一种用于芯片总剂量辐照试验的探针台的制作方法
【专利摘要】本发明公开了一种用于芯片总剂量辐照试验的探针台，实现了将探针台应用与芯片辐照测试领域，所述用于芯片总剂量辐照试验的探针台包括显微镜和探针台体，所述探针台体与显微镜分体设置，所述探针台体位于显微镜下方，所述探针台体包括防振基台，基台立柱，承片台，所述基台立柱固定在防振基台上，所述基台立柱上固定有探针卡，所述承片台设置在探针卡下方，所述承片台下方依次连接有回转平台、垂直升降机构和水平移动机构，所述水平移动机构下端固定在防振基台上，与显微镜分体设置的探针台体结构紧凑，体积小，质量轻，可带着其上固定的芯片进入辐照测试腔进行辐照试验。
【专利说明】一种用于芯片总剂量辐照试验的探针台
【技术领域】
[0001]本发明涉及微电子辐照测试【技术领域】，尤其一种用于芯片总剂量辐照试验的探针台。
【背景技术】
[0002]探针台主要应用于半导体行业、光电行业、集成电路晶圆的测试，目前探针台还未应用于微电子芯片辐照测试领域，主要是因为传统的探针台一般是将显微镜和探针台固定结合在一起，显微镜不能用于辐照测试环境，且显微镜和探针台结合在一起体积较大、质量大，搬运麻烦，无法进入辐照试验腔进行辐照试验。
【发明内容】
[0003]本发明的目的在于提供一种探针台与显微镜分体设计，能够进入辐照试验腔进行辐照试验的。
[0004]为达此目的，本发明采用以下技术方案:
[0005]一种用于芯片总剂量辐照试验的探针台，包括探针台体、显微镜、固定支架和显示屏，所述显微镜和显示屏固定在固定支架上，所述探针台体单独的放置在显微镜正下方的固定支架的底座上，所述探针台体包括防振基台、基台立柱和承片台，所述基台立柱固定在防振基台上，所述基台立柱上固定有探针卡，所述用于固定芯片的承片台设置在探针卡下方，所述承片台下方依次连接有回转平台、垂直升降机构和水平移动机构，所述水平移动机构下端固定在防振基座上。
[0006]进一步的，所述探针卡上固定有尖端向下的探针，且所述探针卡通四个角上设置的螺钉固定在基台立柱上。
[0007]进一步的，所述待测的芯片固定在一块基板上，并通过基板两侧设置的螺钉固定到承片台中心上。
[0008]进一步的，所述承片台通过螺钉固定在回转平台上，所述回转平台包括调节回转平台角度同时带动调节承片台上的芯片的角度的R轴调节旋钮和锁定回转平台角度的R轴锁紧旋钮，所述回转平台的转动范围为0°?360°，转动精度为5'。
[0009]进一步的，所述回转平台通过螺钉固定在垂直升降机构上，所述垂直升降机构包括调节承片台上的芯片高度的Z轴调节旋钮和固定芯片高度的Z轴锁紧旋钮，所述垂直升降机构的调节范围O?IOmm,调节精度为0.01mm。
[0010]进一步的，所述垂直升降机构通过螺钉固定在水平移动机构上，所述水平移动机构包括X轴移动机构和Y轴移动机构，所述X轴移动机构包括调节承片台上的芯片X轴位置的X轴调节旋钮和固定芯片X轴位置的X轴锁紧旋钮，所述Y轴移动机构包括调节承片台上的芯片Y轴位置的Y轴调节旋钮和固定芯片Y轴位置的Y轴锁紧旋钮，所述X轴移动机构和Y轴移动机构的调节范围均为O?12mm，调节精度均为0.01mm。
[0011]进一步的，所述回转平台、垂直升降平台、水平移动机构的X轴移动机构和Y轴移动机构均设置有复位弹簧。
[0012]进一步的，所述显微镜下端还固定设置有用于照明的LED灯。
[0013]本发明的有益效果为:
[0014]1、所述用于芯片总剂量辐照试验的探针台，显微镜和探针台体分体设置，所述单独设置的探针台体结构紧凑，体积小，方便进入辐照测试腔中。
[0015]2、所述固定在探针台体上的芯片进入辐照测试腔内可与探针台体一起任意位置放置，方便将芯片对准辐照中心。
