镀镍层内应力长度变化测量法
【专利摘要】本发明公开了一种快速简便的镀镍层内应力长度变化测量法，本发明提供的镀镍层内应力测量方法，能够快速有效地测量出镀镍层内应力，其方法操作简单，设计合理，流程简便，涉及的设备简易，测量精度高。
【专利说明】镀镍层内应力长度变化测量法
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【技术领域】
[0002] 本发明涉及一种应力测量方法，特别涉及一种镀镍层内应力长度变化测量法。
【背景技术】
[0003] 镀镍是电镀工业中最重要的镀种之一，已被广泛应用于机械、电子、航空、航天、国 防等领域。特别是近年来镀镍在特种加工和微/纳米制造等高新【技术领域】的应用，使其用 途更加广泛。在电镀过程中，由于金属的结晶有一定变形或有异相渗入，会产生一定内应 力，这种现象在镀镍过程中尤为明显。电镀层的内应力可分为两类：一类是使镀层本身体 积有膨胀趋势的应力，称为压应力；另一类是使镀层体积有收缩趋势的应力，称为拉应力。 电镀过程中，拉应力过大会使镀层开裂；而压应力过大会引起镀层起泡，从而导致镀层的 失效。在微/纳米制造中，不平衡的拉应力或压应力很容易引起加工部件发生变形，从而 使制造过程失败。因此，深入了解镀层内应力产生的原因、内应力的表征手段及其调控方法 对电镀生产具有重要实际意义。
[0004]
【发明内容】
[0005] 为了克服上述缺陷，本发明提供了一种快速简便的镀镍层内应力长度变化测量 法。
[0006] 本发明为了解决其技术问题所采用的技术方案是：一种镀镍层内应力长度变化测 量法，在薄片阴极的两个面上同时电沉积，薄片阴极虽不弯曲，但长度会发生变化，当镀层 产生拉应力时，试片就缩短；当镀层产生压应力时，试片就伸长，把薄片阴极夹在固定夹具 上，一端固定，一端自由，在自由端装有长度传感器，用以测量长度的变化值。其计算公 式为：
【权利要求】
1. 一种镀镍层内应力长度变化测量法，其特征在于：在薄片阴极的两个面上同时电沉 积，薄片阴极虽不弯曲，但长度会发生变化，当镀层产生拉应力时，试片就缩短；当镀层产 生压应力时，试片就伸长，把薄片阴极夹在固定夹具上，一端固定，一端自由，在自由端 装有长度传感器，用以测量长度的变化值，其计算公式为：
式中：〇为镀层内应力，E为薄片阴极的弹性模量，d为镀层厚度，t为薄片阴极的厚 度，A L和L分别为薄片阴极长度变化量和长度。
【文档编号】G01L1/00GK104280156SQ201410609295
【公开日】2015年1月14日 申请日期:2014年11月4日 优先权日:2014年11月4日
【发明者】尚修鑫 申请人:苏州精创光学仪器有限公司