区熔热场线圈监测台的制作方法
【专利摘要】本实用新型涉及一种对区熔热场线圈进行压力、水平、平整度对中等重要参数进行检测的区熔热场线圈监测台。包括检测台底座、监测台面、进水管、检测台水平调整螺丝，检测台底座及监测台面均为矩形板状，监测台面垂直的固定在检测台底座面上，在检测台底座面上设有三个检测台水平调整螺丝，在监测台面上设有数组定位螺丝孔和进水孔，数个进水管在监测台面一侧分别与数组中的进水孔螺接在一起。效果是：本实用新型是对模拟线圈在区熔热场炉拉制单晶之前的安装校准，并对其进行严格的检测，避免了在使用过程中漏水、倾斜、安装偏心等问题。节省了安装工时。
【专利说明】区熔热场线圈监测台
【技术领域】
[0001]本实用新型涉及一种对区熔热场线圈进行压力、水平、平整度对中等重要参数进行检测的区熔热场线圈监测台。
【背景技术】
[0002]区熔热场线圈需用铜质螺丝固定在区熔炉内的铜轴上，热场线圈安装后，线圈内将流过一定压力冷却水，所以区熔热场线圈需要保证绝对的密闭性。区熔法拉制单晶时，热场线圈中会通过高功率的射频电流，射频功率激发的电磁场将在多晶柱中引起涡流，产生焦耳热，通过调整线圈功率，可以使得多晶柱紧邻线圈的部分熔化，在由射频功率激发出的电磁场的作用下从线圈的中心孔流下，在线圈下方熔料再结晶为单晶，如果区熔热场线圈产生的磁力线不稳定，将会造成线圈下方的液面严重抖动，影响成晶，所以区熔热场线圈对其平整度、水平度、垂直度和对心情况都有严格要求，故区熔热场线圈制成后需对成品的饱压情况、平整度、水平度、垂直度和对心情况进行测试，以避免不合格的热场线圈安装在区熔单晶炉上进行拉晶而造成的不必要的损失。目前国内还没有相关的专用设备进行检测。
【发明内容】
[0003]为了解决无法检测区熔热场线圈的外观情况而在拉晶过程中造成的不必要的损失，本实用新型提供一种全新的区熔热场线圈监测台，对区熔热场线圈在上炉拉制单晶之前对其进行严格的检测。
[0004]本实用新型为实现上述目的，所采用的技术方案是:一种区熔热场线圈监测台，其特征在于:包括检测台底座、监测台面、进水管、检测台水平调整螺丝，所述检测台底座及监测台面均为矩形板状，所述监测台面垂直的固定在检测台底座面上,在检测台底座面上设有三个检测台水平调整螺丝，在监测台面上设有数组定位螺丝孔和进水孔，数个所述进水管在监测台面一侧分别与数组中的进水孔螺接在一起。
[0005]本实用新型的实际效果是:本实用新型是对模拟线圈在区熔热场炉拉制单晶之前的安装校准，并对其进行严格的检测，避免了在使用过程中漏水、倾斜、安装偏心等问题。节省了安装工时。
【专利附图】
【附图说明】
[0006]图1为本实用新型结构示意图。
【具体实施方式】
[0007]如图1所述，一种区熔热场线圈监测台，包括检测台底座1、监测台面2、进水管3、检测台水平调整螺丝4，检测台底座I及监测台面2均为矩形板状，将监测台面2垂直的焊接在检测台底座I面上，在检测台底座I 一端面上设有的两个螺孔内分别拧入一颗检测台水平调整螺丝4，在检测台底座I另一端面中间位置设有的一个螺孔内拧入一颗检测台水平调整螺丝4，三颗检测台水平调整螺丝4用来调整检测台底座I的水平面，在监测台面2上设有数组定位螺栓孔2-1和进水孔2-2，数个进水管3在监测台面2的一侧分别与数组中的进水孔2-2螺接在一起。
[0008]数组定位螺栓孔2-1和进水孔2-2为三组。
[0009]每组中的定位螺栓孔2-1及进水孔2-2的数量可根据被测的区熔热场线圈接线柱的数量而设定，本实用新型每组中的定位螺栓孔2-1为四个、进水孔2-2为一个。
[0010]检测台底座1、监测台面2均为不锈钢板。
[0011]检测方法:
[0012]1.调节检测台水平调整螺丝4，把检测台调节水平。
[0013]2.将区熔热场线圈的一个进水孔堵住，把区熔热场线圈上的四个螺栓孔和另一个进水孔分别与检测台面2上的四个螺栓孔2-1和一个进水孔2-2对应后，拧紧紧固螺栓，把水平尺放在线圈正面，检测是否水平。
[0014]3.检测台的进水管3与压力泵连接，打压后通过与压力泵相连的压力表确定水路压力.[0015]4.保压20分钟后，通过压力损失确认线圈是否有漏水。
【权利要求】
1.一种区熔热场线圈监测台，其特征在于:包括检测台底座(I)、监测台面(2)、进水管(3)、检测台水平调整螺丝(4)，所述检测台底座(I)及监测台面(2)均为矩形板状，所述监测台面(2)垂直的固定在检测台底座(I)面上，在检测台底座(I)面上设有三个检测台水平调整螺丝(4)，在监测台面(2)上设有数组定位螺栓孔(2-1)和进水孔(2-2)，数个所述进水管(3)在监测台面(2) —侧分别与数组中的进水孔(2-2)螺接在一起。
2.根据权利要求1所述的区熔热场线圈监测台，其特征在于:所述数组定位螺栓孔(2-1)和进水孔(2-2)为三组。
3.根据权利要求2所述的区熔热场线圈监测台，其特征在于:所述每组中的定位螺栓孔(2-1)为四个、进水孔(2-2)为一个。
4.根据权利要求1所述的区熔热场线圈监测台，其特征在于:所述检测台底座(I)、监测台面(2)均为不锈钢板。
【文档编号】G01M3/26GK203465066SQ201320532595
【公开日】2014年3月5日 申请日期:2013年8月30日 优先权日:2013年8月30日
【发明者】靳立辉, 姚长娟, 闫耀东, 卢君, 刘旭光, 于书翰, 王国瑞, 贾弘源, 张磊 申请人:天津市环欧半导体材料技术有限公司