压力传感器密封性检测装置的制作方法

1.本实用新型涉及压力传感器检测技术领域，特别涉及压力传感器密封性检测装置。


背景技术：

2.mems压力传感器应用于汽车电子领域，主要用于测量气囊压力、燃油压力、发动机机油压力、进气管道压力及轮胎压力等，因此，mems压力传感器的密封性检测尤其重要。
3.目前，压力传感器在密封性检测的时候，由于示踪气体探测仪对示踪气体非常敏感，如果接连出现多次压力传感器泄漏，那么吸气口附近的空气中示踪气体的浓度增加，当测试下一个压力传感器时，即使下一个压力传感器没有泄漏，空气中残留的示踪气体也可能促发示踪气体探测仪报警，导致误测。


技术实现要素：

4.本实用新型的主要目的是提出一种压力传感器密封性检测装置，旨在解决示踪气体探测仪的吸气口附近空气中残留的示踪气体可能会促发示踪气体探测仪报警，导致误测的问题。
5.为实现上述目的，本实用新型提出一种压力传感器密封性检测装置，所述压力传感器内形成有气体通道，在所述气体通道的上端罩设有基板，所述基板朝向所述气体通道的一侧设有压敏元件，所述压力传感器密封性检测装置包括：
6.台架；
7.检测架，可沿上下向移动安装于所述台架；
8.示踪气体收集部件，设于所述检测架，所述示踪气体收集部件形成有收集腔，所述收集腔的顶壁形成有连通检测口，所述收集腔的底壁形成有收集口，所述收集口用于向下罩设于至所述基板上方；
9.示踪气体检测部件，包括设于所述检测架的采气部，所述采气部伸入至所述连通检测口，用以采集所述收集腔内的气体；以及，
10.排风组件，设于所述检测架，用以排出所述收集腔内的示踪气体。
11.可选地，所述示踪气体收集部件包括：
12.连接部，设于所述检测架，所述连接部形成有上下向延伸的第一腔室；以及，
13.收集部，设于所述连接部下方，所述收集部形成有上下向延伸的第二腔室，所述第二腔室的上开口对应所述第一腔室的下开口设置；
14.固定部，设于所述连接部上方，所述固定部形成有上下向延伸的第三腔室，所述第三腔室的下开口对应所述第一腔室的上开口设置；
15.其中，所述第一腔室、所述第二腔室和所述第三腔室共同构成所述收集腔，所述第二腔室的下开口构成所述收集口，所述第三腔室的上开口构成所述连通检测口，所述第三腔室的侧壁抵紧于所述采气部的外侧面设置。
16.可选地，所述固定部包括沿水平向相对设置的两个固定板，两个固定板设于所述连接部的上方，两个所述固定板的侧面夹持所述采气部的外侧面。
17.可选地，所述收集口的端面安装有环形密封垫。
18.可选地，所述收集腔的侧壁面自所述收集口向上呈内缩设置。
19.可选地，所述压力传感器密封性检测装置还包括隔离罩，所述隔离罩设于所述检测架且围设于所述收集口外，用以防止所述示踪气体扩散，所述隔离罩的侧壁形成有排气口；
20.所述排风组件包括吸风机，所述吸风机的吸风口连通所述隔离罩的排气口。
21.可选地，所述收集部为沿上下向延伸的吸气管，所述吸气管的下端伸入至所述连通检测口；
22.所述示踪气体检测部件还包括：
23.检测主体，设于所述台架；
24.传输管，一端连接于所述检测主体；以及，
25.过滤件，设于所述检测架，所述过滤件连接于所述传输管的另一端，所述吸气管的上端连接于所述过滤件，所述吸气管采集的气体经所述过滤件过滤后传输至检测主体，以检测被采集气体中所述示踪气体的浓度。
26.可选地，所述检测架和所述台架之间设有检测架驱动机构，所述检测架驱动机构包括滑台气缸，所述滑台气缸的缸体和滑台其中之一设于所述台架，另一设于所述检测架。
27.可选地，所述台架设有可沿左右向移动地第一安装架，所述检测架设于所述第一安装架。
28.可选地，所述压力传感器密封性检测装置还包括示踪气体加载部件，所述示踪气体加载部件包括示踪气体加载部，所述示踪气体加载部可沿上下向移动地设于所述台架，用于向上移动至对接所述气体通道的进气口。
