一种多孔平衡流量计的取压装置的制作方法

1.本实用新型涉及流量计技术领域，特别是涉及一种多孔平衡流量计的取压装置。


背景技术：

2.多孔平衡流量计是通过获取节流器两侧的差压，将差压换算成流量的一种流量计。目前它已经广泛应用到石油、化工、冶金、电力、天然气、水处理等行业，具有适用介质广泛、结构简单、精度高、成本低和稳定性好等一系列优势。但是当前的多孔平衡流量计的取压装置尺寸大，需在被测介质的管道上钻取取压孔，导致安装便携性差，成本高，对管道有破坏性。因此，需要有必要研究一种可以解决上述问题的新型的多孔平衡流量计的取压装置。


技术实现要素：

3.针对以上现有的问题和需求，本实用新型提出一种多孔平衡流量计的取压装置，通过引入mems(micro
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electro
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mechanical system，mems)压力传感器，可在降低成本的同时，提升测量精度和安装便携性，并且可以测量小差压值。
4.本实用新型解决其技术问题所采用的技术方案是：
5.一种多孔平衡流量计的取压装置，包括：多孔节流器1、导压管2、mems压力传感器3、信号传输线4、差压
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流量换算模块5；
6.所述多孔节流器1设置于被测流体所在管道内；
7.所述多孔节流器1的右侧面为第一侧面11，所述多孔节流器1的左侧面为第二侧面12；
8.所述mems压力传感器3设置在多孔节流器1的第一侧面11几何中心处；
9.所述导压管2设置在多孔节流器1的第二侧面12的几何中心处；
10.所述差压
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流量换算模块5设置在多孔节流器1的第一侧面11，且设置于不被任何物体覆盖的边缘区域；
11.所述mems压力传感器3和差压
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流量换算模块5通过信号传输线4连接；所述信号传输线4用于将mems压力传感器3的差压信号传递给差压
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流量换算模块5；
12.所述多孔节流器1上设有多个贯穿的函数孔13，多孔节流器1的几何中心处还设有一个贯穿的导压孔14。
13.在上述方案的基础上，所述多孔节流器1焊接于被测流体所在管道内。
14.在上述方案的基础上，所述mems压力传感器3为封装芯片，mems压力传感器3上设有第一感应孔31和第二感应孔32，所述第一感应孔31和第二感应孔32分别位于mems压力传感器3的两侧面，用于同时感应mems压力传感器3两侧的压力。
15.在上述方案的基础上，所述第二感应孔32位于mems压力传感器3的几何中心，且第一感应孔31和第二感应孔32的几何中心不在同一水平线上。
16.在上述方案的基础上，所述mems压力传感器3的第二感应孔32、导压孔14、导压管2
的几何中心处于同一水平线上。
17.在上述方案的基础上，所述导压孔14的孔径不小于第二感应孔32的孔径，导压管2的内径不小于导压孔14的孔径。
18.在上述方案的基础上，所述函数孔13均匀分布在以导压孔14中心为圆心的一个或多个圆周上，且所有函数孔13被流体所在区域覆盖。
19.在上述方案的基础上，所述mems压力传感器3、差压
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流量转换模块5和导压管2分别焊接在所述多孔节流器1上。
20.在上述方案的基础上，所述导压管2的长度不小于被测流体所在的管道直径。
21.在上述方案的基础上，所述多孔节流器1的截面积大于被测介质所在管道截面积；
22.本实用新型的有益效果是，本实用新型提供了一种多孔平衡流量计的取压装置，包括多孔节流器，所述多孔节流器设置于被测介质所在管道内，在多孔节流器第一侧面的几何中心处布置已封装的mems压力传感器，在多孔节流器的第二侧面的几何中心处布置导压管，在多孔节流器第一侧面上布置信号传输线和压力
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流量换算模块，且信号传输线连接了mems压力传感器和差压
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流量换算模块，所述多孔节流器包含多个函数孔，多孔节流器的几何中心处含有一个贯穿的导压孔。
23.本是实用新型提供的多孔平衡流量计的取压装置具有体积小，成本低，安装便捷、结构简单且可测小差压等优点，适用于多种介质的差压测量。
附图说明
24.下面结合附图和实施例对本实用新型进一步说明。
25.图1为本实施例中取压装置的结构示意图一；
26.图2为本实施例中取压装置的结构示意图二；
27.图3为本实施例的整体剖面图；
28.图4本实用新型的mems压力传感器结构示意图一；
29.图5本实用新型的mems压力传感器结构示意图二；
30.图6为本实用新型的多孔节流器示意图。
31.图中：
32.1.多孔节流器，11.第一侧面，12.第二侧面，13.函数孔，14.导压孔，2.导压管，3.mems压力传感器，31.第一感应孔，32.第二感应孔，4.信号传输线，5.差压
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流量换算模块。
具体实施方式
33.以下结合附图1～6对本实用新型作进一步详细说明。
34.本实施例提供的一种多孔平衡流量计的取压装置结构，包括：包括多孔节流器1、导压管2、mems压力传感器3、信号传输线4、差压
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流量换算模块5。
35.所述多孔节流器1的第一侧面11几何中心处布置了mems压力传感器3，所述多孔节流器1的第二侧面12几何中心处布置了导压管2；所述差压
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流量换算模块5布置在多孔节流器1的第一侧面11不被任何物体覆盖的边缘区域；信号传输线4连接mems压力传感器3和差压
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流量换算模块5。所述多孔节流器1包含多个函数孔13，多孔节流器1的几何中心处含有
一个贯穿的导压孔14。
36.在本实施例中，mems压力传感器3为封装芯片，包含第一感应孔31和第二感应孔32，可同时感应mems压力传感器3两侧的压力。第一感应孔31和第二感应孔32的几何中心不在同一水平线上，同时，第二感应孔32、导压孔14和导压管2的几何中心处于同一水平线上，且导压孔14和导压管2的孔径不小于第二感应孔32孔径。
37.函数孔13均匀分布在以多孔节流器1中心为圆心的圆周上。为了保证所取差压的稳定性，导压管2的长度不小于被测流体所在的管道直径。
38.流体从管道流经函数孔13，导压管2位于下游区域。
39.为了保护器件，多孔节流器1的截面积大于被测介质所在管道截面积，函数孔13所在的圆周被流体所在管道覆盖，差压
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流量换算模块5位于多孔节流板第一侧面11不被覆盖的边缘区域。mems压力传感器3、差压
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流量转换模块5和导压管2与多孔节流器1通过焊接连接，多孔节流器1与流体所在管道焊接连接。
40.本说明书中未作详细描述的内容属于本领域专业技术人员公知的现有技术。


