用于微小腔体电路内部气氛检测结果比对的双腔结构的制作方法

本发明涉及质量与可靠性领域、检测技术研究领域，特别涉及一种用于微小腔体电路内部气氛检测结果比对的双腔结构。

背景技术：

随着航空、航天、航海电子技术的发展，对所有使用的电子元器件提出了更高的要求，除了具备高质量与高可靠性外，还要求具有长使用寿命。在很大程度上，微电子器件的使用寿命与微电路内部气氛含量有关。细微的漏气将使空气进入器件内部，引起严重的键合引线腐蚀和电气失效。因此，对于微电路内部气氛的检测尤其重要，即通过对产品内部气氛历史数据信息的分析，可进一步了解密封前烘焙温度与时间、聚合物和固态合金材料特性、固化时间、热效应和机械应力、密封环境、管壳材料内部污染等问题对内部气氛的影响。

目前国内的内部气氛检测结果比对主要采用实验室之间比对，均是检测结果检测值之间的比对，无法直接对微小腔体检测结果与真实值进行准确性比对验证。

技术实现要素：

本发明提出一种用于微小腔体电路内部气氛检测结果比对的双腔结构，包括管壳和盖板，管壳使用间隔板隔断分离形成第一腔体和第二腔体，间隔板与外壁等高，且第一腔体与第二腔体共用一块盖板。

进一步的，所述管壳采用平行缝焊管壳，其形状为长方体。

进一步的，所述第一腔体的体积为0.001cc～0.01cc，第二腔体的体积为0.1cc～4.0cc。

进一步的，盖板厚度为0.08mm～0.12mm。

本发明还包括用于微小腔体电路内部气氛检测结果比对的双腔结构的制备方法，包括将管壳1和盖板2放入烘箱进行除气烘烤，随后对其进行封帽，封帽时将盖板2与管壳的间隔断3焊死，形成两个密封腔体。

本发明还包括用于微小腔体电路内部气氛检测结果比对的双腔结构的使用方法，包括按照内部气氛检测方法对第二腔体进行检测，以及按照微小腔体内部气氛检测方法对大腔体进行检测，检测完成后，对两个检测结果进行比对，即可验证微小腔体内部气氛检测方法的准确性和稳定性。

使用本发明中的双腔结构可以对小于0.01cc的微小腔体内部气氛检测结果进行准确比对，以验证内部气氛检测试验的准确性和稳定性，根据比对结果对内部气氛检测试验方法优化，可以极大地提高微小腔体(＜0.01cc)电路内部气氛检测结果的准确性和稳定性。

附图说明

图1为本发明的双腔结构的管壳立体示意图；

图2为本发明的双腔结构的盖板俯视示意图；

其中，1、管壳，2、盖板，3、间隔板。

具体实施方式

下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。

实施例1

本发明提出一种用于微小腔体电路内部气氛检测结果比对的双腔结构，其特征在于，如图1-2，包括管壳和盖板，管壳使用间隔板隔断分离形成第一腔体和第二腔体，间隔板与外壁等高，且第一腔体与第二腔体共用一块盖板。

进一步的，所述管壳采用平行缝焊管壳，其形状为长方体。

进一步的，所述第一腔体的体积为0.001立方厘米～0.01立方厘米，第二腔体的体积为0.1立方厘米～4.0立方厘米。

进一步的，盖板厚度为0.08mm～0.12mm。

实施例2

本发明提供一种用于微小腔体电路内部气氛检测结果比对的双腔结构的制备方法，包括将管壳1和盖板2放入烘箱进行除气烘烤，随后对其进行封帽，封帽时将盖板2与管壳的间隔断3焊死，形成两个密封腔体。

进一步的，所述管壳1采用平行缝焊管壳，其形状为长方体。

进一步的，间隔板3将管壳1隔断为第一腔体和第二腔体，第一腔体的体积为0.001立方厘米～0.01立方厘米，第二腔体的体积为0.1立方厘米～4.0立方厘米，形成具有双腔结构的管壳。

进一步的，盖板2厚度为0.08mm～0.12mm。

实施例3

本发明提供一种用于微小腔体电路内部气氛检测结果比对的双腔结构的使用方法，包括按照内部气氛检测方法对第二腔体进行检测，以及按照微小腔体内部气氛检测方法对第一腔体进行检测，检测完成后，对两个检测结果进行比对，即可验证微小腔体内部气氛检测方法的准确性和稳定性；使用本发明进行检测的双腔结构依据大腔体内部气氛检测结果准确度高的特性，以大腔体内部气氛检测结果为参照，直接对相同气氛下的小腔体内部气氛检测结果进行比对，即可直接验证微小腔体(＜0.01立方厘米)电路内部气氛检测结果的准确性和稳定性；国内外有较多内部气氛检测设备、大腔体内部气氛检测设备，只需根据具体设备的检测方法即可检测内部气氛，此处不再赘述。

在本发明的描述中，需要理解的是，术语“同轴”、“底部”、“一端”、“顶部”、“中部”、“另一端”、“上”、“一侧”、“顶部”、“内”、“外”、“前部”、“中央”、“两端”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明的限制。

此外，术语“第一”、“第二”、“第三”、“第四”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量，由此，限定有“第一”、“第二”、“第三”、“第四”的特征可以明示或者隐含地包括至少一个该特征，不能理解为对本发明的限制。

在本发明中，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“设置”、“连接”、“固定”、“旋转”等术语应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系，除非另有明确的限定，对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本发明中的具体含义。

尽管已经示出和描述了本发明的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本发明的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本发明的范围由所附权利要求及其等同物限定。

技术特征：

技术总结
本发明涉及质量与可靠性领域、检测技术研究领域，特别涉及一种用于微小腔体电路内部气氛检测结果比对的双腔结构，包括管壳和盖板，管壳使用间隔板隔断分离形成第一腔体和第二腔体，间隔板与外壁等高，且第一腔体与第二腔体共用一块盖板，所述管壳采用平行缝焊管壳，其形状为长方体，所述第一腔体的体积为0.001立方厘米～0.01立方厘米，第二腔体的体积为0.1立方厘米～4.0立方厘米；本发明方法的双腔结构可以对小于0.01立方厘米的微小腔体内部气氛检测结果进行准确比对，可以极大地提高微小腔体电路内部气氛检测结果的准确性和稳定性。

技术研发人员：谭骁洪;李晓红;罗俊;邢宗锋;张锋;邓永芳;邱忠文;吴兆希;林震;朱朝轩;杨迁
受保护的技术使用者：中国电子科技集团公司第二十四研究所
技术研发日：2018.12.06
技术公布日：2019.04.05