一种接线工具的制作方法
【专利摘要】本实用新型提供一种接线工具，所述接线工具包括接线板、连线结构和与所述接线板配合使用的插杆。所述接线工具预先通过连线结构将测试机台内的插孔和探针卡内的插孔依次引出并连接至接线板的相邻两侧，在测试的过程中可以通过拔插插杆实现测试机台和探针卡的连通，大大提高了接线的简便性、跳线分配的可读性，在接线出现问题时，排查更加便捷，更改跳线的时候更容易实现。
【专利说明】
一种接线工具
【技术领域】
[0001]本实用新型涉及一种半导体工艺设备【技术领域】，特别是涉及一种接线工具。
【背景技术】
[0002]由于日益复杂的集成电路、材料和工艺的迅速引入，在今天的硅片制造中几乎不可能每个芯片都符合规格要求，为了纠正制作过程中的问题，并确保有缺陷的芯片不会被送到客户手里，在集成电路制造过程中引入了芯片测试(CP，Circuit Probing)。芯片测试是为了检验规格的一致性而在硅片级集成电路上进行的电学参数测量和功能测试，测试可以检验出各芯片是否具有可接受的电学性能和完整的功能，其测试过程中使用的电学规格随测试目的的不同而有所不同。如果芯片测试不完善，就可能造成更多的产品在客户使用过程中失效，最终给芯片制造者带来严重的后果。为此，在集成电路的制造过程中引入能够及早发现工艺问题和将不良的芯片挑选出来的芯片测试是必不可少的。
[0003]图1为芯片测试系统的组成结构示意图，如图1所示，芯片测试系统包括测试机台
11、探针卡12、位于所述测试机台11和探针卡12内的接线区域13、位于所述接线区域13内的插孔14、两端设有插头16用于连接所述插孔14的信号线15。由于在配置芯片测试时，需要依据芯片管脚的要求，将测试机台11内的插孔14与探针卡12内的插孔14相连接，然后再通过探针将测试信号输入到芯片的管脚上。由于探针卡12内的插孔14与测试机台11内的插孔14没有固定的对应关系，测试的过程中需要用信号线15通过两端的插头16将测试机台11和探针卡12进行连接。由于所述探针卡12内的插孔14与测试机台11内的插孔14没有固定的对应关系，所述信号线15在连接的时候会交叉重叠，接线情况比较复杂，容易出现接错的情况。并且，在信号线15接好之后进行测试的过程中，如果发现测试不正常时，由于接线情况比较复杂，增大了排查的困难性；而且在需要改变所述插头16的接线位置时，更改跳线不方便。需要说明的是，图1中所述测试机台11和探针卡12内的接线区域13通过所述信号线15电性连接的插孔14被所述插头16所遮挡，图1中未予示出。
[0004]鉴于此，有必要设计一种新的接线工具用以解决上述技术问题。
实用新型内容
[0005]鉴于以上所述现有技术的缺点，本实用新型的目的在于提供一种接线工具，用于解决现有技术中由于测试机台内的插孔与探针卡内的插孔没有固定的对应关系，在将所述测试机台内的插孔和所述探针卡内的插孔通过信号线连接时，信号线会交叉重叠，接线情况复杂，容易出现接错，在发现测试不正常时，排查比较困难，以及在需要改变信号线接线位置时，更改跳线不方便的问题。
[0006]为实现上述目的及其他相关目的，本实用新型提供一种接线工具，所述接线工具适于连接测试机台和探针卡，以对芯片进行电性测试，所述测试机台和探针卡内均设有接线区域，所述接线区域内设置插孔，其特征在于，所述接线工具至少包括:接线板和与所述接线板配合使用的插杆；所述接线板包括第一子接线板和第二子接线板，所述第一子接线板位于所述第二子接线板的上表面；所述第一子接线板包括多个横向排列的接线单元，所述第二子接线板包括多个纵向排列的接线单元；其中，所述接线单元包括接线条和固定于所述接线条上的插柱，所述插柱设有垂直于所述第一子接线板和第二子接线板的圆柱形通孔；所述接线条和所述插柱均为三层结构，在垂直于所述接线板的方向上自下而上依次为第一绝缘层、导电层和第二绝缘层；所述插柱和所述接线条至少通过所述导电层接触连接；所述第一子接线板和所述第二子接线板内的插柱一一对应。
