一种适用于半导体芯片测试系统的探针夹具的制作方法

1.本实用新型涉及半导体光电子技术领域，特别涉及一种适用于半导体芯片测试系统的探针夹具。


背景技术：

2.一个完整的半导体芯片的生产工艺大致包括半导体材料生长、外延结构表征、芯片工艺、封装和性能测试等环节，其中性能测试是半导体芯片的重要生产环节，对芯片产品最终的性能、质量和可靠性都有重大的影响。
3.目前，诸如光电探测器（pd）芯片和垂直腔面发射激光器（vcsel）芯片等光通讯芯片的测试设备在更换探针时，需要用镊子手动夹取探针后，再放入测试设备探针针座中，期间拿镊子夹取芯粒的手必须保持不动，否则探针无法进行固定。但是由于探针造价昂贵且为精密元器件，其体积微小极易受损，故在手动换针过程中为防止探针受损需要小心翼翼，操作极其不便，并且更换效率极低。


技术实现要素：

4.本实用新型提供一种适用于半导体芯片测试系统的探针夹具，其主要目的在于解决现有半导体芯片测试设备的手动换针方式存在的操作不便，效率低下等问题。
5.本实用新型采用如下技术方案：
6.一种适用于半导体芯片测试系统的探针夹具，包括支架和探针固定器；所述探针固定器可调节地设置于所述支架，并且探针固定器设有用于夹持探针的夹持部。
7.进一步，所述探针固定器包括壳体和活动杆，所述活动杆的左端可左右移动地设置于所述壳体内，右端延伸至壳体外部，并设有一卡钩；所述卡钩与壳体之间形成所述夹持部。
8.更进一步，还包括驱动组件；所述驱动组件包括活动帽盖和弹簧，所述活动帽盖固定连接于所述活动杆，并通过所述弹簧可左右移动地设置于所述壳体左端。
9.再进一步，所述活动杆包括螺纹连接的第一杆体和第二杆体，所述第一杆体固定连接于所述活动帽盖，所述第二杆体设有所述卡钩；所述壳体右端可拆卸地设有一固定帽盖，该固定帽盖与卡钩之间形成所述夹持部。
10.进一步，所述支架包括底座、连接杆和夹爪，所述连接杆的一端固设于所述底座，另一端可转动地设置有用于夹持探针固定器的所述夹爪。
11.更进一步，所述连接杆包括伸缩杆、弯折管和球销，所述弯折管的一端通过伸缩杆连接于所述底座，另一端通过球销连接于所述夹爪。
12.更进一步，所述底座为磁吸底座。
13.和现有技术相比，本实用新型产生的有益效果在于：
14.本实用新型的探针夹具包括支架和探针固定器，需要更换探针时，用探针固定器夹持探针，并将支架固定于半导体芯片测试设备的探针座旁侧即可进行更换，操作简单方
便，有效提高了探针的更换速率，并且能避免因人为因素而造成的探针损伤，充分降低了测试成本。
附图说明
15.图1为本实用新型的结构示意图。
16.图2为本实用新型中探针固定器的结构示意图。
17.图3为本实用新型中探针固定器的截面示意图一。
18.图4为本实用新型中探针固定器的截面示意图二。
具体实施方式
19.下面参照附图说明本实用新型的具体实施方式。为了全面理解本实用新型，下面描述到许多细节，但对于本领域技术人员来说，无需这些细节也可实现本实用新型。
20.参照图1至图4，一种适用于半导体芯片测试系统的探针夹具，包括支架1和探针固定器2；探针固定器2可调节地设置于支架1，并且探针固定器2设有用于夹持探针的夹持部20。需要更换探针时，用探针固定器2夹持探针，并将支架1固定于半导体芯片测试设备的探针座旁侧即可进行更换，操作简单方便，有效提高了探针的更换速率，并且能避免因人为因素而造成的探针损伤，充分降低了测试成本。
21.参照图1至图4，探针固定器2包括壳体21和活动杆22，活动杆22的左端可左右移动地设置于壳体21内，右端延伸至壳体21外部，并设有一卡钩220；卡钩220与壳体21之间形成夹持部20。探针固定器2还包括用于驱动活动杆22左右移动的驱动组件，具体地，驱动组件包括活动帽盖23和弹簧24，活动帽盖23固定连接于活动杆22，并通过弹簧24可左右移动地设置于壳体21左端。通过按压活动帽盖23可使得活动杆22向右伸出从而打开夹持部20；松开活动帽盖23后，活动杆22在弹簧24的弹力作用下向左缩回，从而将探针夹持固定于夹持部20中。由此可知，本实用新型的探针固定器2不仅结构简单，操作方便，而且使用灵活，可适用于夹持各种不同规格的探针，实用性强。
22.参照图1至图4，壳体21左端设有一环形凸台211，活动帽盖23可左右移动地设置于环形凸台211内。设置环形凸台211一来能够起到限位的作用，使得活动帽盖23在设定的行程内往复运动，防止脱出或错位，二来可起到手持部的作用，便于操作人员手持探针固定器2。
23.参照图1至图4，活动杆22包括螺纹连接的第一杆体221和第二杆体222，第一杆体221固定连接于活动帽盖23，第二杆体222设有卡钩220；壳体21右端可拆卸地设有一固定帽盖25，该固定帽盖25与卡钩220之间形成夹持部20。如此设计可便于实现第二杆体222的拆卸与更换，当第二杆体222有受损或者需要针对探针更换不同结构的卡钩220时，可先将固定帽盖25拆下，再拆开第二杆体222进行更换即可，操作简单方便。
24.参照图1和图2，支架1包括底座11、连接杆12和夹爪13，连接杆12的一端固设于底座11，另一端可转动地设置有用于夹持探针固定器2的夹爪13。夹爪13可采用现有技术中的任一种夹持机构，只要能便于实现探针固定器2的夹持固定和拆卸即可，其具体结构在此不做限定。
25.参照图1和图2，连接杆12包括伸缩杆121、弯折管122和球销123，弯折管122的一端
通过伸缩杆121连接于底座11，另一端通过球销123连接于夹爪13。优选地，弯折管122可选用柔性金属弯折管。如此设计可灵活调节探针固定器2的角度位置，使探针刚好处于测试设备的探针座处，以便于进行探针更换。
26.参照图1和图2，作为优选方案：底座11为磁吸底座，在使用过程中可将底座11吸附固定在机台任意平整台面，方便操作人员作业。
27.需要说明的是，本实施例所提及的“左”和“右”等方位词仅是基于说明书附图的状态方位的表述，并不代表唯一的方位限定。
28.上述仅为本实用新型的具体实施方式，但本实用新型的设计构思并不局限于此，凡利用此构思对本实用新型进行非实质性的改动，均应属于侵犯本实用新型保护范围的行为。


