一种晶圆检查机定位装置的制作方法

1.本实用新型属于晶圆定位技术领域，具体为一种晶圆检查机定位装置。


背景技术：

2.晶圆是指硅半导体集成电路制作所用的硅晶片，由于其形状为圆形，故称为晶圆，在硅晶片上可加工制作成各种电路元件结构，而成为有特定电性功能之ic产品。
3.晶圆制造厂再把此多晶硅融解，再于融液里种入籽晶，然后将其慢慢拉出，以形成圆柱状的单晶硅晶棒，由于硅晶棒是由一颗晶面取向确定的籽晶在熔融态的硅原料中逐渐生成，此过程称为长晶，硅晶棒再经过切段，滚磨，切片，倒角，抛光，激光刻，包装后，即成为积体电路工厂的基本原料——硅晶圆片。
4.根据授权公告号cn207577679u供一种晶圆激光标记定位检查装置，包括第一支撑架、第一标签、第二标签、固定板、循环水管、回收箱、循环泵以及储水箱，所述第一支撑架安装在储存箱内部上侧，所述第一标签安装在第一支撑架前端面，所述第二标签安装在储存箱前端面下侧，该设计解决了原有晶圆检查装置没有储存功能的问题，所述固定板安装在晶圆检查装置本体内部，所述循环水管安装在固定板内部左侧，所述回收箱安装在循环水管右侧，所述循环泵安装在回收箱下端面，所述储水箱安装在循环泵下端面，该设计解决了原有晶圆检查装置内部设备散热效果不佳的问题，本实用新型结构合理，便于操作，功能性强，稳定性好，可靠性高。
5.目前的晶圆在使用前，需要进行检查，以保证晶圆质量，但是，目前的机器在对晶圆检查时，不方便对其进行定位，导致，晶圆在摆放时，容易出现位置偏差，导致检查效果大大降低。


技术实现要素：

6.本实用新型的目的在于提供一种晶圆检查机定位装置，以解决对晶圆定位的问题。
7.为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种晶圆检查机定位装置，包括底座，所述底座上固定有操作台，所述操作台上设置有条形孔，所述条形孔内滑动紧贴有限位杆，所述限位杆上固定有夹座，所述夹座上固定有硅胶垫，所述操作台上摆放有晶圆本体，所述硅胶垫与晶圆本体紧贴接触。
8.优选的，所述底座上固定有电机，电机的转轴上通过联轴器固定有螺纹杆，电机的型号为51k90gu
‑
c，电机的壳体上通过导线固定有正反转开关，正反转开关的型号为hy2
‑
8，电机通过导线插头与室内220v电源插排插接通电。
9.优选的，所述操作台上固定嵌入有轴座，所述螺纹杆与轴座转动设置，保证螺纹杆转动的稳定性。
10.优选的，所述螺纹杆上螺纹设置有螺纹套，螺纹套上铰接有连杆，能够起到一个联动效果，保证夹座移动的稳定。
11.优选的，所述连杆的数量为四个，且均匀分布设置，连杆的另一端与限位杆铰接设置，从四个方向对晶圆本体夹持，保证晶圆本体摆放的稳定。
12.优选的，所述夹座上设置有卡槽，所述硅胶垫上固定有与卡槽卡接设置的弹性卡，便于硅胶垫的拆卸清洗。
13.优选的，所述弹性卡的形状和卡槽的槽内形状均为正六边形，且弹性卡由橡胶材料制成，保证卡接的稳定性和拆卸的方便性。
14.与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：通过四个方向的夹座同时移动，能够使其对晶圆本体进行夹持定位，硅胶垫可起到一个挤压缓冲效果，避免对晶圆本体造成接触损伤，同时，硅胶垫方便拆卸清洗，保证干净度。
附图说明
15.图1为本实用新型的整体结构示意图；
16.图2为本实用新型的条形孔俯视分布示意图。
17.图中：1、底座；11、操作台；12、条形孔；13、限位杆；14、夹座；15、硅胶垫；16、晶圆本体；2、电机；21、螺纹杆；22、轴座；3、螺纹套；31、连杆；4、卡槽；41、弹性卡。
具体实施方式
18.请参阅图1，一种晶圆检查机定位装置，包括底座1，底座1上固定有操作台11，操作台11上设置有条形孔12，条形孔12内滑动紧贴有限位杆13，限位杆13上固定有夹座14，夹座14上固定有硅胶垫15，操作台11上摆放有晶圆本体16，硅胶垫15与晶圆本体16紧贴接触。
19.请参阅图1，底座1上固定有电机2，电机2的转轴上通过联轴器固定有螺纹杆21，电机2的型号为51k90gu
‑
c，电机2的壳体上通过导线固定有正反转开关，正反转开关的型号为hy2
‑
8，电机2通过导线插头与室内220v电源插排插接通电。
20.请参阅图1，操作台11上固定嵌入有轴座22，螺纹杆21与轴座22转动设置，保证螺纹杆21转动的稳定性。
21.请参阅图1，螺纹杆21上螺纹设置有螺纹套3，螺纹套3上铰接有连杆31，能够起到一个联动效果，保证夹座14移动的稳定。
22.请参阅图1和图2，连杆31的数量为四个，且均匀分布设置，连杆31的另一端与限位杆13铰接设置，从四个方向对晶圆本体16夹持，保证晶圆本体16摆放的稳定。
23.请参阅图1，夹座14上设置有卡槽4，硅胶垫15上固定有与卡槽4卡接设置的弹性卡41，便于硅胶垫15的拆卸清洗。
24.请参阅图1，弹性卡41的形状和卡槽4的槽内形状均为正六边形，且弹性卡41由橡胶材料制成，保证卡接的稳定性和拆卸的方便性。
25.本方案的工作原理是：当需要对晶圆本体16进行夹持时，将晶圆本体16摆放在操作台11上，然后接通电机2的电源，通过正反转开关启动电机2，电机2带动螺纹杆21正转或反转，从而使得螺纹套3活动。
26.通过限位杆13在条形孔12内滑动，以及连杆31两端铰接的效果，使得四个方向的夹座14可带动硅胶垫15对晶圆本体16进行夹持固定，保证位置摆放的稳定。
27.当需要更换硅胶垫15时，通过弹性卡41与卡槽4分离脱开，从而完成硅胶垫15的拆
卸清理。


