一种摆式mems加速度计芯片电容测试工具的制作方法
【专利摘要】本实用新型涉及一种摆式MEMS加速度计芯片电容测试工具。本实用新型包括测试工具主体和测试针筒；测试工具主体包括底座、连杆结构、针筒安装块；底座两侧各带有一道滑槽，上部有两个轴套；连杆结构包括两根相互平行的L型拉杆、两根相互平行的一字形拉杆、四根相互平行的横杆，横杆与L型拉杆和一字形拉杆通过轴孔及螺纹螺纹连接；两根滑轨安装在底座上，滑轨上安装有针筒安装块；连杆结构带动针筒安装块沿滑轨运动；针筒安装块上安装有不同规格的测试针筒，针筒上的针头有弹性，其位置与加速度计芯片电容测试点对应。底座与连杆结构、针筒相互配合使用。
【专利说明】一种摆式MEMS加速度计芯片电容测试工具
【技术领域】
[0001]本实用新型涉及一种摆式MEMS加速度计芯片电容测试工具。
【背景技术】
[0002]在三明治摆式MEMS加速度计芯片测试过程中，需要对芯片的电容进行逐一测试，通常摆式MEMS加速度计芯片的电容测试点分布在芯片上下两侧及芯片横截面，因此在测试时需要同时使用测试针头接触上下及截面上的测试点，在本实用新型之前采用的方式是手工逐一将探针扎到测试点进行测试，操作过程繁琐、效率低且准确性难以保证，往往还需要反复调节，导致芯片的电容测试过程困难。
【发明内容】
[0003]本实用新型所要解决的技术问题是:提出一种能够对芯片电容测试点同时进行稳定、可重复的接触，同时便于操作，易于制造和使用的摆式MEMS加速计芯片电容测试工具，这种测试工具能够通过更换不同的测试针筒，适配不同型号和尺寸的芯片测试。
[0004]本实用新型采取的技术方案为:其特征是:一种摆式MEMS加速度计芯片电容测试工具，其特征是:所述测试工具包括测试工具主体和测试针筒；测试工具主体包括底座
(I)、连杆结构(2、3、5、6、7、9-1、9-2、9-3、9-4)、侧壁针筒安装块(10);底座两侧各带有一道滑槽(4)，上部有两个轴套(2)，两根滑轨(5)安装在底座(I)上表面上，滑轨上安装有侧壁针筒安装块(10)。
[0005]连杆结构包括两根相互平行的L型拉杆(7)、两根相互平行的一字形拉杆(6)、第一横杆(9-1)，第二横杆(9-2)，第三横杆(9-3)，第四横杆(9-4)，第一横杆(9_1)安装于轴套⑵内作为旋转轴，同时安装于L型拉杆(7)的末端的安装孔，第二横杆(9-2)穿过L型拉杆(7)中段的安装孔与一字形拉杆(6)相连接，第三横杆(9-3)和第四横杆(9-4)与L型拉杆(7)相连接用于固定截面针筒安装块(8)，一字形拉杆(6)与侧壁针筒安装块(10)相连接，连杆结构带动侧壁针筒安装块(10)沿滑轨(5)运动，同时带动安装在截面针筒安装块(8)上的截面测试针筒(11)向下运动。
[0006]截面测试针筒(11)通过螺纹连接安装到截面针筒安装块(8)上。
[0007]进一步的，侧壁针筒安装块(10)上安装有不同规格的测试针筒(12)，针头有弹性，其位置与加速度计芯片电容测试点对应，测试针筒可以根据测试需要进行更换。
[0008]本实用新型的有益效果:本实用新型一种摆式MEMS加速度计芯片电容测试工具，采用连杆和滑轨结构进行组装，通过更换测试针筒可适用不同规格的摆式MEMS加速度计芯片电容测试。侧壁测试针筒和截面测试针筒在连杆滑轨结构的带动下同时运动，将芯片放入测试位置后，测试针筒在连杆结构重力作用下自动同时压紧芯片上的电容测试点。该实用新型大大减轻了芯片电容测试的工作量，同时使得测试更加便利、可靠、可重复。
【专利附图】
【附图说明】
[0009]图1是本实用新型的结构示意图；
