一种分析有机溶液中水分浓度含量的进样装置制造方法
【专利摘要】本实用新型所提供的分析有机溶液中水分浓度含量的进样装置中，通过输样管将密闭取样瓶及密闭滴定池连接，避免了在从密闭取样瓶中取样品及将样品注入密闭滴定池中所引入空气中水分的情况；在洗耳球下侧设置干燥器，避免洗耳球中气体中的水分引入到密闭取样瓶中。由此，分析有机溶液中水分浓度含量的进样装置具有较好的密闭性，避免了与外界环境接触的情况，提高了有机溶液中水分浓度含量的分析结果的准确度。
【专利说明】一种分析有机溶液中水分浓度含量的进样装置
【技术领域】
[0001]本实用新型涉及半导体集成电路制造领域，尤其涉及到一种分析有机溶液中水分浓度含量的进样装置。
【背景技术】
[0002]随着集成电路(IC)制造中关键尺寸的不断缩小，硅片在进入每道工艺之前表面必须是洁净的，需经过重复多次清洗步骤，去除硅片表面的颗粒、有机溶液、金属及自然氧化层等类型的沾污，其清洗次数取决于晶圆设计的复杂性和互连的层数。目前，湿法化学清洗技术是半导体IC工业的主要清洗技术，湿法化学清洗主要是利用溶液、酸碱、表面活性剂、水及其混合物，通过腐蚀、溶解、化学反应等方法，实现某种功能要求或去除晶片表面的沾污物。
[0003]在晶圆的制程中所用的有机溶液中水分浓度会直接或者间接的影响晶圆制程不同阶段的效果。现有的分析有机溶液中水分浓度含量的进样装置是由一个针管吸取密闭取样瓶中的少量有机溶液，并将针管吸取的有机溶液注入密闭滴定池中进行有机溶液中水分浓度含量的分析计算。
[0004]但是在针管吸取密闭取样瓶中的有机溶液时，空气中的水分会进入样品瓶；在样品称量及将针管吸取的有机溶液注入密闭滴定池中的过程中，都会引入空气中的水分进入到相应的阶段，从而影响有机溶液中水分浓度含量的分析结果的准确度。
实用新型内容
[0005]本实用新型的目的在于提供一种分析有机溶液中水分浓度含量的进样装置，以解决现有技术中在针管吸取密闭取样瓶中的有机溶液、样品称量及将针管吸取的有机溶液注入密闭滴定池中的过程中，都会引入空气中的水分进入到相应的阶段，导致在对有机溶液中水分浓度含量的分析时，其分析结果准确度不高的问题。
[0006]为了解决上述技术问题，本实用新型提供一种分析有机溶液中水分浓度含量的进样装置，包括:一密闭取样瓶、一密闭滴定池、一洗耳球；
[0007]所述密闭取样瓶通过输样管与所述密闭滴定池连接；
[0008]所述洗耳球通过输气管与所述密闭取样瓶连接；其中，所述输气管上设置有与所述洗耳球连通的干燥器。
[0009]可选的，在所述的分析有机溶液中水分浓度含量的进样装置中，所述输气管上还设置有单向阀；其中，所述单向阀设置于所述干燥器下方。
[0010]可选的，在所述的分析有机溶液中水分浓度含量的进样装置中，所述输气管的管口远离所述密闭取样瓶中的有机溶液。
[0011]可选的，在所述的分析有机溶液中水分浓度含量的进样装置中，所述洗耳球的材质为橡胶。
[0012]可选的，在所述的分析有机溶液中水分浓度含量的进样装置中，所述密闭取样瓶中的所述输样管的管口浸入所述密闭取样瓶的有机溶液。
[0013]可选的，在所述的分析有机溶液中水分浓度含量的进样装置中，所密闭滴定池中的所述输样管的管口远离所述密闭滴定池中的液体。
[0014]可选的，在所述的分析有机溶液中水分浓度含量的进样装置中，所述有机溶液中的有机溶质是苯、甲苯、异丙醇、环戊酮、或者N-甲基-2-四氢吡咯酮。
[0015]可选的，在所述的分析有机溶液中水分浓度含量的进样装置中，所述密闭滴定池的池底上设置有搅拌子。
[0016]在本实用新型所提供的分析有机溶液中水分浓度含量的进样装置中，通过输样管将密闭取样瓶及密闭滴定池连接，避免了在从密闭取样瓶中取样品及将样品注入密闭滴定池中所引入空气中水分的情况；在洗耳球下侧设置干燥器，避免洗耳球中气体中的水分引入到密闭取样瓶中。由此，分析有机溶液中水分浓度含量的进样装置具有较好的密闭性，避免了与外界环境接触的情况，提高了有机溶液中水分浓度含量的分析结果的准确度。
【专利附图】
【附图说明】
[0017]图1是本实用新型分析有机溶液中水分浓度含量的进样装置的结构示意图。【具体实施方式】
[0018]以下结合附图和具体实施例对本实用新型提出的分析有机溶液中水分浓度含量的进样装置作进一步详细说明。根据下面说明和权利要求书，本实用新型的优点和特征将更清楚。需说明的是，附图均采用非常简化的形式且均使用非精准的比例，仅用以方便、明晰地辅助说明本实用新型实施例的目的。
