光测定装置的制作方法

本公开涉及光测定装置。

背景技术：

1、存在通过脉冲传播方式、三角测距方式、共焦方式、白光干涉方式、或者波长扫描干涉方式等方式来测定距对象物的距离的光测距方法。这些方式中的白光干涉方式和波长扫描干涉方式等是使用光的干涉现象的干涉方式。在干涉方式中，将从光源射出的光分支为测定光和参照光，使测定光在对象物上反射的光即反射光与参照光干涉，基于反射光与参照光相互增强的条件来测定距对象物的距离。

2、例如，专利文献1所记载的光学的测定装置使用了光的干涉现象。通过分束器将频率调制后的半导体激光器的输出光分为两部分，将一方设为参照光，将另一方设为探测光。探测光经由光环形器向对象物照射。来自对象物的散射光经由光环形器被引导至分束器，对散射光与参照光进行合波，由光检测器接收光。在频率调制后的参照光与散射光之间，存在与距对象物的距离相应的时间差，因此，产生频率差。在光检测器的输出中产生与频率差对应的拍频信号。

3、现有技术文献

4、专利文献

5、专利文献1：日本特开2020-85723号公报(第8页0053，图1)

技术实现思路

1、发明要解决的问题

2、专利文献1所记载的光学的测定装置对散射光与参照光进行合波而产生拍频信号。但是，在距对象物的距离大幅变动的情况下，参照光与散射光的光路长度差变大，因此，存在不产生拍频信号而无法测距这样的问题。

3、本发明是为了解决如上问题而完成的，其目的在于，即便在距对象物的距离大幅变动的情况下，也能够测定距对象物的距离。

4、用于解决问题的手段

5、光测定装置具备：分支部，其将光分支为参照光和测定光；调整部，其将参照光分支为光路长度各不相同的多个参照光；干涉部，其从反射光和多个参照光中对两个光进行合波，得到干涉光，该反射光是将测定光照射到对象物而反射的光；以及处理部，其根据干涉光的频率，计算光路长度差，光测定装置计算多个参照光的光路长度差。

6、发明的效果

7、即便在距对象物的距离大幅变动的情况下，也能够测定距对象物的距离。

技术特征：

1.一种光测定装置，其中，

2.根据权利要求1所述的光测定装置，其中，

3.根据权利要求1或2所述的光测定装置，其中，

4.根据权利要求3所述的光测定装置，其中，

5.根据权利要求1至4中的任意一项所述的光测定装置，其中，

6.根据权利要求1至4中的任意一项所述的光测定装置，其中，

技术总结
本发明的光测定装置(100)是使用光来测定距对象物(14)的距离的测距装置，具备：分支部(4)，其将光分支为参照光和测定光；调整部(9)，其将参照光分支为光路长度各不相同的多个参照光；干涉部(9)，其从反射光和多个参照光中对两个光进行合波，得到干涉光，该反射光是将测定光照射到对象物(14)而反射的光；以及处理部(13)，其根据干涉光的频率计算光路长度差，该光测定装置计算多个参照光的光路长度差，由此，即便在距对象物(14)的距离大幅变动的情况下，也能够测定距对象物(14)的距离。

技术研发人员：山内隆典,西冈隼也,后藤广树,铃木巨生
受保护的技术使用者：三菱电机株式会社
技术研发日：
技术公布日：2024/1/16