技术特征：
1.一种适用于半导体芯片测试系统的探针夹具，其特征在于：包括支架和探针固定器；所述探针固定器可调节地设置于所述支架，并且探针固定器设有用于夹持探针的夹持部；所述探针固定器包括壳体和活动杆，所述活动杆的左端可左右移动地设置于所述壳体内，右端延伸至壳体外部，并设有一卡钩；所述卡钩与壳体之间形成所述夹持部。2.如权利要求1所述的一种适用于半导体芯片测试系统的探针夹具，其特征在于：还包括驱动组件；所述驱动组件包括活动帽盖和弹簧，所述活动帽盖固定连接于所述活动杆，并通过所述弹簧可左右移动地设置于所述壳体左端。3.如权利要求2所述的一种适用于半导体芯片测试系统的探针夹具，其特征在于：所述活动杆包括螺纹连接的第一杆体和第二杆体，所述第一杆体固定连接于所述活动帽盖，所述第二杆体设有所述卡钩；所述壳体右端可拆卸地设有一固定帽盖，该固定帽盖与卡钩之间形成所述夹持部。4.如权利要求1所述的一种适用于半导体芯片测试系统的探针夹具，其特征在于：所述支架包括底座、连接杆和夹爪，所述连接杆的一端固设于所述底座，另一端可转动地设置有用于夹持探针固定器的所述夹爪。5.如权利要求4所述的一种适用于半导体芯片测试系统的探针夹具，其特征在于：所述连接杆包括伸缩杆、弯折管和球销，所述弯折管的一端通过伸缩杆连接于所述底座，另一端通过球销连接于所述夹爪。6.如权利要求4所述的一种适用于半导体芯片测试系统的探针夹具，其特征在于：所述底座为磁吸底座。

技术总结
本实用新型公开了一种适用于半导体芯片测试系统的探针夹具，涉及半导体光电子技术领域，包括支架和探针固定器，探针固定器可调节地设置于支架，并且探针固定器设有用于夹持探针的夹持部。需要更换探针时，用探针固定器夹持探针，并将支架固定于半导体芯片测试设备的探针座旁侧即可进行更换，操作简单方便，有效提高了探针的更换速率，并且能避免因人为因素而造成的探针损伤，充分降低了测试成本。充分降低了测试成本。充分降低了测试成本。


技术研发人员：洪斌
受保护的技术使用者：福建慧芯激光科技有限公司
技术研发日：2021.09.23
技术公布日：2021/10/26