1.本实用新型涉及半导体生产技术领域,尤其涉及一种用于后膜烧成的排风监测装置。
背景技术:2.在热敏打印片这种半导体产品的生产过程中,在金浆印刷后高温烧成这个工艺生产过程中,浆料中的有机物、氧化物等会慢慢挥发,由设备排风口,经由排风管道由排风机抽出,并排放到大气中。这个排风的风速变化,风量无法测量,且不可控,经常造成因为排风变化导致的产品排胶不充分或过分排胶,造成产品不良现象。
技术实现要素:3.本实用新型的目的在于提供一种用于后膜烧成的排风监测装置,其通过对排风管道内的风速进行监控,做到可视、可追踪、可精确调整,从而有效提高良品率的特点。
4.为了解决上述技术问题,本实用新型通过下述技术方案得以解决:
5.一种用于后膜烧成的排风监测装置,包括抽风机,抽风机的输出端连接有排风管道,排风管道的输出端连接有排风口,排风口对应设有烧成炉,所述排风管道上设有风速探头,风速探头一端电连接有风速仪,风速仪一端电连接有模拟量采集模块,模拟量采集模块电连接有电源模块和控制模块。
6.优选的,所述控制模块上设有数据存储模块。
7.进一步优选的,所述控制模块上设有usb接口,所述数据存储模块为插接于usb接口的u盘。
8.进一步优选的,所述电源模块为开关电源,控制模块为触摸屏。
9.一种用于后膜烧成的排风监测装置
10.本实用新型有益效果:包括抽风机,抽风机的输出端连接有排风管道,排风管道的输出端连接有排风口,排风口对应设有烧成炉,所述排风管道上设有风速探头,风速探头一端电连接有风速仪,风速仪一端电连接有模拟量采集模块,模拟量采集模块电连接有电源模块和控制模块,本实用新型通过在排风管道内设置风速监控系统,对风速进行实时监控,做到可视、可追踪、可精确调整,从而有效提高良品率。
附图说明
11.图1是本实用新型的结构示意图。
具体实施方式
12.下面结合附图与实施例对本实用新型作进一步详细描述。
13.如图1所示,一种用于后膜烧成的排风监测装置,包括抽风机1,抽风机1 的输出端连接有排风管道2,排风管道2的输出端连接有排风口3,排风口3对应设有烧成炉4,所述排
风管道2上设有风速探头5,风速探头5一端电连接有风速仪6,风速仪6一端电连接有模拟量采集模块7,模拟量采集模块7电连接有电源模块和控制模块,所述控制模块上设有数据存储模块,所述控制模块上设有usb接口,所述数据存储模块为插接于usb接口的u盘8,所述电源模块为开关电源9,控制模块为触摸屏10,本实用新型通过在排风管道2内设置风速监控系统,对风速进行实时监控,做到可视、可追踪、可精确调整,从而有效提高约10-15%的良品率。
14.本实用新型使用时在排风管道2上打孔,把风速探头5固定在排风管道2 内,注意探头方向与风向垂直,再把风速探头5连接到风速仪6上,通过开关电源9给整个系统供电,风速仪6的模拟量信号输出到模拟量采集模块7,模拟量的电压信号转换成数字信号,模拟量采集模块7输出的数字信号连接到触摸屏10,把转换的数字信号传送到触摸屏10,在触摸屏10上插上u盘8,每5分钟提取一次排风风速数据,保存在u盘8内,定期取出u盘8内的数据,对排风风速进行实时分析、控制。
15.以上内容仅为本实用新型的较佳实施例,对于本领域的普通技术人员,依据本实用新型的思想,在具体实施方式及应用范围上均会有改变之处,本说明书内容不应理解为对本实用新型的限制。
技术特征:1.一种用于后膜烧成的排风监测装置,其特征在于:包括抽风机,抽风机的输出端连接有排风管道,排风管道的输出端连接有排风口,排风口对应设有烧成炉,所述排风管道上设有风速探头,风速探头一端电连接有风速仪,风速仪一端电连接有模拟量采集模块,模拟量采集模块电连接有电源模块和控制模块。2.根据权利要求1所述的一种用于后膜烧成的排风监测装置,其特征在于:所述控制模块上设有数据存储模块。3.根据权利要求2所述的一种用于后膜烧成的排风监测装置,其特征在于:所述控制模块上设有usb接口,所述数据存储模块为插接于usb接口的u盘。4.根据权利要求1所述的一种用于后膜烧成的排风监测装置,其特征在于:所述电源模块为开关电源,控制模块为触摸屏。
技术总结本实用新型涉及一种用于后膜烧成的排风监测装置,包括抽风机,抽风机的输出端连接有排风管道,排风管道的输出端连接有排风口,排风口对应设有烧成炉,所述排风管道上设有风速探头,风速探头一端电连接有风速仪,风速仪一端电连接有模拟量采集模块,模拟量采集模块电连接有电源模块和控制模块,本实用新型通过在排风管道内设置风速监控系统,对风速进行实时监控,做到可视、可追踪、可精确调整,从而有效提高良品率。提高良品率。提高良品率。
技术研发人员:王共海 刘善政 王立华 李国春 蔡小辉 于永辉
受保护的技术使用者:湖南凯通电子有限公司
技术研发日:2021.09.18
技术公布日:2022/7/25