[0007]作为本实用新型的接线工具的一种优选方案，所述接线工具还包括第三绝缘层，所述第一子接线板中相邻两接线单元均被第三绝缘层隔离开；所述第二子接线板中相邻两接线单元均被第三绝缘层隔离开。
[0008]作为本实用新型的接线工具的一种优选方案，所述每个接线条上相邻插柱的间距相等；所述第一子接线板中相邻两接线条的间距与所述第二子接线板中相邻两接线条的间距均相等，且均等于所述接线条上相邻两插柱的间距。
[0009]作为本实用新型的接线工具的一种优选方案，所述圆柱形通孔内壁涂覆一层导电层。
[0010]作为本实用新型的接线工具的一种优选方案，所述插柱的长度小于或等于所述接线条的厚度。
[0011]作为本实用新型的接线工具的一种优选方案，所述第一子接线板内接线条的行数与所述第二子接线板内接线条的列数相等，且均小于或等于所述每个接线条上插柱的数目。
[0012]作为本实用新型的接线工具的一种优选方案，所述第一子接线板内接线条的行数与所述第二子接线板内接线条的列数均大于或等于所述测试机台或探针卡内插孔的数目。
[0013]作为本实用新型的接线工具的一种优选方案，所述插杆包括第一圆柱体和第二圆柱体，所述第二圆柱体位于所述第一圆柱体的上表面；所述第一圆柱体为金属圆柱体，适于将所述第一圆柱体插入所述圆柱形通孔内，以实现所述第一子接线板和所述第二子接线板的连通。
[0014]作为本实用新型的接线工具的一种优选方案，所述第一圆柱体的直径小于或等于所述圆柱形通孔的直径，所述第二圆柱体的直径大于所述圆柱形通孔的直径。
[0015]作为本实用新型的接线工具的一种优选方案，所述第一圆柱体的长度大于所述接线条的厚度。
[0016]作为本实用新型的接线工具的一种优选方案，所述第二圆柱体为绝缘圆柱体。
[0017]作为本实用新型的接线工具的一种优选方案，所述接线工具还包括一连线结构，所述连线结构包括至少两根信号线和包裹在所述信号线外围的包裹层，所述信号线两端均设有与所述信号线连接的插头，所述包裹层两端均分别依次将所述插头引出。
[0018]作为本实用新型的接线工具的一种优选方案，所述连线结构中信号线的数目大于或等于一个所述接线区域内插孔的数目。
[0019]如上所述，本实用新型的接线工具，具有以下有益效果:所述接线工具包括接线板、插杆和连线结构，预先通过连线结构将测试机台内的插孔和探针卡内的插孔依次引出并连接至接线板的相邻两侧，在测试的过程中可以通过拔插插杆实现测试机台和探针卡的连通，大大提高了接线的简便性、跳线分配的可读性，在接线出现问题时，排查更加便捷，更改跳线的时候更容易实现。
【专利附图】
【附图说明】
[0020]图1显示为现有技术中测试机台与探针卡通过信号线相连接的示意图。
[0021]图2显示为本实用新型的接线单元的结构示意图。
[0022]图3显示为本实用新型的第一种接线板的结构示意图。
[0023]图4显示为本实用新型的第一种接线板的俯视图。
[0024]图5显示为本实用新型的第二种接线板的结构示意图。
[0025]图6显示为本实用新型的第二种接线板的俯视图。
[0026]图7显示为本实用新型的插杆与插柱配合使用的示意图。
[0027]图8显示为本实用新型的连线结构的结构示意图。
[0028]图9显示为本实用新型的接线工具连接测试机台和探针卡的示意图。
[0029]元件标号说明
[0030]11 测试机台
[0031]12 探针卡
[0032]13 接线区域
[0033]14 插孔
[0034]15 信号线
[0035]16 插头
[0036]2 接线板
[0037]21 第一子接线板
