一种混酸溶液的电位滴定方法
【专利摘要】本发明涉及对混酸中各酸组分含量的测定【技术领域】，这种混酸溶液的电位滴定方法，包括如下步骤：步骤一：配制浓度为0.1～0.2mol/L的强碱-乙二醇溶液，利用基准试剂在自动电位滴定仪中标定出所述强碱-乙二醇溶液的实际浓度；步骤二：在所述混酸溶液加入第一溶剂及第二溶剂，搅拌均匀形成混合体系叫，利用强碱-乙二醇溶液在自动电位滴定仪中滴定出所述混合体系中三个酸浓度等当点；其中，所述第一溶剂与所述第二溶剂的体积比为8～16：1；所述第一溶剂为乙醇，所述第二溶剂为乙二胺或丁胺；步骤三：根据质量守恒原理，利用步骤二获得的酸浓度等当点计算所述混酸溶液中各酸的含量。本发明可快速准确地测试混酸中各酸浓度。
【专利说明】一种混酸溶液的电位滴定方法
【技术领域】
[0001]本发明涉及蚀刻过程中混合溶液的处理方法，尤其是对混酸溶液中各组分含量的测定方法。
【背景技术】
[0002]湿刻是TFT制造过程中用酸性腐蚀液对金属膜层进行图形化，进而形成栅极(Gate Mol Al)、源、漏极(Source-Drain Cr)像素(ITO)电极的核心工艺。其中，招和钥常作为导电材料来形成栅极，其湿刻液可使用多种不同的酸，但最普及的是利用混酸(磷酸、硝酸和冰醋酸)对其进行溶解和氧化还原过程，从而实现栅极膜层的图形化。
[0003]铝蚀刻液混酸的组成大概为磷酸(70~72%)、硝酸(1.8%~2.0%)、冰醋酸(9.5%~10.5%)，各酸和铝、钥反应的原理如下所示:
[0004]
【权利要求】
1.一种混酸溶液的电位滴定方法，其特征在于，包括如下步骤: 步骤一:配制浓度为0.1~0.2mol/L的强碱-醇溶液，利用基准试剂在自动电位滴定仪中标定出所述强碱-醇溶液的实际浓度； 步骤二:在所述混酸溶液即硝酸、磷酸、醋酸混合液中，加入第一溶剂及第二溶剂，搅拌均匀形成混合体系，利用步骤一标定后的强碱-醇溶液在自动电位滴定仪中滴定出所述混合体系中三个酸浓度等当点；其中， 所述第一溶剂与所述第二溶剂的体积比为8~16:1 ;所述第一溶剂为乙醇，所述第二溶剂为乙二胺或丁胺； 步骤三:根据质量守恒原理，利用步骤二获得的酸浓度等当点计算所述混酸溶液中各酸的含量。
2.根据权利要求1所述混酸溶液的电位滴定方法，其特征在于，所述步骤二中还包括:利用步骤一标定后的强碱-醇溶液在自动电位滴定仪中滴定出所述第一溶剂及第二溶剂混合后的背景酸浓度等当点；用于消除背景酸度对所述醋酸含量计算的影响。
3.根据权利要求1所述混酸溶液的电位滴定方法，其特征在于，所述第一溶剂、第二溶剂总体积与所述混酸溶液的质量比为200~400ml:lg。
4.根据权利要求1所述混酸溶液的电位滴定方法，其特征在于，所述强碱为分析纯的氢氧化钾或氢氧化钠；所述强碱-醇溶液中溶剂为乙醇或乙二醇。
5.根据权利要求1所述混酸溶液的电位滴定方法，其特征在于，所述基准试剂为苯甲酸或邻苯二甲酸氢钾。`
【文档编号】G01N27/44GK103604856SQ201310576348
【公开日】2014年2月26日 申请日期:2013年11月15日 优先权日:2013年11月15日
【发明者】徐蕊 申请人:深圳市华星光电技术有限公司