一种确保多工位坐标正确的方法与流程

文档序号:15268882发布日期:2018-08-28 22:10阅读:473来源:国知局

本发明涉及一种测试技术,特别涉及一种确保多site坐标正确的方法。



背景技术:

site:在晶圆测试中代表同测晶圆的测试工位;xy坐标:晶圆上横轴和纵轴的具体位置,能定位到每个管芯;探针台:晶圆测试中完成自动移动晶圆的设备,并和测试机、工作站相连组成一套测试系统。

集成电路在晶圆测试阶段,只要测试机资源够用,尽量会用多site进行测试,提高测试效率,多site测试需要定义每个site与相邻site之间的相对位置,当第一个site的位置确定后,根据site之间的相对位置就可以推测出其他site的具体位置,从而算出每个site的xy坐标。

如图1所示现有多site晶圆测试流程图,选定探针台,即探针台的产品配置就已经确定,在现在实际过程中,先确定第一测试位置,其他晶圆以第一测试位置为准,根据针卡实际排列和探针台坐标系统对同测的其他晶圆进行人工配置文件,配置文件为同测的晶圆相对位置的文件,通过配置文件来让测试机知道多site之间的位置关系,开始测试后,通过配置文件算出每个site的xy坐标,写入芯片开始测试。由于配置文件要和探针台设置的坐标系相结合,所以配错文件的情况经常有,一旦配置文件出错,导致整个晶圆测下来xy坐标除了第一个site都是错的,导致测试数据错误,严重的导致芯片报废。

site相对位置需要人工配置,和探针台坐标系相结合,容易出错,首先需要根据针卡上多site的相对位置,然后再结合探针台坐标系,即xy坐标递增方向去推算出所有site的相对坐标,有一定技术含量,一旦理解不够或粗心就可能导致配置错误。

越来越多的产品由于要求追溯性问题,客户会将一些信息写入到芯片中,一旦写入后无法更改,将跟随芯片进入使用,追溯信息其中就有芯片实际xy坐标,所以确保xy坐标正确是非常重要的。



技术实现要素:

本发明是针对现在晶圆测试中配置工位相对位置时容易出错,并且有些产品写入后无法更改的问题,提出了一种确保多工位坐标正确的方法,直接获取探针台上的管芯大小、管芯间隔、某个管芯的xy坐标和其绝对位置,然后在实际测试过程中通过获取管芯的绝对位置就可推算出所有管芯的xy坐标,这些所有参数都是在探针台可以直接获取到的,绝对不会出错,所以确保了数据的准确性。

本发明的技术方案为:一种确保多工位坐标正确的方法,在探针台上的产品配置中包含xy坐标最大最小的范围、xy坐标递增的方向、需要测试的管芯标识、管芯之间间隔多少、管芯大小、管芯的排列位置,先确定管芯a的xy坐标位置,查看在探针台中绝对位置,得到此管芯a在探针台绝对位置与xy坐标位置,开始测试,然后在管芯a测试时,获取下一个工位在探针台产品配置的绝对位置,通过管芯大小、与管芯a之间的间隔和xy递增方向推算出其xy坐标位置,植入测试台进行测试,直到所有需要测试的管芯都测试完成。

本发明的有益效果在于:本发明确保多工位坐标正确的方法,通过使用绝对位置替换相对坐标,不再需要人工进行site相对位置的配置,避免了设置错误,而从已有的参数中获取有用的信息,通过绝对位置的计算得到绝对正确的xy坐标,确保了测试的准确性。

附图说明

图1为现有多site晶圆测试流程图;

图2为本发明多site晶圆测试流程图。

具体实施方式

晶圆在探针台中有两个位置,一个为绝对位置是指一个物理位置,例如距离左边5cm,上边5cm,那么它的物理位置就可能是(5,5),在探针台一般自定义xy坐标系,每个晶圆有一个xy坐标位置,用于追溯,现在技术配置文件中显示的都是xy坐标位置。

如图2所示多site晶圆测试流程图,每个产品在探针台上都会有个产品配置,配置中包含了xy坐标最大最小的范围、xy坐标递增的方向、哪些是需要测试的管芯、管芯之间间隔多少、管芯大小、管芯的排列位置等。先确定某一个管芯a的xy坐标,查看在探针台中绝对位置为多少,得到此管芯a在探针台绝对位置与xy坐标位置,开始测试,然后在管芯a测试过程中,获取下一个site在探针台的绝对位置,通过管芯大小、与管芯a之间的间隔和xy递增方向就可以推算出其xy坐标位置,植入测试台进行测试,直到所有需要测试的管芯都测试完成。由于从探针台获取到的绝对位置不会出错,所以经过推算后的xy坐标也一定不会出错,确保了数据的准确性。

当某个产品需要测试前,会在探针台上配置产品信息,当配置完成后,就能获得管芯大小、间隔,所有坐标的绝对位置和其xy坐标,随便记录一个坐标(一般可记录左上角第一个管芯),例如此管芯xy坐标为(35,6),其绝对位置在(50.5,10.3),管芯大小为(30.8,20.1),管芯间隔为(3.2,2.1),现又获得某个site的绝对位置在(84.5,32.5)那么可以这样计算,(84.5-50.5)/(30.8+3.2)=1,即x需要+1=36,(32.5-10.3)/(20.1+2.1)=1,即y需要+1=7,所以这个管芯的xy坐标为(36,7),上述公式表示绝对坐标的横坐标减去之前记录好的横坐标,然后除以管芯横向大小加上管芯横向间隔的和,得到的值即为在记录好的x坐标上加上此值,得到新的x坐标,y坐标同理,所以当获得了某个管芯的绝对位置和其xy坐标,并且获得管芯大小和间隔大小后,就能通过计算获得每个管芯的坐标,并且绝对正确。



技术特征:

技术总结
本发明涉及一种确保多工位坐标正确的方法,在探针台上的产品配置提取某一个管芯A的XY坐标位置和绝对位置信息,通过管芯大小、与管芯A之间的间隔和XY递增方向推算出其的XY坐标位置,植入测试台进行测试,直到所有需要测试的管芯都测试完成。通过使用绝对坐标替换相对坐标,不再需要人工进行site相对位置的配置,避免了设置错误,而从已有的参数中获取有用的信息,通过绝对位置的计算得到绝对正确的XY坐标,确保了测试的准确性。

技术研发人员:王玉龙;牛勇;岳小兵;严霜霜;叶建明
受保护的技术使用者:上海华岭集成电路技术股份有限公司
技术研发日:2018.02.08
技术公布日:2018.08.28
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