技术特征：
技术总结
本发明提供了一种光刻机平面电机动子悬浮高度测量系统的电涡流切换算法，该测量系统包括十二个Z向电涡流传感器，其中的四组为非切换组，两组为切换组，每组设定主传感器和辅传感器；该算法对磁钢表面进行分区；将有效测量动子悬浮高度的四组Z向电涡流传感器等效到第一分区内；若主传感器的靶区与散热孔重合，则选取补偿后的辅传感器读数，否则选取主传感器的读数；将四组传感器组成的信号分别进行低通滤波处理，得到四组动子悬浮高度信号；最后根据动子的不同运动位置，将四组信号取加权平均得到最终的动子质心悬浮高度信号。本发明能够减小传感器切换过程中产生的测量值跳变，实现动子全运动范围内悬浮高度的精确测量。
技术研发人员：朱煜;杨开明;成荣;张鸣;李鑫;王磊杰;孙浩博;甄玉旺;鲁智铭
受保护的技术使用者：清华大学;北京华卓精科科技股份有限公司
技术研发日：2018.12.21
技术公布日：2019.02.19