多连板检测机台的制作方法
【专利摘要】一种多连板检测机台，其主要包含有一机座、一位移检测装置、多个Z轴调整装置及一受测平台；所述位移检测装置具有一位移轨道组及一检测微调模块，所述位移轨道组设置于所述机座上，所述检测微调模块设置于所述位移轨道组上，而于所述位移轨道组上进行X轴向及Y轴向的位移，并进行取像对位、对位微调及接触检测，所述的Z轴调整装置设置于所述机座上，以进行Z轴向的往复位移，所述受测平台设置于所述等Z轴调整装置上，具有多个受测凹槽供受测元件放置；以使检测所需的程序及时间皆能大为缩短，更能达到较佳的检测精准度。
【专利说明】多连板检测机台
【技术领域】
[0001]本发明与检测机台有关，更详而言之是指一种多连板检测机台。
【背景技术】
[0002]近年来随着科技的发展，许多工件的微小化，使得各种产业的机械与测量仪器趋向高精度化，因此，不论是在精密机械产业或半导体产业皆朝微小与精密方向发展，因此，许多半导体产业需要高精密的定位技术与仪器进行制作，然而，一般用以检测电子元件的检测机台，其所需的时间及程序及较为冗长，且其准确性较为不佳。
【发明内容】
[0003]本发明的目的即在于提供一种多连板检测机台，能减少检测时所需的时间及程序。
[0004]本发明的次一目的在于提供一种多连板检测机台，能提升检测的准确性。
[0005]为达成上述目的，本发明提供一种多连板检测机台，包括:
[0006]一机座；
[0007]一位移检测装置，具有一位移轨道组及一检测微调模块，所述位移轨道组设置于所述机座上，所述检测微调模块具有一基座、多个微调机构，一检测平台、至少一取像单元及一检测探针单元；所述基座设置于所述位移轨道组上，并能够进行往复的滑移，所述的微调机构等间距地设置于所述基座上，并能够进行X轴向及Y轴向的微调位移，所述检测平台设置于所述的微调机构上，以受所述的微调机构所带动而进行X轴向及Y轴向的微调平移，所述取像单元设置于所述基座上，用以进行取像对位，所述检测探针单元设置于所述检测平台上，具有多数能够与外部电子元件进行接触而探测其电性的探针，所述位移检测装置进行X轴向及Y轴向的位移，并进行取像对位、对位微调及接触检测；
[0008]多个Z轴调整装置，设置于所述机座上，以进行Z轴向的往复位移者；
[0009]一受测平台，设置于所述的Z轴调整装置上，具有多个受测凹槽。
[0010]所述的多连板检测机台，其中，所述位移检测装置的位移轨道组具有一设置于所述机座顶面上并沿X轴向设置的X轴轨道及一设置于所述X轴轨道上并沿Y轴向设置的Y轴轨道，且所述Y轴轨道并能够沿所述X轴轨道进行X轴向的往复滑移，而所述检测微调模块设置于所述位移轨道组的Y轴轨道上，以沿所述Y轴轨道进行Y轴向的往复滑移。
[0011]所述的多连板检测机台，其中，所述检测微调模块的各微调机构分别具有一驱动单元、一微调单元及一微调连结座，所述驱动单元为一微型马达，设置于所述基座上，所述微调单元设置于所述基座上，并与所述驱动单元连结，以受所述驱动单元的带动而能够进行X轴向及Y轴向的微调位移，所述微调连结座设置于所述微调单元上，以受所述微调单元的带动而位移，并由所述微调连结座供所述检测平台设置。
[0012]所述的多连板检测机台，其中，所述各Z轴调整装置分别具有一底座、一第一滑块、一第二滑块、一动力单元及一传动单元；所述底座设置于所述机座的顶面上，所述底座具有一底板及一直立地连接于所述底板一侧的立板，所述第一滑块滑接于所述底座的底板上，并能够沿所述底板进行往复的滑移，所述第一滑块的顶面具有一第一斜面，所述第二滑块滑接于所述底座的立板上，并能够沿所述立板进行往复的滑移，所述第二滑块的底面具有一第二斜面，且所述第二斜面与所述第一滑块的第一斜面进行滑接，以受所述第一滑块的滑移作用，而使所述第二滑块得以进行Z轴的往复滑移，所述动力单元置于所述底座的底板上，用以产生一旋转动力并加以输出，所述传动单元一端与所述动力单元连结，而传动单元另一端则与所述第一滑块连结，当传动单元受所述动力单元的带动而进行轴转时，能够带动所述第一滑块进行往复的滑移；所述受测平台设置于所述第二滑块上。
[0013]所述的多连板检测机台，其中，所述Z轴调整装置更具有一立柱，所述立柱设置于所述机座顶面上，以供所述底座设置于所述立柱上。
[0014]所述的多连板检测机台，其中，所述受测平台具有多个依预定间距呈横纵向排列设置的受测凹槽，以供多个欲进行检测的受测元件加以容置。
[0015]本发明的有益效果是:能减少检测时所需的时间及程序，能提升检测的准确性。
【专利附图】
【附图说明】
[0016]图1为本发明多连板检测机台的一较佳实施例的立体组合图；
[0017]图2为所述多连板检测机台的立体大部组合图；