29.本实用新型的技术方案提出了一种压力传感器密封性检测装置，在进行密封性检测的时候，先向气体通道内通入示踪气体，如果压力传感器没有泄漏，那么收集腔内没有示踪气体，采气部未检测到示踪气体，因此示踪气体检测部件不会报警。如果压力传感器发生泄漏，那么收集腔内会有一定浓度的示踪气体，采气部检测到示踪气体后即会报警。如果接连发生几次泄漏，或者检测时间较长，会导致收集腔内的示踪气体浓度上升而促发示踪气体检测部件报警。而在连续测试的情况下，无法判断示踪气体检测部件报警是由于正在检测的压力传感器泄漏导致，还是由于收集腔内累积的示踪气体促发导致，容易造成误测。本实用新型的压力传感器密封性检测装置包括排风组件，排风组件用以当示踪气体检测部件检测到压力传感器泄漏后，排出收集腔内的气体，以清除收集腔内的示踪气体，避免收集腔内的示踪气体累积，造成误报、误测，从而提高压力传感器密封性检测的准确性，并且能够避免因报警频繁导致停线排查耽误生产进度。
附图说明
30.为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提
下，还可以根据这些附图示出的结构获得其他的附图。
31.图1为本实用新型提供的压力传感器密封性检测装置的一实施例的结构示意图；
32.图2为图1所示的压力传感器密封性检测装置的又一角度的结构示意图；
33.图3为图1所示的压力传感器密封性检测装置中示踪气体收集部件的结构示意图；
34.图4为图3所示的示踪气体收集部件的剖视图。
35.附图标号说明：
[0036][0037]
本实用新型目的的实现、功能特点及优点将结合实施例，参照附图做进一步说明。
具体实施方式
[0038]
下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型的一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
[0039]
需要说明，若本实用新型实施例中有涉及方向性指示(诸如上、下、左、右、前、后
……
)，则该方向性指示仅用于解释在某一特定姿态(如附图所示)下各部件之间的相对位置关系、运动情况等，如果该特定姿态发生改变时，则该方向性指示也相应地随之改变。
[0040]
另外，若本实用新型实施例中有涉及“第一”、“第二”等的描述，则该“第一”、“第二”等的描述仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示其相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括至少一
个该特征。另外，全文中出现的“和/或”的含义包括三个并列的方案，以“a和/或b”为例，包括a方案、或b方案、或a和 b同时满足的方案。另外，各个实施例之间的技术方案可以相互结合，但是必须是以本领域普通技术人员能够实现为基础，当技术方案的结合出现相互矛盾或无法实现时应当认为这种技术方案的结合不存在，也不在本实用新型要求的保护范围之内。
[0041]
mems压力传感器200应用于汽车电子领域，主要用于测量气囊压力、燃油压力、发动机机油压力、进气管道压力及轮胎压力等。该压力传感器200 的结构包括外壳、上盖、基板和压敏元件；外壳形成有顶部开放的内腔，基板设于内腔中以将内腔分隔成独立的上腔室和下腔室；外壳的下端面设有气嘴，气嘴连通下腔室，气嘴的传输通道和下腔室构成气体通道，压敏元件设于基板位于下腔室的一侧；上盖盖设于内腔的顶部开口处。
[0042]
本实用新型的压力传感器密封性检测装置100，用于在粘接完包含压敏元件的基板后，安装上盖之前，检测气嘴和下腔室构成的气体通道的密封性。参见图1至图4，本实用新型的压力传感器密封性检测装置100包括台架1、检测架2、示踪气体收集部件3、示踪气体检测部件4和排风组件(图中未示出)，检测架2可沿上下向活动安装于台架1；示踪气体收集部件3设于检测架2，示踪气体收集部件3形成有收集腔31，收集腔31的顶壁形成有连通检测口311，收集腔31的底壁形成有收集口312，收集口312用于向下罩设于至基板上方；示踪气体检测部件4包括设于检测架2的采气部41，采气部41 伸入至连通检测口311内，用以采集收集腔31内的气体；排风组件设于检测架2，用以排出收集腔31内的示踪气体。
[0043]
