一种外延工艺腔体用冷却风机的测试固定装置的制作方法

本实用新型涉及外延工艺腔体用的冷却风机技术领域，特别是涉及一种外延工艺腔体用冷却风机的测试固定装置。

背景技术：

半导体外延工艺需要极高的温度环境，为了保证生产的安全与连续性需要使用冷却风机和空气-水热交换器来冷却工艺腔体的外壳及加热元器件。生产的连续性及重复可靠性要求所使用器件必须达到必要的技术参数。

实际生产维护中，只有在备用的冷却风机完成替换后进行工艺生产时才能通过工艺参数的反应和实时温度控制系统的数据反馈才能判断备用风机的工作是否正常，当备用风机本身有缺陷的情况的造成生产的中断，并会危及设备的安全生产。

技术实现要素：

本实用新型针对现有技术存在的问题和不足，提供一种外延工艺腔体用冷却风机的测试固定装置。

本实用新型是通过下述技术方案来解决上述技术问题的：

本实用新型提供一种外延工艺腔体用冷却风机的测试固定装置，其特点在于，其包括支架，所述支架的底部固定有底座、顶部固定有顶座，所述顶座上固定有待测冷却风机、热交换器和控制器，所述底座上固定有第一循环风道，所述第一循环风道的长度方向两侧分别固定连通有第二循环风道和第三循环风道，所述第二循环风道的顶部与穿设顶座的待测冷却风机的出风口连接，所述第三循环风道的顶部与穿设顶座的热交换器的一侧连接，所述热交换器的另一侧与待测冷却风机的进风口连接，所述待测冷却风机上设置有震动传感器，所述待测冷却风机的出风口处设置有风速传感器和风压传感器，所述控制器内集成有变频器，所述变频器、震动传感器、风速传感器和风压传感器均与控制器电连接，所述变频器与待测冷却风机电连接。

较佳地，所述第一循环风道内顶部和底部中间位置处均开设有导向槽，所述第一循环风道的一侧面上开设有导向孔，所述顶部和底部导向槽间嵌设有调节风门，所述调节风门沿着第一循环风道宽度方向可调节地穿设导向孔。

在符合本领域常识的基础上，上述各优选条件，可任意组合，即得本实用新型各较佳实例。

本实用新型的积极进步效果在于：

通过本测试固定装置，如实反应备用风机的技术参数，对备用风机维修后的测试和备用风机的状态评估提供可靠的手段，减少风机问题导致的生产停滞，并为石英工艺腔体温度控制提供技术数据。

附图说明

图1为本实用新型较佳实施例的外延工艺腔体用冷却风机的测试固定装置的结构示意图。

具体实施方式

为使本实用新型实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动的前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

如图1所示，本实施例提供一种外延工艺腔体用冷却风机的测试固定装置，包括支架1，所述支架1的底部固定有底座2、顶部固定有顶座3，所述顶座3上固定有待测冷却风机4、热交换器5和控制器6，所述底座2上固定有第一循环风道7，所述第一循环风道7的长度方向两侧分别固定连通有第二循环风道8和第三循环风道，所述第二循环风道8的顶部与穿设顶座3的待测冷却风机4的出风口连接，所述第三循环风道的顶部与穿设顶座3的热交换器5的一侧连接，所述热交换器5的另一侧与待测冷却风机4的进风口连接，所述待测冷却风机4上设置有震动传感器，所述待测冷却风机4的出风口处设置有风速传感器和风压传感器，所述控制器6内集成有变频器，所述变频器、震动传感器、风速传感器和风压传感器均与控制器6电连接，所述变频器与待测冷却风机4电连接。

而且，所述第一循环风道7内顶部和底部中间位置处均开设有导向槽，所述第一循环风道7的一侧面上开设有导向孔，所述顶部和底部导向槽间嵌设有调节风门9，所述调节风门9沿着第一循环风道宽度方向可调节地穿设导向孔。通过可调节地移动调节风门9来调节第一循环风道7的风量，从而控制待测冷却风机4的风量。

