一种湿度监测装置制造方法
【专利摘要】本发明涉及一种湿度监测装置，包括陶瓷基板，所述陶瓷基板一端上设置有阳极引线、阴极引线，所述阳极引线、阴极引线分别与第一接触点、第二接触点连接，所述第一接触点、第二接触点设置在第一梳形电极、第二梳形电极上，所述第一梳形电极、第二梳形电极前端设置有厚膜感应层，所述厚膜感应层上方设置有滤光器。本发明结构简单、制造成本低廉、自清洁能力强、监测灵敏、可靠。
【专利说明】一种湿度监测装置
【技术领域】
[0001 ] 本发明涉及一种监测装置，尤其涉及一种湿度监测装置。
【背景技术】
[0002]在工农业生产、气象、环保、国防、科研、航天等部门，经常需要对环境湿度进行测量及控制。但在常规的环境参数中，湿度是最难准确测量的一个参数。用干湿球湿度计或毛发湿度计来测量湿度的方法，早已无法满足现代科技发展的需要。这是因为测量湿度要比测量温度复杂的多，温度是个独立的被测量，而湿度却受其他因素(大气压强、温度)的影响。此外，湿度的标准也是一个难题。国外生产的湿度标定设备价格十分昂贵。
[0003]近年来，国内外在湿度传感器研发领域取得了长足进步。湿敏传感器正从简单的湿敏元件向集成化、智能化、多参数检测的方向迅速发展，为开发新一代湿度/温度测控系统创造了有利条件，也将湿度测量技术提高到新的水平。但目前湿度传感器技术还不完善，主要有如下问题:装置结构复杂、去污能力弱、监测不灵敏、寿命短等问题。
【发明内容】
[0004]本发明所要解决的技术问题是提供一种结构简单、制造成本低廉、自清洁能力强、监测灵敏、可靠的湿度监测装置。
[0005]本发明解决上述技术问题的技术方案如下:一种湿度监测装置，包括陶瓷基板，所述陶瓷基板一端上设置有阳极引线、阴极引线，所述阳极引线、阴极引线分别与第一接触点、第二接触点连接，所述第一接触点、第二接触点设置在第一梳形电极、第二梳形电极上，所述第一梳形电极、第二梳形电极前端设置有厚膜感应层，所述厚膜感应层上方设置有滤光器。
[0006]所述厚膜感应层将吸收的水分，电离产生氢气，所述电离的氢气改变厚膜感应层的阻抗，并将监测到的电信号通过第一梳形电极、第二梳形电极输出，实现湿度与电信号的转换，所述过滤器用于防止膜感应层被污染。
[0007]在上述技术方案的基础上，本发明还可以做如下改进。
[0008]进一步，所述厚膜感应层厚度为I?10 μ m，所述厚膜感应层太薄不利于水分的吸收与电离，太厚不利于电阻抗变化的感应，本发明所述厚膜感应层最佳厚度为I?ΙΟμπι，但不局限于此。
[0009]进一步，所述厚膜感应层为多孔结构的ZrO2厚膜，所述多孔结构的ZrO2厚膜，由于有较大表面积的多孔结构，有利于水分的吸收，并且ZrO2厚膜可以将水分电离。
[0010]进一步，所述厚膜感应层设置有碱金属层，用于稳定阻抗值的调整过程。
[0011]进一步，所述阳极引线、阴极引线为铜金属线，所述铜金属线电阻小，有利于降低对输出信号的干扰。
[0012]本发明的有益效果是:结构简单、制造成本低廉、自清洁能力强、监测灵敏、可靠。
【专利附图】
【附图说明】
[0013]图1为本发明一种湿度监测装置结构示意图；
[0014]附图中，各标号所代表的部件列表如下:1、陶瓷基板，2、阳极引线，3、阴极引线，4、第二接触点，5、厚膜感应层，6、过滤器，7、第一梳形电极，8、第一接触点，9、第二梳形电极。
【具体实施方式】
[0015]以下结合附图对本发明的原理和特征进行描述，所举实例只用于解释本发明，并非用于限定本发明的范围。
[0016]如图1所示，一种湿度监测装置，包括陶瓷基板，所述陶瓷基板I 一端上设置有阳极引线2、阴极引线3，所述阳极引线2、阴极引线3分别与第一接触点8、第二接触点连接4，所述第一接触点8、第二接触点4设置在第一梳形电极7、第二梳形电极9上，所述第一梳形电极7、第二梳形电极9前端设置有厚膜感应层5，所述厚膜感应层5上方设置有滤光器6。
[0017]所述厚膜感应层5将吸收的水分，电离产生氢气，所述电离的氢气改变厚膜感应层5的阻抗，并将监测到的电信号通过第一梳形电极7、第二梳形电极9输出，实现湿度与电信号的转换，所述过滤器6用于防止膜感应层5被污染。
[0018]所述厚膜感应层5厚度为I?10 μ m，所述厚膜感应层5太薄不利于水分的吸收与电离，太厚不利于电阻抗变化的感应，本发明所述厚膜感应层5最佳厚度为I?10 μ m，但不局限于此；所述厚膜感应层5为多孔结构的ZrO2厚膜，所述多孔结构的ZrO2厚膜，由于有较大表面积的多孔结构，有利于水分的吸收，并且ZrO2厚膜可以将水分电离；所述厚膜感应层5设置有碱金属层，用于稳定阻抗值的调整过程；所述阳极引线2、阴极引线3为铜金属线，所述铜金属线电阻小，有利于降低对输出信号的干扰。
[0019]以上所述仅为本发明的较佳实施例，并不用以限制本发明，凡在本发明的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本发明的保护范围之内。
【权利要求】
1.一种湿度监测装置，其特征在于，包括陶瓷基板，所述陶瓷基板一端上设置有阳极引线、阴极引线，所述阳极引线、阴极引线分别与第一接触点、第二接触点连接，所述第一接触点、第二接触点设置在第一梳形电极、第二梳形电极上，所述第一梳形电极、第二梳形电极前端设置有厚膜感应层，所述厚膜感应层上方设置有滤光器。
2.根据权利要求1所述一种湿度监测装置，其特征在于，所述厚膜感应层厚度为I?10 μ m0
3.根据权利要求1所述一种湿度监测装置，其特征在于，所述厚膜感应层为多孔结构的ZrO2厚膜。
4.根据权利要求1所述一种湿度监测装置，其特征在于，所述厚膜感应层设置有碱金属层。
5.根据权利要求1所述一种湿度监测装置，其特征在于，所述阳极引线、阴极引线为铜金属线。
【文档编号】G01N27/12GK104237324SQ201410521108
【公开日】2014年12月24日 申请日期:2014年9月30日 优先权日:2014年9月30日
【发明者】李 杰 申请人:重庆泽嘉机械有限公司