技术特征：
1.一种多孔平衡流量计的取压装置，其特征在于，包括：多孔节流器(1)、导压管(2)、mems压力传感器(3)、信号传输线(4)、差压
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流量换算模块(5)；所述多孔节流器(1)设置于被测流体所在管道内；所述多孔节流器(1)的右侧面为第一侧面(11)，所述多孔节流器(1)的左侧面为第二侧面(12)；所述mems压力传感器(3)设置在多孔节流器(1)的第一侧面(11)几何中心处；所述导压管(2)设置在多孔节流器(1)的第二侧面(12)的几何中心处；所述差压
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流量换算模块(5)设置在多孔节流器(1)的第一侧面(11)，且设置于不被任何物体覆盖的边缘区域；所述mems压力传感器(3)和差压
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流量换算模块(5)通过信号传输线(4)连接；所述信号传输线(4)用于将mems压力传感器(3)的差压信号传递给差压
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流量换算模块(5)；所述多孔节流器(1)上设有多个贯穿的函数孔(13)，多孔节流器(1)的几何中心处还设有一个贯穿的导压孔(14)。2.如权利要求1所述的多孔平衡流量计的取压装置，其特征在于，所述多孔节流器(1)焊接于被测流体所在管道内。3.如权利要求1所述的多孔平衡流量计的取压装置，其特征在于，所述mems压力传感器(3)为封装芯片，mems压力传感器(3)上设有第一感应孔(31)和第二感应孔(32)，所述第一感应孔(31)和第二感应孔(32)分别位于mems压力传感器(3)的两侧面，用于同时感应mems压力传感器(3)两侧的压力。4.如权利要求3所述的多孔平衡流量计的取压装置，其特征在于，所述第二感应孔(32)位于mems压力传感器(3)的几何中心，且第一感应孔(31)和第二感应孔(32)的几何中心不在同一水平线上。5.如权利要求4所述的多孔平衡流量计的取压装置，其特征在于，所述mems压力传感器(3)的第二感应孔(32)、导压孔(14)、导压管(2)的几何中心处于同一水平线上。6.如权利要求5所述的多孔平衡流量计的取压装置，其特征在于，所述导压孔(14)的孔径不小于第二感应孔(32)的孔径，导压管(2)的内径不小于导压孔(14)的孔径。7.如权利要求1所述的多孔平衡流量计的取压装置，其特征在于，所述函数孔(13)均匀分布在以导压孔(14)中心为圆心的一个或多个圆周上，且所有函数孔(13)被流体所在区域覆盖。8.如权利要求1所述的多孔平衡流量计的取压装置，其特征在于，所述mems压力传感器(3)、差压
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流量换算模块(5)和导压管(2)分别焊接在所述多孔节流器(1)上。9.如权利要求1所述的多孔平衡流量计的取压装置，其特征在于，所述导压管(2)的长度不小于被测流体所在的管道直径。10.如权利要求1所述的多孔平衡流量计的取压装置，其特征在于，所述多孔节流器(1)的截面积大于被测流体所在管道截面积。

技术总结
本实用新型涉及一种多孔平衡流量计的取压装置，多孔平衡流量计的取压装置包括多孔节流器，多孔节流器安装于被测介质所在管道内，多孔节流器的右侧面为第一侧面，多孔节流器的左侧面为第二侧面；在多孔节流器第一侧面设有已封装的MEMS压力传感器和压力


技术研发人员：张威 赵晓东 陈广忠 孙宇 李宋 冯艳露
受保护的技术使用者：北京协同创新研究院
技术研发日：2020.11.23
技术公布日：2021/9/3