一种用于扫描电子显微镜中的样品载物台的制作方法

1.本实用新型涉及到扫描电镜技术领域，特别涉及一种用于扫描电子显微镜中的样品载物台。


背景技术：

2.扫描电镜是一种电子光学显像仪器，采用钨丝发射极细高能电子束，再经过电磁聚焦来扫描样品表面，光束与样品之间相互作用，激发各种物理信息，对这些信息收集，放大再成像以达到对物质微观形貌表征的目的。
3.随着扫描电镜技术的发展，电镜的功能越来越多样化，可用扫描电镜观测的样品种类也来越丰富，更复杂的五轴运动平台的出现，可以使得样品在观测是有一个适当的倾斜角度，使形状不规则的样品表面二次电子的产率增加，探测器收集效率大大提升，从而大幅的提升了样品成像质量。
4.一般制样时样品会通过导电胶固定在标准凹槽钉型样品托（例如蔡司型号为agg301的样品托）上，再将样品托插入样品台圆孔内进行观测，普通样品台倾斜角度时，样品托易从中滑落或位置变动，使得观测到的样品图像模糊，不真实。
5.一般普通样品台为圆形，并且再侧面打螺纹孔来拧螺丝固定样品台，每次安装样品托时，需要逐个拧紧，降低效率，而螺纹孔深度无法做到很深，这样极大的限制了样品台尺寸，扫描电镜每次在观测样品时，都需要抽到一定真空，换样时，需要真空放气，停止分子泵，需要10分钟左右时间，样品台尺寸小，限制了每次观测样品最大数量，极大的降低了观测效率。


技术实现要素：

6.针对现有技术的不足，本实用新型提供了一种用于扫描电子显微镜中的样品载物台，以解决原有结构样品托安装固定时间长，样品台尺寸小，观测效率底的问题。
7.为实现上述目的，本实用新型采取的技术方案为：一种用于扫描电子显微镜中的样品载物台，包括基台和样品托，所述基台上设有多个支柱孔和紧固沉头螺丝孔，所述基台的底面设有多个长条放置槽，所述长条放置槽内放置有短款长条和长款长条，所述短款长条和长款长条通过紧固沉头螺丝固定在基台上，所述短款长条和长款长条的侧面对应支柱孔设有波珠螺丝孔，所述波珠螺丝孔内固定有波珠螺丝，所述样品托的底部固定有样品托支柱，所述样品托支柱插在支柱孔内，所述样品托支柱的侧面通过波珠螺丝压紧固定在支柱孔内。
8.优选的所述基台的中部设有基台安装孔。
9.优选的所述基台的形状为圆形、正方形、矩形、菱形、椭圆形、三角形或梯形。
10.优选的所述基台安装孔的个数为四个。
11.本实用新型涉及的一种用于扫描电子显微镜中的样品载物台具有可靠性强、固定牢固、装夹拔插非常方便的样品台结构，同时基台1结构可最大程度的增加样品托数量，并
且基台和样品托尺寸和形状可根据扫描电镜的腔体尺寸任意更改，不受螺纹孔深度限制，样品托的样品托支柱插在支柱孔内，样品托支柱的侧面通过波珠螺丝11压紧固定在支柱孔内，这样一次性可观测的样品数量大大提升。该用于扫描电子显微镜中的样品载物台结构新颖，简单高效，样品托固定方便快捷，大大提高了扫描电镜的工作效率。
附图说明
12.图1为本实用新型一种用于扫描电子显微镜中的样品载物台的结构示意图一；
13.图2为本实用新型一种用于扫描电子显微镜中的样品载物台的结构示意图二；
14.图3为本实用新型一种用于扫描电子显微镜中的样品载物台的内部结构示意图一；
15.图4为本实用新型一种用于扫描电子显微镜中的样品载物台的内部结构示意图二；
16.图中：1、基台；2、样品托；3、样品托支柱；4、支柱孔；5、基台安装孔；6、长条放置槽；7、短款长条；8、长款长条；9、紧固沉头螺丝；10、波珠螺丝孔；11、波珠螺丝；12、紧固沉头螺丝孔。
具体实施方式
17.为使本实用新型实现的技术手段、创作特征、达成目的与功效易于明白了解，下面结合具体实施方式，进一步阐述本实用新型。
18.如图1-4所示，一种用于扫描电子显微镜中的样品载物台，包括基台1和样品托2，所述基台1上设有多个支柱孔4和紧固沉头螺丝孔12，所述基台1的底面设有多个长条放置槽6，所述长条放置槽6内放置有短款长条7和长款长条8，所述短款长条7和长款长条8通过紧固沉头螺丝9固定在基台1上，所述短款长条7和长款长条8的侧面对应支柱孔4设有波珠螺丝孔10，所述波珠螺丝孔10内固定有波珠螺丝11，所述样品托2的底部固定有样品托支柱3，所述样品托支柱3插在支柱孔4内，所述样品托支柱3的侧面通过波珠螺丝11压紧固定在支柱孔4内，所述基台1的中部设有基台安装孔5，所述基台1的形状为圆形，所述基台安装孔5的个数为四个。
19.本实用新型涉及的一种用于扫描电子显微镜中的样品载物台具有可靠性强、固定牢固、装夹拔插非常方便的样品台结构，同时基台1结构可最大程度的增加样品托数量，并且基台1和样品托2尺寸和形状可根据扫描电镜的腔体尺寸任意更改，不受螺纹孔深度限制，样品托2的样品托支柱3插在支柱孔4内，样品托支柱3的侧面通过波珠螺丝11压紧固定在支柱孔4内，这样一次性可观测的样品数量大大提升。该用于扫描电子显微镜中的样品载物台结构新颖，简单高效，样品托固定方便快捷，大大提高了扫描电镜的工作效率。
20.需要说明的是，在本文中，诸如第一和第二（一号、二号）等之类的关系术语仅仅用来将一个实体或者操作与另一个实体或操作区分开来，而不一定要求或者暗示这些实体或操作之间存在任何这种实际的关系或者顺序。而且，术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含，从而使得包括一系列要素的过程、方法、物品或者设备不仅包括那些要素，而且还包括没有明确列出的其他要素，或者是还包括为这种过程、方法、物品或者设备所固有的要素。在没有更多限制的情况下，由语句“包括一个
……”
限定的要素，并
不排除在包括所述要素的过程、方法、物品或者设备中还存在另外的相同要素。
21.以上显示和描述了本实用新型的基本原理和主要特征和本实用新型的优点。本行业的技术人员应该了解，本实用新型不受上述实施例的限制，上述实施例和说明书中描述的只是说明本实用新型的原理，在不脱离本实用新型精神和范围的前提下，本实用新型还会有各种变化和改进，这些变化和改进都落入要求保护的本实用新型范围内。本实用新型要求保护范围由所附的权利要求书及其等效物界定。