[0038]22 第二子接线板
[0039]23 接线单元
[0040]231接线条
[0041]232 插柱
[0042]233第一绝缘层
[0043]234第二绝缘层
[0044]235导电层
[0045]236圆柱形通孔
[0046]237第三绝缘层
[0047]3 插杆
[0048]31 第一圆柱体
[0049]32 第二圆柱体
[0050]4 连线结构
[0051]41 信号线
[0052]42 包裹层
[0053]43 插头
[0054]5 测试机台
[0055]6 接线区域
[0056]7 探针卡
【具体实施方式】
[0057]以下通过特定的具体实例说明本实用新型的实施方式，本领域技术人员可由本说明书所揭露的内容轻易地了解本实用新型的其他优点与功效。本实用新型还可以通过另外不同的【具体实施方式】加以实施或应用，本说明书中的各项细节也可以基于不同观点与应用，在没有背离本实用新型的精神下进行各种修饰或改变。
[0058]请参阅图2至图9。须知，本说明书所附图式所绘示的结构、比例、大小等，均仅用以配合说明书所揭示的内容，以供熟悉此技术的人士了解与阅读，并非用以限定本实用新型可实施的限定条件，故不具技术上的实质意义，任何结构的修饰、比例关系的改变或大小的调整，在不影响本实用新型所能产生的功效及所能达成的目的下，均应仍落在本实用新型所揭示的技术内容得能涵盖的范围内。同时，本说明书中所引用的如“上”、“下”、“左”、“右”、“中间”及“一”等的用语，亦仅为便于叙述的明了，而非用以限定本实用新型可实施的范围，其相对关系的改变或调整，在无实质变更技术内容下，当亦视为本实用新型可实施的范畴。
[0059]请参阅图2至图7，本实用新型提供一种接线工具，所述接线工具至少包括:接线板2和与所述接线板2配合使用的插杆3 ;所述接线板2包括第一子接线板21和第二子接线板22，所述第一子接线板21固定于所述第二子接线板22的上表面；所述第一子接线板21包括多个横向排列的接线单元23，所述第二子接线板22包括多个纵向排列的接线单元23 ;其中，所述接线单元23包括接线条231和固定于所述接线条231上的插柱232，所述插柱232设有垂直于所述第一子接线板21和第二子接线板22的圆柱形通孔236 ;所述接线条231和所述插柱232均为三层结构，在垂直于所述接线板2的方向上自下而上依次为第一绝缘层233、导电层235和第二绝缘层234 ;所述插柱232和所述接线条231至少通过所述导电层235接触连接；所述第一子接线板21和所述第二子接线板22内的插柱232 —一对应。
[0060]请参阅图2，图2为所述接线单元23的结构示意图。由图2可知，所述接线单元23包括接线条231和若干个固定于所述接线条231上的插柱232，所述插柱232设有圆柱形通孔236 ;所述接线条231和所述插柱232均为三层结构，上自下而上依次为第一绝缘层233、导电层235和第二绝缘层234 ;所述插柱232和所述接线条231至少通过所述导电层235接触连接。
[0061]具体的，所述接线条231上相邻插柱232的间距相等，即所述插柱232均匀地固定在所述接线条231上。
[0062]具体的，为了使得第一子接线板和第二子接线板中的接线条可以接触连接，所述插柱232不应高出所述接线条231的上下平面，即所述插柱232的长度应小于或等于所述接线条231的厚度；优选地，本实施例中，所述插柱232的长度小于所述接线条231的厚度。
[0063]具体的，为了使所述插柱232在与插杆配合适用于便于导通，所述插柱232中圆柱形通孔236的内壁可以涂覆一层导电层(未示出)；优选地，本实施例中所述导电层的材料与接线条231和插柱232中的导电层235的材料相同。