实际生产维护中为了测试备用风机的性能，保证维护的可靠性，需要一个可量化的测试平台来预先获得风机的各项技术指标，包括工作电流、风速、风压及风机本身在运行中的震动。通过数据对比可判断风机能否用于工艺生产，并对风机的维修改进提供参照。

本实用新型通过一个集成的测试固定装置提供对多种型号(电机工作电压208～480ac，额定频率50hz或60hz)的冷却风机进行测试。

本实用新型中，待测冷却风机4、第二循环风道8、第一循环风道7、第三循环风道和热交换器5构成完成通路。通过控制面板设置待测冷却风机4的工作条件及参数，控制器6控制变频器驱动待测冷却风机4运行，风速传感器检测待测冷却风机4的风速，风压传感器(如微压测试仪)检测待测冷却风机4的风压，震动传感器(如平衡震动测试仪)检测待测冷却风机4本身在不同转速下的震动情况，控制器6可以提供待测冷却风机4的电机在不同工作频率下的工作电流读数。

通过本测试固定装置，如实反应备用风机的技术参数，对备用风机维修后的测试和备用风机的状态评估提供可靠的手段，减少风机问题导致的生产停滞，并为石英工艺腔体温度控制提供技术数据。

虽然以上描述了本实用新型的具体实施方式，但是本领域的技术人员应当理解，这些仅是举例说明，本实用新型的保护范围是由所附权利要求书限定的。本领域的技术人员在不背离本实用新型的原理和实质的前提下，可以对这些实施方式做出多种变更或修改，但这些变更和修改均落入本实用新型的保护范围。

技术特征：

1.一种外延工艺腔体用冷却风机的测试固定装置，其特征在于，其包括支架，所述支架的底部固定有底座、顶部固定有顶座，所述顶座上固定有待测冷却风机、热交换器和控制器，所述底座上固定有第一循环风道，所述第一循环风道的长度方向两侧分别固定连通有第二循环风道和第三循环风道，所述第二循环风道的顶部与穿设顶座的待测冷却风机的出风口连接，所述第三循环风道的顶部与穿设顶座的热交换器的一侧连接，所述热交换器的另一侧与待测冷却风机的进风口连接，所述待测冷却风机上设置有震动传感器，所述待测冷却风机的出风口处设置有风速传感器和风压传感器，所述控制器内集成有变频器，所述变频器、震动传感器、风速传感器和风压传感器均与控制器电连接，所述变频器与待测冷却风机电连接。

2.如权利要求1所述的外延工艺腔体用冷却风机的测试固定装置，其特征在于，所述第一循环风道内顶部和底部中间位置处均开设有导向槽，所述第一循环风道的一侧面上开设有导向孔，所述顶部和底部导向槽间嵌设有调节风门，所述调节风门沿着第一循环风道宽度方向可调节地穿设导向孔。

技术总结
本实用新型公开一种外延工艺腔体用冷却风机的测试固定装置，支架的底部固定有底座、顶部固定有顶座，顶座上固定有待测冷却风机、热交换器和控制器，底座上固定有第一循环风道，第一循环风道的长度方向两侧分别固定连通有第二循环风道和第三循环风道，第二循环风道的顶部与穿设顶座的待测冷却风机的出风口连接，第三循环风道的顶部与穿设顶座的热交换器的一侧连接，热交换器的另一侧与待测冷却风机的进风口连接，待测冷却风机上设置有震动传感器，待测冷却风机的出风口处设置有风速传感器和风压传感器，控制器内集成有变频器，变频器、震动传感器、风速传感器和风压传感器均与控制器电连接，变频器与待测冷却风机电连接。

技术研发人员：林旭斌
受保护的技术使用者：上海悦匠实业有限公司
技术研发日：2020.12.29
技术公布日：2021.07.20