技术特征：
1.一种用于扫描电子显微镜中的样品载物台，包括基台（1）和样品托（2），其特征在于：所述基台（1）上设有多个支柱孔（4）和紧固沉头螺丝孔（12），所述基台（1）的底面设有多个长条放置槽（6），所述长条放置槽（6）内放置有短款长条（7）和长款长条（8），所述短款长条（7）和长款长条（8）通过紧固沉头螺丝（9）固定在基台（1）上，所述短款长条（7）和长款长条（8）的侧面对应支柱孔（4）设有波珠螺丝孔（10），所述波珠螺丝孔（10）内固定有波珠螺丝（11），所述样品托（2）的底部固定有样品托支柱（3），所述样品托支柱（3）插在支柱孔（4）内，所述样品托支柱（3）的侧面通过波珠螺丝（11）压紧固定在支柱孔（4）内。2.根据权利要求1所述的一种用于扫描电子显微镜中的样品载物台，其特征在于：所述基台（1）的中部设有基台安装孔（5）。3.根据权利要求1所述的一种用于扫描电子显微镜中的样品载物台，其特征在于：所述基台（1）的形状为圆形、正方形、矩形、菱形、椭圆形、三角形或梯形。4.根据权利要求2所述的一种用于扫描电子显微镜中的样品载物台，其特征在于：所述基台安装孔（5）的个数为四个。

技术总结
本实用新型公开了一种用于扫描电子显微镜中的样品载物台，该用于扫描电子显微镜中的样品载物台，包括基台和样品托，基台上设有多个支柱孔和紧固沉头螺丝孔。该用于扫描电子显微镜中的样品载物台具有可靠性强、固定牢固、装夹拔插非常方便的样品台结构，同时基台1结构可最大程度的增加样品托数量，并且基台和样品托尺寸和形状可根据扫描电镜的腔体尺寸任意更改，不受螺纹孔深度限制，样品托的样品托支柱插在支柱孔内，样品托支柱的侧面通过波珠螺丝11压紧固定在支柱孔内，这样一次性可观测的样品数量大大提升。该用于扫描电子显微镜中的样品载物台结构新颖，简单高效，样品托固定方便快捷，大大提高了扫描电镜的工作效率。大大提高了扫描电镜的工作效率。大大提高了扫描电镜的工作效率。


技术研发人员：郭云飞 戴晓鹏 赫松龄 贺羽 张伟
受保护的技术使用者：无锡量子感知技术有限公司
技术研发日：2021.08.05
技术公布日：2022/4/29