[0064]具体的，所述接线条231和所述插柱232中第一绝缘层233和第二绝缘层234的可以选择相同的绝缘材料，亦可以选择不同的绝缘材料；优选地，本实施例中，所述接线条231和所述插柱232中第一绝缘层233和第二绝缘层234的材料相同。
[0065]请参阅图3至图4，图3为第一种接线板2的结构示意图，图4为图3的俯视图。由图3可知，第一种接线板2中，所述第一子接线板21内接线条231的行数与所述第二子接线板22内接线条231的列数相等，且均等于所述每个接线条231上插232的数目。
[0066]具体的，所述接线板2包括第一子接线板21和第二子接线板22，所述第一子接线板21固定于所述第二子接线板22的上表面；所述第一子接线板21包括多个横向排列的接线单元23，所述第二子接线板22包括多个纵向排列的接线单元23 ;所述第一子接线板21和所述第二子接线板22内的插柱232 —一上下对应。
[0067]具体的，所述第一子接线板21中相邻两接线条231的间距与所述第二子接线板22中相邻两接线条231的间距相等，且均等于所述接线条231上相邻两插柱232的间距。
[0068]具体的，为了避免第一子接线板21或第二子接线板22中相邻两接线单元23中的导电层直接导通，在所述第一子接线板21中每个相邻两接线单元23之间区域或所述第二子接线板21中每个相邻两接线单元23之间的区域均可以填充第三绝缘层237，所述第三绝缘层237将第一子接线板21和第二接线板22中相邻两接线单元23隔绝开。
[0069]需要说明的是，为了说明接线板2中第一子接线板21和第二子接线板22的具体结构及二者的连接关系，图3中并未示出所述第三绝缘层237，所述第三绝缘层237的具体分布可以参考图4。
[0070]优选地，本实施例中，所述第三绝缘层237的材料与所述第一绝缘层233和所述第二绝缘层234的材料均相同。
[0071]请参阅图5至图6，图5为第二种接线板2的结构示意图，图6为图5的俯视图。由图5可知，第一种接线板2中，所述第一子接线板21内接线条231的行数与所述第二子接线板22内接线条231的列数相等，且均小于所述每个接线条231上插232的数目。
[0072]具体的，所述接线板2包括第一子接线板21和第二子接线板22，所述第一子接线板21固定于所述第二子接线板22的上表面；所述第一子接线板21包括多个横向排列的接线单元23，所述第二子接线板22包括多个纵向排列的接线单元23 ;所述第一子接线板21和所述第二子接线板22内的插柱232 —一上下对应。
[0073]具体的，所述第一子接线板21中相邻两接线条231的间距与所述第二子接线板22中相邻两接线条231的间距相等，且均等于所述接线条231上相邻两插柱232的间距。
[0074]具体的，为了避免第一子接线板21或第二子接线板22中相邻两接线单元23中的导电层直接导通，在所述第一子接线板21中每个相邻两接线单元23之间区域或所述第二子接线板21中每个相邻两接线单元23之间的区域均可以填充第三绝缘层237，所述第三绝缘层237将第一子接线板21和第二接线板22中相邻两接线单元23隔绝开。
[0075]需要说明的是，为了说明接线板2中第一子接线板21和第二子接线板22的具体结构及二者的连接关系，图5中并未示出所述第三绝缘层237，所述第三绝缘层237的具体分布可以参考图6。
[0076]优选地，本实施例中，所述第三绝缘层237的材料与所述第一绝缘层233和所述第二绝缘层234的材料均相同。
[0077]请参阅图7，图7为插杆3与插柱232配合使用的示意图。由图7可知，所述插杆3包括第一圆柱体31和第二圆柱体32，所述第二圆柱体32位于所述第一圆柱体31的上表面；所述第一圆柱体31为金属圆柱体，适于将所述第一圆柱体31插入所述圆柱形通孔236内，以实现所述第一子接线板21和所述第二子接线板22的连通。