技术特征：
1.一种晶圆检查机定位装置，包括底座(1)，其特征在于：所述底座(1)上固定有操作台(11)，所述操作台(11)上设置有条形孔(12)，所述条形孔(12)内滑动紧贴有限位杆(13)，所述限位杆(13)上固定有夹座(14)，所述夹座(14)上固定有硅胶垫(15)，所述操作台(11)上摆放有晶圆本体(16)，所述硅胶垫(15)与晶圆本体(16)紧贴接触。2.根据权利要求1所述的一种晶圆检查机定位装置，其特征在于：所述底座(1)上固定有电机(2)，电机(2)的转轴上通过联轴器固定有螺纹杆(21)。3.根据权利要求2所述的一种晶圆检查机定位装置，其特征在于：所述操作台(11)上固定嵌入有轴座(22)，所述螺纹杆(21)与轴座(22)转动设置。4.根据权利要求3所述的一种晶圆检查机定位装置，其特征在于：所述螺纹杆(21)上螺纹设置有螺纹套(3)，螺纹套(3)上铰接有连杆(31)。5.根据权利要求4所述的一种晶圆检查机定位装置，其特征在于：所述连杆(31)的数量为四个，且均匀分布设置，连杆(31)的另一端与限位杆(13)铰接设置。6.根据权利要求1所述的一种晶圆检查机定位装置，其特征在于：所述夹座(14)上设置有卡槽(4)，所述硅胶垫(15)上固定有与卡槽(4)卡接设置的弹性卡(41)。7.根据权利要求6所述的一种晶圆检查机定位装置，其特征在于：所述弹性卡(41)的形状和卡槽(4)的槽内形状均为正六边形，且弹性卡(41)由橡胶材料制成。

技术总结
本实用新型公开了一种晶圆检查机定位装置，包括底座，底座上固定有操作台，操作台上设置有条形孔，条形孔内滑动紧贴有限位杆，限位杆上固定有夹座，夹座上固定有硅胶垫，操作台上摆放有晶圆本体，硅胶垫与晶圆本体紧贴接触。通过四个方向的夹座同时移动，能够使其对晶圆本体进行夹持定位，硅胶垫可起到一个挤压缓冲效果，避免对晶圆本体造成接触损伤，同时，硅胶垫方便拆卸清洗，保证干净度。保证干净度。保证干净度。


技术研发人员：钟金鹏
受保护的技术使用者：苏州殷迪新科技有限公司
技术研发日：2020.12.03
技术公布日：2021/11/9