在进行密封性检测的时候，先向气体通道内通入示踪气体，如果压力传感器200没有泄漏，那么收集腔31内没有示踪气体，采气部41未检测到示踪气体，因此示踪气体检测部件4不会报警。如果压力传感器200发生泄漏，那么收集腔31内会有一定浓度的示踪气体，采气部41检测到示踪气体后即会报警。如果接连发生几次泄漏，或者检测时间较长，会导致收集腔31内的示踪气体浓度上升而促发示踪气体检测部件4报警。而在连续测试的情况下，无法判断示踪气体检测部件4报警是由于正在检测的压力传感器200泄漏导致，还是由于收集腔31内累积的示踪气体促发导致，容易造成误测。本实用新型的压力传感器密封性检测装置100包括排风组件，排风组件用以当示踪气体检测部件4检测到压力传感器200泄漏后，排出收集腔31内的气体，以清除收集腔31内的示踪气体，避免收集腔31内的示踪气体累积，造成误报、误测，从而提高压力传感器200密封性检测的准确性，并且能够避免因报警频繁导致停线排查耽误生产进度。
[0044]
进一步地，采气部41为沿上下向延伸的采气部41，采气部41的下端伸入至连通检测口311，以采集收集腔31内的气体。示踪气体检测部件4还包括检测主体(图中未示出)、传输管(图中未示出)和过滤件42，检测主体设于台架1；传输管一端连接于检测主体；过滤件42设于检测架2，过滤件 42连接于传输管的另一端，采气部41的上端连接于过滤件42，采气部41采集的气体经过滤件42过滤以去除大颗粒物质后经传输管传输至检测主体，以检测被采集气体中示踪气体的浓度。检测架2设有沿水平向呈相对设置的两个连接板22，两个连接板22的侧壁夹持过滤件42的外侧面，以使采气部41 能够随检测架2移动。此外，本实施中，示踪气体检测部件4为氢气检测仪，示踪气体为95％的氮气和5％的氢气。
[0045]
本实用新型对于示踪气体收集部件3的具体结构不做限制，只要能形成收集腔31即可。本实用新型对于示踪气体收集部件3安装于检测架2的具体结构也不做限制，只要能
固定于检测架2，以随检测架2上下移动即可。一实施例中，示踪气体收集部件3包括收集罩，收集罩的内腔构成收集腔31，收集罩的下端口构成收集口312，用以罩设于压力传感器200外壳的内腔的上开口，收集罩的顶壁开设连通检测口311。压力传感器密封性检测装置100还包括集气罩连接杆，集气罩连接杆沿水平向延伸设置，且一端连接于(如螺纹连接)集气罩，另一端安装至检测架2。
[0046]
本实施中，参见图3，示踪气体收集部件3包括连接部33、收集部32和固定部34，连接部33设于检测架2，连接部33形成有上下向延伸的第一腔室331；收集部32设于连接部33且位于连接部33的下方，收集部32形成有上下向延伸的第二腔室321，第二腔室321的上开口对应第一腔室331的下开口设置；固定部34设于连接部33上方，固定部34形成有上下向延伸的第三腔室341，第三腔室341的下开口对应第一腔室331的上开口设置；其中，第一腔室331、第二腔室321和第三腔室341共同构成收集腔31，第二腔室321 的下开口构成收集口312，第三腔室341的上开口构成连通检测口311，第三腔室341的侧壁抵紧于采气部41的外侧面设置。本实用新型中，将固定部34 和收集部32分设连接部33的上下端面，以简化示踪气体收集部件3与检测架2的连接结构。并且，第三腔室341的侧壁抵紧于采气部41的外侧面，一方面能加强固定采气部41，另一方面能阻止压力传感器200泄漏的示踪气体从收集腔31内逃逸而导致无法被检测到，造成该压力传感器200被误判为无泄漏。
[0047]
需要说明的是，在本实施新型的其它实施例中，固定部34也可单独连接至检测架2，如在上述采用集气罩的实施例中，压力传感器密封性检测装置 100还包括采气部连接杆，采气部连接杆沿水平向延伸设置，且一端连接于采气部41(如粘接)，另一端安装至检测架2。
[0048]
进一步地，固定部34包括沿水平向相对设置的两个固定板342，两个固定板342设于连接部33，两个固定板342的侧壁夹持采气部41的外侧面以加强固定采气部41。
[0049]
进一步地，收集腔31的侧壁面自收集口312向上呈向内收缩设置，以减小收集腔31的体积，进而减少促发踪气体检测部件报警所需的示踪气体的体积，节约成本。具体地，本实施例中，第二腔室321的侧壁面自下而上呈倒锥形设置。
