本发明属于化工设备技术领域，具体涉及一种高纯硅烷的质量分析装置。
背景技术：
目前，硅烷是一种电子气体，同其他硅源化合物相比，硅烷因其独具的特性而被优先使用，广泛应用于电子、信息、能源、材料等领域，是许多未来新兴产业所必不可少的一种气体，硅烷在使用的过程中，其纯度和质量直接影响了后续产品的质量，现有的硅烷质量分析装置大多是采用质量分析仪器，首先，利用与吸气泵连接的采样手柄进行硅烷的采样，然后，通过其内部的分析模块和检测模块对其质量进行分析，但是现有的硅烷质量分析装置在使用过程携带不方便，需要费很大的人力才能将仪器从一个地方移动至另外一个地方；为解决上述问题，开发具有携带方便、结构简单、功能齐全、警示明显的高纯硅烷质量分析装置很有必要。
技术实现要素：
本发明的目的是为了克服现有技术的不足，而提供一种具有携带方便、结构简单、功能齐全、警示明显的高纯硅烷质量分析装置。
本发明的目的是这样实现的：一种高纯硅烷的质量分析装置，包括质量分析装置本体，所述的质量分析装置本体包括质量分析装置、延伸气体回收装置、盖帽，所述的质量分析装置上部设置有电子显示屏，电子显示屏下端设置有控制面板，所述的质量分析装置中部上端设置有进气筒，进气筒上设置有螺纹孔，所述的延伸气体回收装置下端部设置有螺纹固定柱，延伸气体回收装置通过螺纹固定柱与螺纹孔之间的配合连接实现与质量分析装置的固定连接，所述的延伸气体回收装置上端部设置有气体导管，气体导管上设置有螺纹连接孔，所述的延伸气体回收装置下端设置有密封垫，
所述的盖帽上端设置有拉环，盖帽下端部设置有固定柱。
所述的进气筒与质量分析装置上侧壁为一体式结构。
所述的密封垫通过粘结的方式与延伸气体回收装置固定连接，密封垫的高度为1.5mm-3mm之间，密封垫为软弹性材质。
所述的气体导管与延伸气体回收装置为一体式结构，气体导管可通过螺纹连接的方式加长气体导管的长度。
所述的盖帽与固定柱为一体式结构，盖帽与质量分析装置通过螺纹固定连接。
本发明的有益效果：本发明通过在质量分析装置上端设置进气筒，进气筒上设置有螺纹孔，延伸气体回收装置可通过螺纹固定柱与螺纹孔的配合连接实现与质量分析装置的固定连接，不需要使用时将延伸气体回收装置取下将盖帽拧上，从而节省了质量分析装置本体的占地空间，携带方便；总的来讲：本发明具有携带方便、结构简单、功能齐全、警示明显的优点。
附图说明
图1是本发明的立体结构示意图。
图2是本发明质量分析装置的立体结构示意图。
图3是本发明延伸气体回收装置的立体结构示意图。
图4是本发明盖帽与质量分析装置配合的立体结构示意图。
图5是本发明盖帽的立体结构示意图。
图中：0、质量分析装置本体1、质量分析装置10、电子显示屏11、控制面板12、进气筒120、螺纹孔2、延伸气体回收装置20、气体导管21、螺纹固定柱3、密封垫4、盖帽40、固定柱41、拉环。
具体实施方式
下面结合附图对本发明做进一步的说明。
如图1、图2、图3、图4、图5所示：一种高纯硅烷的质量分析装置，包括质量分析装置本体0，所述的质量分析装置本体0包括质量分析装置1、延伸气体回收装置2、盖帽4，所述的质量分析装置1上部设置有电子显示屏10，电子显示屏10下端设置有控制面板11，所述的质量分析装置1中部上端设置有进气筒12，进气筒12上设置有螺纹孔120，所述的延伸气体回收装置2下端部设置有螺纹固定柱21，延伸气体回收装置2通过螺纹固定柱21与螺纹孔120之间的配合连接实现与质量分析装置1的固定连接，所述的延伸气体回收装置2上端部设置有气体导管20，气体导管20上设置有螺纹连接孔，所述的延伸气体回收装置2下端设置有密封垫3，
所述的盖帽4上端设置有拉环41，盖帽4下端部设置有固定柱40。
所述的进气筒12与质量分析装置1上侧壁为一体式结构；所述的密封垫3通过粘结的方式与延伸气体回收装置2固定连接，密封垫3的高度为1.5mm-3mm之间，密封垫3为软弹性材质，通过在质量分析装置1上端设置进气筒12，进气筒12上设置有螺纹孔120，延伸气体回收装置2可通过螺纹固定柱21与螺纹孔120的配合连接实现与质量分析装置1的固定连接，从而节省了质量分析装置本体的占地空间，携带方便，通过在延伸气体回收装置2下端设置密封垫3，当延伸气体回收装置2与质量分析装置1配合连接时密封垫3可起到密封气体的作用。
所述的气体导管20与延伸气体回收装置2为一体式结构，气体导管20可通过螺纹连接的方式加长气体导管20的长度。
所述的盖帽4与固定柱40为一体式结构，盖帽4与质量分析装置1通过螺纹固定连接，通过设置盖帽4，当质量分析装置1不需要时，可直接将盖帽4与质量分析装置1配合连接。
本发明在使用的过程中，当质量分析装置本体0在使用时，首先需将盖帽4从进气筒12内拧下，将延伸气体回收装置2下端部设置的螺纹固定柱21与进气筒12上的螺纹孔120固定连接，由于延伸气体回收装置2下端设置有密封垫3，密封垫3可将延伸气体回收装置2与进气筒12密封完好，将进气筒12上端设置的气体导管20放入硅烷气体中通过控制面板11上设置的按钮将机器打开，由于机器内部设置有抽气泵，可将硅烷气体吸入仪器内进行检测，检测完毕后可在电子显示屏10上显示数值，当数值高于一定数值时警示灯亮，同时喇叭会进行提示，使用完毕后通过开关按钮将机器关闭，将延伸气体回收装置2从进气筒12内拧下，将盖帽4拧入进气筒12内以保证不会有杂质进入进气筒内，从而缩减了质量分析装置本体0的长度方便携带。
总的，本发明具有携带方便、结构简单、功能齐全、警示明显的优点。