[0078]具体的，所述第一圆柱体31的直径小于或等于所述圆柱形通孔236的直径，所述第二圆柱体32的直径大于所述圆柱形通孔236的直径。
[0079]具体的，所述第一圆柱体31的长度应大于所述接线条231的厚度，以确保所述第一圆柱体31插入所述圆柱形通孔236内以后，可以实现所述第一子接线板21和所述第二子接线板22的连通。
[0080]具体的，所述第二圆柱体32设置为绝缘圆柱体。
[0081]具体的，在需要连通所述第一子接线板21和所述第二子接线板22的时候，只需将所述插杆3插入所述圆柱形通孔236中即可，将所述插杆3从所述圆柱形通孔236内拔出即可实现所述第一子接线板21和所述第二子接线板22的断开。
[0082]请参阅图8，图8为连线结构4的结构示意图。由于测试机台和探针卡内每个连线区域内均由多个插孔，为了接线的方便，可以设计一如图8所示的连线结构4将每个接线区域的插孔依次顺序引出。由图8可知，所述连线结构4包括至少两根信号线41和包裹在所述信号线41外围的包裹层42，所述信号线41两端均设有与所述信号线41连接的插头43，所述包裹层42两端均分别依次将所述插头43引出。
[0083]请参阅图9，图9为接线工具连接测试机台和探针卡的示意图。所述接线工具适于连接测试机台5和探针卡7，以对芯片进行电性测试，所述测试机台5和探针卡7内均设有接线区域6，所述接线区域6内设置插孔。
[0084]具体的，请结合图6，所述第一子接线板21内接线条231的行数与所述第二子接线板22内接线条231的列数均大于或等于所述测试机台5或探针卡7内插孔的数目。优选地，本实施例中，所述第一子接线板21内接线条231的行数与所述第二子接线板22内接线条231的列数均等于所述测试机台5或探针卡7内插孔的数目。
[0085]具体的，请结合图8，所述连线结构4中信号线41的数目应大于或等于测试机台5或探针卡7内一个接线区域6内插孔的数目；优选地，所述连线结构4中信号线41的数目等于测试机台5或探针卡7内一个接线区域6内插孔的数目。
[0086]具体的，将所述连线结构4 一端的插头43依次插入测试机台5中每个连线区域6的插孔内，将所述测试机台5中的信号依次引出，并将所述连线机构4的另一端沿着连线方向通过信号线41依次连接所述接线板2的一侧；将所述连线结构4 一端的插头43依次插入探针卡7中每个连线区域6的插孔内，将所述探针卡7中的信号依次引出，并将所述连线机构4的另一端沿着连线方向通过信号线41依次连接所述接线板2的另一侧；需要说明的是，所述接线板2中连接所述测试机台5的一侧与连接所述探针卡7的一侧相邻。
[0087]在将所述测试机台5与所述探针卡7内的插孔通过所述连线结构4均连接至所述接线板2之后，根据测试的具体需要，只需要将所述插杆插入到相应位置处的圆柱形通孔内，即可以实现测试机台5与所述探针卡7的连通，以完成相应的电性测试。在完成连接以后，由于连接均通过插杆3和接线板2来实现，所有的连线关系均展现在所述接线板2上，接线关系一目了然；在发现连线错误的时候，由于连接点均在接线板2上，使得排查变得非常便捷；在需要进行跳线时，只需要将原先位置所插的插杆拔出，重新插至新的需要连接的位置即可，使得跳线变得更加容易实现。
[0088]需要说明的是，图9中所述测试机台5和探针卡7内的接线区域6通过所述信号线41电性连接的插孔被所述插头43所遮挡，图9中未予示出。
[0089]综上所述，本实用新型提供一种接线工具，所述接线工具包括接线板、插杆和连线结构，预先通过连线结构将测试机台内的插孔和探针卡内的插孔依次引出并连接至接线板的相邻两侧，在测试的过程中可以通过拔插插杆实现测试机台和探针卡的连通，大大提高了接线的简便性、跳线分配的可读性，在接线出现问题时，排查更加便捷，更改跳线的时候更容易实现。