[0010]其中，1-底座、2-轴套、3-拉杆、4-滑槽、5-滑轨、6- —字形拉杆、7_L形拉杆、8-截面测试针筒安装块、9-1第一横杆、9-2第二横杆、9-3第二横杆、9-4第四横杆、10-侧壁测试针筒安装块、11-截面测试针筒、12-测试针筒安装孔。
【具体实施方式】
[0011]下面结合说明书附图对本实用新型的【具体实施方式】做进一步说明。
[0012]参见图1，一种摆式MEMS加速度计芯片电容测试工具，其特征是:所述测试工具包括测试工具主体和测试针筒；测试工具主体包括底座1、连杆结构2、3、5、6、7、9-1、9-2、
9-3、9-4、侧壁针筒安装块10 ;底座两侧各带有一道滑槽4，上部有两个轴套2，两根滑轨5安装在底座I上表面上，滑轨上安装有侧壁针筒安装块10。
[0013]连杆结构包括两根相互平行的L型拉杆7、两根相互平行的一字形拉杆6、第一横杆9-1，第二横杆9-2，第三横杆9-3，第四横杆9-4，第一横杆9-1安装于轴套2内作为旋转轴，同时安装于L型拉杆7的末端的安装孔，第二横杆9-2穿过L型拉杆7中段的安装孔与一字形拉杆6相连接，第三横杆9-3和第四横杆9-4与L型拉杆7相连接用于固定截面针筒安装块8，一字形拉杆6与侧壁针筒安装块10相连接，连杆结构带动侧壁针筒安装块10沿滑轨5运动，同时带动安装在截面针筒安装块8上的截面测试针筒11向下运动。
[0014]使用时用手抬起L形拉杆7，带动截面测试针筒安装块8向上运动，同时通过横杆9、一字形拉杆6带动侧壁测试针筒安装块沿滑轨5分开，此时可将待测芯片放入测试位置，然后放回L形拉杆，在连杆结构重力作用下，两侧壁针筒12和上方的截面针筒11分别压紧芯片侧壁和截面上的电容测试点，确认压紧后便可以开始测试。
[0015]截面测试针筒11通过螺纹连接安装到截面针筒安装块8上。
[0016]侧壁针筒安装块10上安装有不同规格的测试针筒12，针头有弹性，其位置与加速度计芯片电容测试点对应，测试针筒可以根据测试需要进行更换。
【权利要求】
1.一种摆式MEMS加速度计芯片电容测试工具，其特征是:所述测试工具包括测试工具主体和测试针筒；测试工具主体包括底座(I)、连杆结构(2、3、5、6、7、9-1、9-2、9-3、9-4)、侧壁针筒安装块(10);底座两侧各带有一道滑槽(4)，上部有两个轴套(2)，两根滑轨(5)安装在底座(I)上表面上，滑轨上安装有侧壁针筒安装块(10)； 连杆结构包括两根相互平行的L型拉杆(7)、两根相互平行的一字形拉杆￠)、第一横杆(9-1)，第二横杆(9-2)，第三横杆(9-3)，第四横杆(9-4)，第一横杆(9-1)安装于轴套(2)内作为旋转轴，同时安装于L型拉杆(7)的末端的安装孔，第二横杆(9-2)穿过L型拉杆(7)中段的安装孔与一字形拉杆(6)相连接，第三横杆(9-3)和第四横杆(9-4)与L型拉杆(7)相连接用于固定截面针筒安装块(8)，一字形拉杆(6)与侧壁针筒安装块(10)相连接，连杆结构带动侧壁针筒安装块(10)沿滑轨(5)运动，同时带动安装在截面针筒安装块⑶上的截面测试针筒(11)向下运动； 截面测试针筒(11)通过螺纹连接安装到截面针筒安装块(8)上。
2.根据权利要求1所述的摆式MEMS加速度计芯片电容测试工具，其特征还在于:侧壁针筒安装块(10)上安装有不同规格的测试针筒(12)，针头有弹性，其位置与加速度计芯片电容测试点对应，测试针筒可以根据测试需要进行更换。
【文档编号】G01R1/04GK204255988SQ201420684738
【公开日】2015年4月8日 申请日期:2014年11月14日 优先权日:2014年11月14日
【发明者】何福林, 李川, 肖鹏 申请人:中国航空工业第六一八研究所