[0018]图3为所述多连板检测机台的作动示意图；
[0019]图4为所述多连板检测机台的作动示意图；
[0020]图5为所述多连板检测机台的局部构件立体组合图；
[0021]图6为所述多连板检测机台的局部构件立体组合图；
[0022]图7为所述多连板检测机台的局部构件立体组合图；
[0023]图8为所述多连板检测机台的局部构件平面结构示意图；
[0024]图9为所述多连板检测机台的作动示意图。
[0025]附图标记说明:1-机座；2_位移检测装置；21_位移轨道组；211_X轴轨道；212_Y轴轨道；22_检测微调模块；221-基座；222_微调机构；223_检测平台；224_取像单元；225-检测探针单元；226_驱动单元；227_微调单元；228_微调连结座；229_探针；3_Ζ轴调整装置；31_立柱；32_底座；321_底板；322_立板；33_第一滑块；331_第一斜面；34_第二滑块；341_第二斜面；35_动力单元；36_传动单元；4_受测平台；41_受测凹槽。
【具体实施方式】
[0026]请参阅图f图2，本发明所提供的多连板检测机台，主要包括有一机座1、一位移检测装置2、多个Z轴调整装置3及一受测平台4，其中；
[0027]所述机座I，可稳固地置放于一平面上(如地面上)。
[0028]请参阅图广图6，所述位移检测装置2，设置于所述机座I的顶面上，而可进行X轴向及Y轴向的任意位移，并进行取像对位、对位微调及接触检测。
[0029]所述位移检测装置2具有一位移轨道组21及一检测微调模块22 ；
[0030]所述位移轨道组21具有一设置于所述机座I顶面上并沿X轴向设置的X轴轨道211及一设置于所述X轴轨道211上并沿Y轴向设置的Y轴轨道212，且所述Y轴轨道212并可沿所述X轴轨道211进行X轴向的往复滑移(如图3所示)；
[0031]所述检测微调模块22，如图5与图6所示，具有一基座221、四微调机构222，一检测平台223、两个取像单元224及一检测探针单元225 ;所述基座221设置于所述位移轨道组21的Y轴轨道212上，并可沿所述Y轴轨道212进行Y轴向的往复滑移(如图4所示)，所述的微调机构222等间距地设置于所述基座221上，并可进行X轴向及Y轴向的微调位移，所述各微调机构222分别具有一驱动单元226、一微调单元227及一微调连结座228，所述驱动单元226为一微型马达，设置于所述基座221上，所述微调单元227设置于所述基座221上，并与所述驱动单元226连结，以受所述驱动单元226的带动而可进行X轴向及Y轴向的微调位移，所述微调连结座228，设置于所述微调单元227上，以受所述微调单元227的带动而位移，所述检测平台223设置于所述的微调机构222的微调连结座228上，以受所述的微调机构222所带动而进行X轴向及Y轴向的微调平移，所述的取像单元224设置于所述基座221上，分别为一含有CCD (电荷耦合元件)的取像模块(此为现有技术，容不多加赘述)，所述检测探针单元225设置于所述检测平台223上，具有多数可与外部电子元件进行接触而探测其电性的探针229。
[0032]请参阅图广图4及图疒图9，所述的Z轴调整装置3，于本实施例中其数量为四个，所述各Z轴调整装置3分别具有一立柱31、一底座32、一第一滑块33、一第二滑块34、一动力单元35及一传动单元36 ;所述立柱31具预定的高度，设置于所述机座I顶面的角落位置处；所述底座32，概呈为一 L型板，固定设置于所述立柱31的顶面上，所述底座32具有一底板321及一直立地连接于所述底板321 —侧的立板322 ;所述第一滑块33，滑接于所述底座32的底板321上，并可沿所述底板321进行往复的滑移，所述第一滑块33的顶面具有一第一斜面331 ;所述第二滑块34，滑接于所述底座32的立板322上，并可沿所述立板322进行往复的滑移，所述第二滑块34的底面具有一第二斜面341，且所述第二斜面341与所述第一滑块33的第一斜面331进行滑接，以受所述第一滑块33的滑移作用，而使所述第二滑块34得以进行Z轴的往复滑移；所述动力单元35，为一微型马达，置于所述底座32的底板321上,用以产生一旋转动力并加以输出者；所述传动单兀36,为一螺杆,一端与所述动力单元35连结，而另一端则与所述第一滑块33螺接，使当传动单元36受所述动力单元35的带动而进行轴转时，可带动所述第一滑块33进行往复的滑移。
[0033]所述受测平台4，设置于所述的Z轴调整装置3的第二滑块34顶面上，以受所述的Z轴调整装置3所带动而进行Z轴的高底位置调整；所述受测平台4具有若干依预定间距呈矩阵排列(也称横纵向排列)设置的受测凹槽41，以供若干欲进行检测的受测元件(图中未示)加以容置。