[0090]上述实施例仅例示性说明本实用新型的原理及其功效，而非用于限制本实用新型。任何熟悉此技术的人士皆可在不违背本实用新型的精神及范畴下，对上述实施例进行修饰或改变。因此，举凡所属【技术领域】中具有通常知识者在未脱离本实用新型所揭示的精神与技术思想下所完成的一切等效修饰或改变，仍应由本实用新型的权利要求所涵盖。
【权利要求】
1.一种接线工具，适于连接测试机台和探针卡，以对芯片进行电性测试，所述测试机台和探针卡内均设有接线区域，所述接线区域内设置插孔，其特征在于，所述接线工具至少包括:接线板和与所述接线板配合使用的插杆； 所述接线板包括第一子接线板和第二子接线板，所述第一子接线板位于所述第二子接线板的上表面；所述第一子接线板包括多个横向排列的接线单元，所述第二子接线板包括多个纵向排列的接线单元；其中，所述接线单元包括接线条和固定于所述接线条上的插柱，所述插柱设有垂直于所述第一子接线板和第二子接线板的圆柱形通孔；所述接线条和所述插柱均为三层结构，在垂直于所述接线板的方向上自下而上依次为第一绝缘层、导电层和第二绝缘层；所述插柱和所述接线条至少通过所述导电层接触连接； 所述第一子接线板和所述第二子接线板内的插柱一一对应。
2.根据权利要求1所述的接线工具，其特征在于:还包括第三绝缘层，所述第一子接线板中相邻两接线单元均被第三绝缘层隔离开；所述第二子接线板中相邻两接线单元均被第三绝缘层隔离开。
3.根据权利要求2所述的接线工具，其特征在于:所述每个接线条上相邻插柱的间距相等；所述第一子接线板中相邻两接线条的间距与所述第二子接线板中相邻两接线条的间距均相等，且均等于所述接线条上相邻两插柱的间距。
4.根据权利要求1所述的接线工具，其特征在于:所述圆柱形通孔内壁涂覆一层导电层。
5.根据权利要求1所述的接线工具，其特征在于:所述插柱的长度小于或等于所述接线条的厚度。
6.根据权利要求1所述的接线工具，其特征在于:所述第一子接线板内接线条的行数与所述第二子接线板内接线条的列数相等，且均小于或等于所述每个接线条上插柱的数目。
7.根据权利要求6所述的接线工具，其特征在于:所述第一子接线板内接线条的行数与所述第二子接线板内接线条的列数均大于或等于所述测试机台或探针卡内插孔的数目。
8.根据权利要求1所述的接线工具，其特征在于:所述插杆包括第一圆柱体和第二圆柱体，所述第二圆柱体位于所述第一圆柱体的上表面；所述第一圆柱体为金属圆柱体，适于将所述第一圆柱体插入所述圆柱形通孔内，以实现所述第一子接线板和所述第二子接线板的连通。
9.根据权利要求8所述的接线工具，其特征在于:所述第一圆柱体的直径小于或等于所述圆柱形通孔的直径，所述第二圆柱体的直径大于所述圆柱形通孔的直径。
10.根据权利要求8所述的接线工具，其特征在于:所述第一圆柱体的长度大于所述接线条的厚度。
11.根据权利要求8所述的接线工具，其特征在于:所述第二圆柱体为绝缘圆柱体。
12.根据权利要求1所述的接线工具，其特征在于:所述接线工具还包括一连线结构，所述连线结构包括至少两根信号线和包裹在所述信号线外围的包裹层，所述信号线两端均设有与所述信号线连接的插头，所述包裹层两端均分别依次将所述插头引出。
13.根据权利要求12所述的接线工具，其特征在于:所述连线结构中信号线的数目大于或等于一个所述接线区域内插孔的数目。
【文档编号】G01R1/04GK204008736SQ201420470076
【公开日】2014年12月10日 申请日期:2014年8月20日 优先权日:2014年8月20日
【发明者】赵瑞豪, 林光启, 胡启誉, 张克堂 申请人:中芯国际集成电路制造(北京)有限公司