[0016]3、所述探针台体的回转平台、垂直升降平台和水平移动机构均采用复位弹簧，避免了传统的高精密滚珠丝杠在转动时的间隙影响。
[0017]4、所述探针台采用探卡扎针，可同时完成多针测试。
[0018]5、所探针台采用探针不动，芯片动的方式，保证显微镜能准确的聚焦到探针尖端上，不需多次聚焦。
【专利附图】
【附图说明】
[0019]图1是本发明【具体实施方式】提供的用于芯片总剂量辐照试验的探针台的正视图；
[0020]图2是本发明【具体实施方式】提供的用于于芯片辐照测试的探针台的探针台体的正视图。
[0021]图中，1、显微镜；2、探针台体；3、承片台；4、回转平台；41、R轴锁紧旋钮；42、R轴调节旋钮；5、垂直升降机构；51、Z轴调节旋钮；52、Z轴锁紧旋钮；6、水平移动机构；61、X轴调节旋钮；62、X轴锁紧旋钮；63、Y轴调节旋钮；64、Y轴锁紧旋钮；7、基板；8、探针卡；81、探针；9、防振基台；10基台立柱；11、显不屏；12、固定支架；121、底座；13、环形LED灯。
【具体实施方式】
[0022]下面结合附图并通过【具体实施方式】来进一步说明本发明的技术方案。
[0023]如图1至图2所示，所述用于芯片总剂量辐照试验的探针台包括显微镜I和探针台体2，所述显微镜I固定在固定支架12上，所述固定支架12上还固定有显示屏11，所述显示屏11与所述显微镜I电连，所述显微镜I的下端固定有一圈用于照明的环形LED灯13，所述固定支架12还包括底座121上，所述探针台体2放置在显微镜I下方的底座121上，所述探针台体2包括防振基台9，所述防振基台9上固定有基台立柱10，所述探针81尖端向下的固定在探针卡8上，所述探针卡8通过两侧设置的螺钉固定基台立柱10上，所述探针卡8下方设置有承片台3，所述芯片固定在基板7上，并通过基板7上设置的两侧设置的螺钉连同基板7 —起固定在承片台3中心上，所述承片台3下方依次固定有回转平台4、垂直升降机构5和水平移动机构6，所述水平移动机构6的下端固定在防振基台9上。
[0024]所述承片台3通过螺钉固定在回转平台4上，所述回转平台4包括R轴调节旋钮42和的R轴锁紧旋钮41，所述R轴调节旋钮42带动回转平台4转动，同时带动承片台3上芯片转动，所述转动的范围为0°?360°，转动的精度为5'，调节到位后旋紧R轴锁紧旋钮41，锁定回转平台4的角度，即锁定芯片的角度。
[0025]所述回转平台4通过螺钉固定在垂直升降机构5上，所述垂直升降机构5包括调节承片台3上的芯片高度位置的Z轴调节旋钮51和固定芯片高度位置的Z轴锁紧旋钮52，所述垂直升降机构5的调节范围O?IOmm,调节精度为0.01mm。
[0026]所述垂直升降机构5通过螺钉固定在水平移动机构6上，所述水平移动机构6包括X轴移动机构和Y轴移动机构，所述X轴移动机构包括调节承片台3上的芯片X轴位置的X轴调节旋钮61和固定芯片X轴位置的X轴锁紧旋钮62，所述Y轴移动机构包括调节承片台3上的芯片Y轴位置的Y轴调节旋钮63和固定芯片Y轴位置的Y轴锁紧旋钮64，所述X轴移动机构和Y轴移动机构的调节范围均为O?12mm，调节精度均为0.01mm。
[0027]所述回转平台4、垂直升降平台5、水平移动机构6的X轴移动机构和Y轴移动机构均设置有复位弹簧。
[0028]所述用于芯片总剂量辐照试验的探针台使用时，首先将显示屏11和显微镜I固定到固定支架12上，并电连显示屏11与显微镜1，使显示屏11内正确接受到来自显微镜I的图像，再将固定有芯片的基板7固定到承片台3上，并将探针卡8的探针81尖端朝下的固定在基台立柱10上，固定完成后将探针台体2放置到显微镜I正下方的底座上，调节显微镜1，将显微镜I聚焦到探针81的尖端上，最后进行扎针操作，所述扎针操作，先调节垂直升降机构5，旋转Z轴调节旋钮51，调节芯片的高度位置，使芯片进入显微镜