[0050]
此外，收集口312的端面安装有环形密封垫313，以密封抵接至压力传感器200外壳的上端面，以使内腔的示踪气体完全进入至收集腔31，避免外泄。一方面能够节约示踪气体以降低成本，另一方面由于本技术中示踪气体中含有氢气，减少示踪气体外泄也能减少空气中氢气的浓度。
[0051]
考虑到空气中氢气浓度增加会导致发生爆炸等意外，为阻止示踪气体向更大的范围扩散，本实施例中，压力传感器密封性检测装置100还包括隔离罩5，隔离罩5设于检测架2且围设于收集口312外，用以防止示踪气体扩散，隔离罩5的侧壁形成有排气口51；排风组件包括吸风机(图中未示出)，吸风机的吸风口连通隔离罩5的排气口51。隔离罩5围设于收集口312外，以阻止示踪气体向更大范围扩散，并配合使用吸风机，将氢气排向车间外的大气中，降低车间内的氢气浓度。需要说明的是，本实施例中，吸风机在示踪气体检测部件4报警后，即刻吸出隔离罩5内的气体，此时，隔离罩5的排气口51设置有两个，以在吸风机吸气时向隔离罩5内进气。在另一实施例中，吸风机在示踪气体检测部件4报警且检测架2上移脱离压力传感器200后，才吸出隔离罩5内的气体，此时，隔离罩5只需要设置一个排气口51即可。
[0052]
进一步参见图1，检测架2和台架1之间设有检测架驱动机构，用以驱动检测架2沿
上下向移动。对于检测架驱动机构的具体结构，本实用新型不做限制，一实施例中，检测架驱动机构包括丝杠螺母机构和驱动电机，其中，丝杠螺母机构包括相互配合的驱动丝杠和螺母，驱动丝杠沿上下向延伸，且可绕其轴线转动地设于台架1，螺母固定于检测架2；驱动电机安装于台架1 且驱动电机地驱动轴连接于驱动丝杠，驱动电机带动驱动丝杠转动，使滑块带动检测架2沿上下向活动。本实施例中，检测架驱动机构包括第一滑台气缸21，第一滑台气缸21的第一缸体和第一滑台其中之一设于台架1，另一设于检测架2。更进一步地，第一滑台气缸21的第一缸体设于台架1，第一滑台设于检测架2。滑台气缸的驱动更加平稳，以使示踪气体收集部件3平稳的罩设在压力传感器200上，减少对压力传感器200的冲击。
[0053]
台架1设有可沿左右向移动的第一安装架6，检测架2设于第一安装架6。具体地，第一安装架6和台架1之间还设有第二气缸11，第二气缸11的第二缸体和第二导杆其中之一设于台架1，其中之另一设于第一安装架6。本实施例中，第二气缸11的第二缸体设于台架1，第二顶杆设于第一安装架6。
[0054]
此外，本实施例中，压力传感器密封性检测装置100还包括示踪气体加载部件7，示踪气体加载部件7包括示踪气体加载部71，示踪气体加载部71 可沿上下向移动地设于台架1，用于向上移动至对接气体通道的进气口。具体地，压力传感器密封性检测装置100还包括气体加载架，气体加载架可沿上下向移动地设于台架1，示踪气体加载部71设于气体加载架，具体地，示踪气体加载部71螺纹连接于气体加载架。进一步地，气体加载架和台架1之间设有第三滑台气缸72，第三滑台气缸72的第三缸体和第三滑台其中之一设于气体加载架，其中另一设于台架1。本实施中，第三缸体设于台架1，第三滑台设于气体加载架。
[0055]
更进一步地，台架1设有可沿左右向移动的第二安装架，气体加载架设于第二安装架。具体地，第二安装架和台架1之间还设有第四气缸73，第四气缸73的第四缸体和第四导杆其中之一设于台架1，其中之另一设于第二安装架。本实施例中，第四气缸73的第四缸体设于台架1，第四顶杆设于第二安装架。
[0056]
此外，示踪气体加载部件7还气罐(图中未示出)和气管(图中未示出)，气罐通过气管连接至示踪气体加载部71，以向压力传感器200内通气。
[0057]
需要说明的是，本实用新型中，示踪气体加载部件7可以集成在本技术的压力传感器密封性检测装置100中，也可单独配备。
[0058]
以上所述仅为本实用新型的优选实施例，并非因此限制本实用新型的专利范围，凡是在本实用新型的实用新型构思下，利用本实用新型说明书及附图内容所作的等效结构变换，或直接/间接运用在其他相关的技术领域均包括在本实用新型的专利保护范围内。