[0019]请参考图1，其为本实用新型实施例的分析有机溶液中水分浓度含量的进样装置的结构示意图。如图1所示的分析有机溶液中水分浓度含量的进样装置包括:一密闭取样瓶1、一密闭滴定池2、一洗耳球3 ;所述密闭取样瓶I通过输样管200与所述密闭滴定池2连接；所述洗耳球3通过输气管100与所述密闭取样瓶I连接；其中，所述输气管100上设置有与所述洗耳球3连通的干燥器101。
[0020]本实用新型的具体工作原理:通过改变洗耳球3内气体的体积，洗耳球3中的气体流经干燥器101进行气体的干燥(降低这一环节洗耳球3中空气所含水分进入到密闭取样瓶I中)，在气压差的作用下，密闭取样瓶I中的有机溶液经输样管200流入到密闭滴定池2中，整个取样的过程，样品不会与周围环境接触，避免引入空气中的水分，确保了分析有机溶液中水分浓度含量的分析结果的准确性。
[0021]优选的，所述输气管100上还设置有单向阀102 ;其中，所述单向阀102设置于所述干燥器101下方。单向阀102的设置，保证了密闭取样瓶I中的样品不会倒吸入洗耳球3中，确保了取样的精确度。
[0022]优选的，所述输气管100的管口远离所述密闭取样瓶I中的有机溶液。进一步降低密闭取样瓶I中有机溶液回流至洗耳球3的几率。
[0023]优选的，所述洗耳球3的材质为橡胶。橡胶材质具有形状可塑性，可操作性强。
[0024]优选的，所述密闭取样瓶I中的所述输样管200的管口浸入所述密闭取样瓶I的有机溶液。确保密闭取样瓶I中有机溶液能够在气压差的作用下流入密闭滴定池2中。进一步，确保分析有机溶液中水分浓度含量的进样装置的正常工作。
[0025]优选的，所密闭滴定池2中的所述输样管200的管口远离所述密闭滴定池2中的液体。进一步，使得有机溶液完全流入密闭的滴定池中与滴定池中的液体反应，而不残留部分有机溶液在取样管中。
[0026]优选的，所述有机溶液中的有机溶质是苯、甲苯、异丙醇、环戊酮、或者N-甲基-2-四氢吡咯酮。其中，所述进样装置适用于水分浓度含量级别为大于等于ppm级。进一步，此分析有机溶液中水分浓度含量的进样装置的适用范围较广。
[0027]优选的，所述密闭滴定池2的池底上设置有搅拌子。搅拌子有利于密闭滴定池2内液体与流入密闭滴定池2中的有机溶液充分混合，进而充分反应。
[0028]综上，在本实用新型所提供的分析有机溶液中水分浓度含量的进样装置中，通过输样管将密闭取样瓶及密闭滴定池连接，避免了在从密闭取样瓶中取样品及将样品注入密闭滴定池中所引入空气中水分的情况；在洗耳球下侧设置干燥器，避免洗耳球中气体中的水分引入到密闭取样瓶中。由此，分析有机溶液中水分浓度含量的进样装置具有较好的密闭性，避免了与外界环境接触的情况，提高了有机溶液中水分浓度含量的分析结果的准确度。
[0029]显然，本领域的技术人员可以对实用新型进行各种改动和变型而不脱离本实用新型的精神和范围。这样，倘若本实用新型的这些修改和变型属于本实用新型权利要求及其等同技术的范围之内，则本实用新型也意图包括这些改动和变型在内。
【权利要求】
1.一种分析有机溶液中水分浓度含量的进样装置,其特征在于,包括:一密闭取样瓶、一密闭滴定池、一洗耳球； 所述密闭取样瓶通过输样管与所述密闭滴定池连接； 所述洗耳球通过输气管与所述密闭取样瓶连接；其中，所述输气管上设置有与所述洗耳球连通的干燥器。
2.如权利要求1所述的分析有机溶液中水分浓度含量的进样装置，其特征在于，所述输气管上还设置有单向阀；其中，所述单向阀设置于所述干燥器下方。
3.如权利要求1所述的分析有机溶液中水分浓度含量的进样装置，其特征在于，所述输气管的管口远离所述密闭取样瓶中的有机溶液。
4.如权利要求1所述的分析有机溶液中水分浓度含量的进样装置，其特征在于，所述洗耳球的材质为橡胶。
5.如权利要求1所述的分析有机溶液中水分浓度含量的进样装置，其特征在于，所述密闭取样瓶中的所述输样管的管口浸入所述密闭取样瓶的有机溶液。
6.如权利要求1所述的分析有机溶液中水分浓度含量的进样装置，其特征在于，所密闭滴定池中的所述输样管的管口远离所述密闭滴定池中的液体。
7.如权利要求1所述的分析有机溶液中水分浓度含量的进样装置，其特征在于，所述有机溶液中的有机溶质是苯、甲苯、异丙醇、环戊酮、或者N-甲基-2-四氢吡咯酮。
8.如权利要求1-7中任一项所述的分析有机溶液中水分浓度含量的进样装置，其特征在于，所述密闭滴定池的池底上设置有搅拌子。
【文档编号】G01N31/16GK203720159SQ201420019261
【公开日】2014年7月16日 申请日期:2014年1月13日 优先权日:2014年1月13日
【发明者】宋健 申请人:中芯国际集成电路制造(北京)有限公司