悬臂式探针卡装置及其对焦型探针的制作方法

本发明涉及一种探针卡，尤其涉及一种悬臂式探针卡装置及其对焦型探针。

背景技术：

1、现有悬臂式探针卡包含有一座体及固定于所述座体的多个悬臂探针，并且每个所述悬臂探针包含有一针身段及大致垂直相连于所述针身段的一测试段。然而，由于所述测试段的一针尖邻近于所述针身段，并且所述针尖的尺寸过小(如：小于5微米)，因而容易使得检测设备误判所述针尖的位置(如：靠近所述针尖的所述针身段部位产生反光，将影响所述针尖的对焦)。

2、于是，本发明人认为上述缺陷可改善，乃特潜心研究并配合科学原理的运用，终于提出一种设计合理且有效改善上述缺陷的本发明。

技术实现思路

1、本发明实施例的目的在于提供一种悬臂式探针卡装置及其对焦型探针，其能有效地改善现有悬臂式探针卡所可能产生的缺陷。

2、本发明实施例公开一种悬臂式探针卡装置，其包括：一基板；以及多个对焦型探针，固定于基板，并且每个对焦型探针包含有：一焊接段，具有位于相反侧的一第一端与一第二端，并且第一端焊接于基板；一测试段，其与焊接段在一配置方向上呈间隔地设置，并且测试段具有一针尖及位于相反侧的一外边缘与一内边缘；两个外弹性臂，各具有两个端部，其分别连接焊接段的第二端与测试段的内边缘，并且两个外弹性臂彼此间隔地排列；及一对焦部，相连于内边缘、并位于针尖与两个外弹性臂之间；其中，对焦部于远离两个外弹性臂的一侧形成有多个对焦点；其中，于每个对焦型探针之中，针尖与多个对焦点能于一检测设备的观测作业中各形成有一观测点位，用以得知针尖的位置。

3、优选地，于每个对焦型探针之中，针尖于配置方向上具有不大于5微米的一宽度，并且针尖与相邻近的一个对焦点于配置方向上相隔有介于100微米～400微米的一预设距离。

4、优选地，于每个对焦型探针之中，对焦部的多个对焦点具有不同的外形，用以于检测设备的观测作业中形成有不同尺寸的观测点位。

5、优选地，针尖相较于内边缘更为邻近于外边缘，并且内边缘在针尖及相邻近的一个对焦点之间形成有一缺口。

6、优选地，每个对焦型探针进一步包含有位于两个外弹性臂之间的至少一个内弹性臂，并且至少一个内弹性臂的两端分别连接于焊接段的第二端与测试段的内边缘。

7、优选地，至少一个内弹性臂具有一预设厚度，其等同于每个外弹性臂的任一个端部的厚度。

8、优选地，两个外弹性臂的至少其中之一的厚度自两个端部朝彼此靠近的方向呈渐增状。

9、优选地，两个外弹性臂的至少其中之一的厚度自两个端部朝彼此靠近的方向呈渐缩状。

10、优选地，于每个对焦型探针之中，远离内边缘的对焦部的一端是相连于相邻近的一个外弹性臂，以共同包围形成有一封闭空间。

11、本发明实施例也公开一种悬臂式探针卡装置的对焦型探针，其包括：一焊接段，具有位于相反侧的一第一端与一第二端，并且第一端用于焊接在一基板；一测试段，其与焊接段在一配置方向上呈间隔地设置，并且测试段具有一针尖及位于相反侧的一外边缘与一内边缘；两个外弹性臂，各具有两个端部，其分别连接焊接段的第二端与测试段的内边缘，并且两个外弹性臂彼此间隔地排列；以及一对焦部，相连于内边缘、并位于针尖与两个外弹性臂之间；其中，对焦部于远离两个外弹性臂的一侧形成有多个对焦点。

12、综上所述，本发明实施例所公开的悬臂式探针卡装置及其对焦型探针，能通过所述对焦部的配置(如：所述对焦部相连于所述内边缘、并位于所述针尖与两个所述外弹性臂之间，所述对焦部于远离两个所述外弹性臂的一侧形成有多个所述对焦点)，进而能够有效地降低所述针尖的位置被所述检测设备误判的机率。

13、为能更进一步了解本发明的特征及技术内容，请参阅以下有关本发明的详细说明与附图，但是此等说明与附图仅用来说明本发明，而非对本发明的保护范围作任何的限制。

技术特征：

1.一种悬臂式探针卡装置，其特征在于，所述悬臂式探针卡装置包括：

2.依据权利要求1所述的悬臂式探针卡装置，其特征在于，于每个所述对焦型探针之中，所述针尖于所述配置方向上具有不大于5微米的一宽度，并且所述针尖与相邻近的一个所述对焦点于所述配置方向上相隔有介于100微米～400微米的一预设距离。

3.依据权利要求2所述的悬臂式探针卡装置，其特征在于，于每个所述对焦型探针之中，所述对焦部的多个所述对焦点具有不同的外形，用以于所述检测设备的所述观测作业中形成有不同尺寸的所述观测点位。

4.依据权利要求1所述的悬臂式探针卡装置，其特征在于，所述针尖相较于所述内边缘更为邻近于所述外边缘，并且所述内边缘在所述针尖及相邻近的一个所述对焦点之间形成有一缺口。

5.依据权利要求1所述的悬臂式探针卡装置，其特征在于，每个所述对焦型探针进一步包含有位于两个所述外弹性臂之间的至少一个内弹性臂，并且至少一个所述内弹性臂的两端分别连接于所述焊接段的所述第二端与所述测试段的所述内边缘。

6.依据权利要求5所述的悬臂式探针卡装置，其特征在于，至少一个所述内弹性臂具有一预设厚度，其等同于每个所述外弹性臂的任一个所述端部的厚度。

7.依据权利要求6所述的悬臂式探针卡装置，其特征在于，两个所述外弹性臂的至少其中之一的厚度自两个所述端部朝彼此靠近的方向呈渐增状。

8.依据权利要求6所述的悬臂式探针卡装置，其特征在于，两个所述外弹性臂的至少其中之一的厚度自两个所述端部朝彼此靠近的方向呈渐缩状。

9.依据权利要求1所述的悬臂式探针卡装置，其特征在于，于每个所述对焦型探针之中，远离所述内边缘的所述对焦部的一端是相连于相邻近的一个所述外弹性臂，以共同包围形成有一封闭空间。

10.一种悬臂式探针卡装置的对焦型探针，其特征在于，所述悬臂式探针卡装置的对焦型探针包括：

技术总结
本发明公开一种悬臂式探针卡装置及其对焦型探针。所述对焦型探针包含一焊接段、一测试段、彼此间隔地设置的两个外弹性臂及一对焦部。所述测试段与所述焊接段在一配置方向上呈间隔地设置，并且所述测试段具有一针尖及分别位于所述针尖相反两侧的一外边缘与一内边缘。每个所述外弹性臂具有两个端部，其分别连接所述焊接段与所述测试段的所述内边缘。所述对焦部相连于所述测试段的所述内边缘、并位于所述针尖与两个所述外弹性臂之间。其中，所述对焦部于远离两个所述外弹性臂的一侧形成有多个对焦点。据此，所述对焦型探针能通过所述对焦部的配置，而能够有效地降低所述针尖的位置被误判的机率。

技术研发人员：苏伟志,曾照晖,郑皓严,赖融暘
受保护的技术使用者：台湾中华精测科技股份有限公司
技术研发日：
技术公布日：2024/1/16