平面图，从而获得异物在基板上的位置坐标。本实用新型实施例还提供了一种曝光机，其包括如上所述的任意ー种基板异物检测装置。综上所述，与现有技术相比，采用本实用新型提供的基板异物检测装置，能够准确地检测出基板上的异物高度是否异常，此外，扫描基板的时间由控制装置控制，通过调整第一马达和第二马达的转速可以调整扫描速度，不存在处理数据延迟的风险，因此，采用本实用新型提供的基板异物检测装置，能够快速地准确地检测出基板上的异物高度是否异常，进而減少基板上异物划伤掩模板的风险。显然，本领域的技术人员可以对本实用新型进行各种改动和变型而不脱离本实用新型的精神和范围。这样，倘若本实用新型的这些修改和变型属于本实用新型权利要求及其等同技术的范围之内，则本实用新型也意图包含这些改动和变型在内。
权利要求1.ー种基板异物检测装置，其特征在于，包括: 平行设置的第一导轨和第二导轨； 滑动装配在所述第一导轨上的信号发射器； 滑动装配在所述第二导轨上且与所述信号发射器位置相対的信号接收器； 传动连接所述信号发射器，用于驱动所述信号发射器沿所述第一导轨移动的第一马达； 传动连接所述信号接收器，用于驱动所述信号接收器沿所述第二导轨移动的第二马达； 信号连接所述信号发射器、信号接收器、第一马达和第二马达的控制装置，用于控制所述第一马达和第二马达驱动所述信号发射器和信号接收器同步移动，并控制所述信号发射器向所述信号接收器发射扫描信号，当所述信号接收器没有接收到扫描信号时，所述控制装置发出基板上异物高度异常的警报信息。
2.如权利要求1所述的基板异物检测装置，其特征在于，还包括:滑动装配在所述第一导轨上的第一滑座，滑动装配在所述第二导轨上的第二滑座；其中， 所述信号发射器固定安装在所述第一滑座上，所述第一马达与所述第一滑座传动连接； 所述信号接收器固定安装在所述第二滑座上，所述第二马达与所述第二滑座传动连 接。
3.如权利要求2所述的基板异物检测装置，其特征在于，所述第一滑座具有延伸方向与所述第一导轨垂直的第三导轨，所述第二滑座具有延伸方向与所述第二导轨垂直的第四导轨。
4.如权利要求3所述的基板异物检测装置，其特征在于，所述信号发射器固定安装在所述第三导轨上，且所述信号发射器相对于所述第一导轨的高度可调； 所述信号接收器固定安装在所述第四导轨上，且所述信号接收器相对于所述第二导轨的闻度可调。
5.如权利要求3所述的基板异物检测装置，其特征在于，所述信号发射器滑动装配在所述第三导轨上，所述信号接收器滑动装配在所述第四导轨上，还包括: 与所述信号发射器传动连接用于驱动所述信号发射器沿所述第三导轨移动的第三马达； 与所述信号接收器传动连接用于驱动所述信号接收器沿所述第四导轨移动的第四马达。
6.如权利要求5所述的基板异物检测装置，其特征在干，所述控制装置信号连接所述第三马达和第四马达，用于控制所述第三马达和第四马达驱动所述信号发射器和信号接收器同步移动。
7.如权利要求3所述的基板异物检测装置，其特征在于，所述第三导轨具有刻度标尺，所述第四导轨具有刻度标尺。
8.如权利要求1-7任一所述的基板异物检测装置，其特征在于，所述信号发射器为激光发射器，所述信号接收器为激光接收器。
9.如权利要求7所述的基板异物检测装置，其特征在于，还包括:与所述控制装置信号连接用于拍摄基板上异物的拍照系统，所述拍照系统包括:至少ー个镜头和至少ー个光照灯。
10.一种曝光 机，其特征在于，包括权利要求1-9任一所述的基板异物检测装置。
专利摘要本实用新型涉及基板检测领域，特别涉及一种基板异物检测装置及曝光机，用于快速地、准确地检测基板上异物高度是否异常，进而减少基板上异物划伤掩模板的风险。本实用新型公开了一种基板异物检测装置，包括平行设置的第一导轨和第二导轨；滑动装配在第一导轨上的信号发射器；滑动装配在第二导轨上且与信号发射器位置相对的信号接收器；传动连接所述信号发射器的第一马达；传动连接信号接收器的第二马达；信号连接信号发射器、信号接收器、第一马达和第二马达的控制装置，当信号接收器没有接收到扫描信号时，控制装置发出基板上异物高度异常的警报信息。
文档编号G01B21/02GK202947713SQ20122066939
公开日2013年5月22日 申请日期2012年12月6日 优先权日2012年12月6日
发明者吴琪, 张力舟, 尹镇镐, 孟祥明, 张磊 申请人:京东方科技集团股份有限公司, 合肥京东方光电科技有限公司