I的视野中，旋紧Z轴锁紧旋钮52，固定芯片高度位置，再调节回转平台4和水平移动机构6，分别旋转X轴调节旋钮61、Y轴调节旋钮63和R轴调节旋钮42使芯片上的测试点移动至探针81尖端正下方，到位后旋紧X轴锁紧旋钮62、Y轴锁紧旋钮64和R轴锁紧旋钮41，固定芯片的水平位置和角度，然后再次调节Z轴调节旋钮51，使芯片上升，让芯片与探针81接触，实现扎针，当芯片接触到探针81时,探针81会微微翅动，此时说明扎针完成，扎针完成后将探针台体2和其上固定的芯片一起放入辐照腔中进行辐照测试，进行下一芯片测试时，需要将R轴锁紧旋钮41、Z轴锁紧旋钮52、X轴锁紧旋钮62和Y轴锁紧旋钮64均旋松，所述回转平台4、垂直升降机构5和水平移动机构6在弹簧复位机构的作用下回到原始位置，将芯片从基板上取下，换上另一块芯片，重复测试操作即可。
[0029]以上仅以实施例对本发明进行了说明，但本发明并不限于上述尺寸和外观例证，更不应构成本发明的任何限制。只要对本发明所做的任何改进或者变型均属于本发明权利要求主张的保护范围之内。
【权利要求】
1.一种用于芯片总剂量辐照试验的探针台，包括探针台体、显微镜、固定支架和显示屏，其特征在于:所述显微镜和显示屏固定在固定支架上，所述探针台体单独的放置在显微镜正下方的固定支架的底座上，所述探针台体包括防振基台、基台立柱和承片台，所述基台立柱固定在防振基台上，所述基台立柱上固定有探针卡，所述用于固定芯片的承片台设置在探针卡下方，所述承片台下方依次连接有回转平台、垂直升降机构和水平移动机构，所述水平移动机构下端固定在防振基座上。
2.根据权利要求1所述的用于芯片总剂量辐照试验的探针台，其特征在于:所述探针卡通过四个角上设置的螺钉固定在基台立柱上，所述探针卡下表面上固定有尖端向下的探针。
3.根据权利要求1所述的用于芯片总剂量辐照试验的探针台，其特征在于:所述待测的芯片固定在一炔基板上，并通过基板两侧设置的螺钉固定到承片台中心上。
4.根据权利要求1所述的用于芯片总剂量辐照试验的探针台，其特征在于:所述承片台通过螺钉固定在回转平台上，所述回转平台包括调节回转平台角度同时带动调节承片台上的芯片的角度的R轴调节旋钮和锁定回转平台角度的R轴锁紧旋钮，所述回转平台的转动范围为0°~360°，转动精度为5'。
5.根据权利要求1所述的用于芯片总剂量辐照试验的探针台，其特征在于:所述回转平台通过螺钉固定在垂直升降机构上，所述垂直升降机构包括调节承片台上的芯片高度的Z轴调节旋钮和 固定芯片高度的Z轴锁紧旋钮，所述垂直升降机构的调节范围O~10_，调节精度为0.01mm。
6.根据权利要求1所述的用于芯片总剂量辐照试验的探针台，其特征在于:所述垂直升降机构通过螺钉固定在水平移动机构上，所述水平移动机构包括X轴移动机构和Y轴移动机构，所述X轴移动机构包括调节承片台上的芯片X轴位置的X轴调节旋钮和固定芯片X轴位置的X轴锁紧旋钮，所述Y轴移动机构包括调节承片台上的芯片Y轴位置的Y轴调节旋钮和固定芯片Y轴位置的Y轴锁紧旋钮，所述X轴移动机构和Y轴移动机构的调节范围均为O~12mm,调节精度均为0.01mm。
7.根据权利要求4至6任意项所述的用于芯片总剂量辐照试验的探针台，其特征在于:所述回转平台、垂直升降平台、水平移动机构的X轴移动机构和Y轴移动机构均设置有复位弹黃。
8.根据权利要求1所述的用于芯片总剂量辐照试验的探针台，其特征在于:所述显微镜下端还固定设置有用于照明的环形LED灯。
【文档编号】G01R1/067GK104020327SQ201410277330
【公开日】2014年9月3日 申请日期:2014年6月19日 优先权日:2014年6月19日
【发明者】顾吉, 吴建伟, 陈海波, 陈嘉鹏, 郑良晨, 徐海铭 申请人:中国电子科技集团公司第五十八研究所