[0034]是以，上述即为本发明所提供的一种多连板检测机台的主要构件及其组装方式的介绍，接着再将其使用特点介绍如下:
[0035]首先，当欲检测电子元件时，将多数的电子元件(如玻璃)各别放置于所述受测平台4的受测凹槽41内，并使所述电子元件抵靠于所述受测凹槽41的同一侧边缘上，以由所述受测凹槽41内的吸盘(图中未示)加以固定。
[0036]接着，所述位移检测装置2的检测微调模块22便可通过所述位移轨道组21而进行X轴及Y轴向的位移至检测的位置处(如图3与图4所示)，并由所述取像单元224进行取像，并判定取像后的位置误差值，以控制所述微调机构222进行X轴向及Y轴向的微调位移对位，待对位完成后，便由所述Z轴调整装置3进行Z轴的下移，使电子元件(玻璃)与所述检测探针单元225的探针229进行接触，进而将其电性加以检测，以判定为良品、不良品或其他的分类，待与其一的电子元件进行接触检测后，再由所述Z轴调整装置3进行上移，并再由所述位移轨道组21带动所述检测微调模块22至另一各电子元件下方进行取像、对位、微调…等重复以上程序，以将所述受测平台4上的所有电子元件进行检测。
[0037]是以，通过本发明的构成，不仅可使检测所需的程序及时间皆能大为缩短，更能达到较佳的检 测精准度。
【权利要求】
1.一种多连板检测机台，包括: 一机座； 一位移检测装置，具有一位移轨道组及一检测微调模块，所述位移轨道组设置于所述机座上，所述检测微调模块具有一基座、多个微调机构，一检测平台、至少一取像单元及一检测探针单元；所述基座设置于所述位移轨道组上，并能够进行往复的滑移，所述的微调机构等间距地设置于所述基座上，并能够进行X轴向及Y轴向的微调位移，所述检测平台设置于所述的微调机构上，以受所述的微调机构所带动而进行X轴向及Y轴向的微调平移，所述取像单元设置于所述基座上，用以进行取像对位，所述检测探针单元设置于所述检测平台上，具有多数能够与外部电子元件进行接触而探测其电性的探针，所述位移检测装置进行X轴向及Y轴向的位移，并进行取像对位、对位微调及接触检测； 多个Z轴调整装置，设置于所述机座上，以进行Z轴向的往复位移者； 一受测平台，设置于所述的Z轴调整装置上，具有多个受测凹槽。
2.如权利要求1所述的多连板检测机台，其特征在于，所述位移检测装置的位移轨道组具有一设置于所述机座顶面上并沿X轴向设置的X轴轨道及一设置于所述X轴轨道上并沿Y轴向设置的Y轴轨道，且所述Y轴轨道并能够沿所述X轴轨道进行X轴向的往复滑移，而所述检测微调模块设置于所述位移轨道组的Y轴轨道上，以沿所述Y轴轨道进行Y轴向的往复滑移。
3.如权利要求1所述的多连板检测机台，其特征在于，所述检测微调模块的各微调机构分别具有一驱动单元、一微调单元及一微调连结座，所述驱动单元为一微型马达，设置于所述基座上，所述微调单元设置于所述基座上，并与所述驱动单元连结，以受所述驱动单元的带动而能够进行X轴向及Y轴向的微调位移，所述微调连结座设置于所述微调单元上，以受所述微调单元的带动而位移，并由所述微调连结座供所述检测平台设置。
4.如权利要求1所述的多连板检测机台，其特征在于，所述各Z轴调整装置分别具有一底座、一第一滑块、一第二滑块、一动力单兀及一传动单兀；所述底座设置于所述机座的顶面上，所述底座具有一底板及一直立地连接于所述底板一侧的立板，所述第一滑块滑接于所述底座的底板上，并能够沿所述底板进行往复的滑移，所述第一滑块的顶面具有一第一斜面，所述第二滑块滑接于所述底座的立板上，并能够沿所述立板进行往复的滑移，所述第二滑块的底面具有一第二斜面，且所述第二斜面与所述第一滑块的第一斜面进行滑接，以受所述第一滑块的滑移作用，而使所述第二滑块得以进行Z轴的往复滑移，所述动力单元置于所述底座的底板上，用以产生一旋转动力并加以输出，所述传动单元一端与所述动力单元连结，而传动单元另一端则与所述第一滑块连结，当传动单元受所述动力单元的带动而进行轴转时，能够带动所述第一滑块进行往复的滑移；所述受测平台设置于所述第二滑块上。
5.如权利要求4所述的多连板检测机台，其特征在于，所述Z轴调整装置更具有一立柱，所述立柱设置于所述机座顶面上，以供所述底座设置于所述立柱上。
6.如权利要求1所述的多连板检测机台，其特征在于，所述受测平台具有多个依预定间距呈横纵向排列设置的受测凹槽，以供多个欲进行检测的受测元件加以容置。
【文档编号】G01R31/00GK103969521SQ201310037621
【公开日】2014年8月6日 申请日期:2013年1月30日 优先权日:2013年1月30日
【发明者】邱毓英, 李浩玮, 宋柏苇, 吴国豪, 邱信杰 申请人:全研科技有限公司