一种改良型扫描电镜喷金载物台及喷金仪的制作方法

1.本发明涉及喷金设备技术领域，具体是指一种改良型扫描电镜喷金载物台及喷金仪。


背景技术：

2.研究煤、岩矿的孔隙、裂隙等结构或矿物、黏土类型鉴定是开发利用煤、页岩气、石油等储层评价的重要途径。但这些材料需要喷金或铂才能在扫描电镜下观测，因此要对样品进行前处理。目前采用的方法是在样品表面喷金粉。样品粘于载样台上后放进喷金仪，先通过离子泵抽真空，再采用离子溅射的方法在样品表面喷镀一层金粉，由于抽真空时间较长，且金靶非常昂贵，一般情况下喷金仪常规载样台上一般最多有9个样品座，当喷完金的样品放进扫描电镜观测完后，卸下样品，才能开始下一批样品的处理流程。当待测样品数量较多时，而载样台数量有限，就需要等载样台上的样品检测完之后从扫描电镜取出、卸下样品、装上待检样品、放进喷金仪抽真空、喷金、再放进扫描电镜抽真空、检测，而等待抽真空时间一般比较长。鉴于样品需要喷金仪、扫描电镜进行先后处理，这样喷金仪和扫描电镜往往不能同时工作，导致时间上的大量浪费。而且载样台上的样品之间有很大的缝隙，喷金一次也造成金粉的浪费。
3.因此，一种新的扫描电镜喷金仪载样台来满足大批量样品喷金使用的要求有待研究。


技术实现要素：

4.针对以上问题，本发明提出了一种方便对样品喷金且提高喷金效率的载物台。
5.本发明提供的技术方案为：
6.一种改良型扫描电镜喷金载物台，包括用于与待喷金样品粘接的圆盘、支撑圆盘的平台以及螺接在平台下部的螺杆，所述圆盘设为薄片状，所述平台与圆盘的外径相等；所述平台下部设有向上延伸的盲孔，所述盲孔内设有与螺杆适配的内螺纹。
7.优选地，所述圆盘设为纸片状，其外径为8cm，所述圆盘从其外缘径向向内延伸0.5cm，从而形成一环形空白区域；所述待喷金样品分布在圆盘上的非空白区域内。
8.优选地，所述平台的厚度为0.5cm；；所述盲孔位于平台的中心位置。
9.优选地，所述圆盘在材质上与a4纸相同。
10.本发明还提供了一种技术方案：
11.一种改良型喷金仪，包括如上述所述的载物台。
12.本发明与现有技术相比的优点在于：
13.通过设置能够粘接不同大小以及不同形状的样品的圆盘，且圆盘能够与平台连接并放置到喷金仪中，从而不但实现了方便喷金的功能，提高了喷金效率，在技术上具有一定的实用性和功能性；
14.本装置对样品形状没有限制，且样品块可以任意摆放从而减少样品块之间的缝
隙，有效解决了现有喷金技术对金靶的浪费，延长金靶的使用寿命；
15.本装置对喷金时间无限制，可实现连续性喷金操作功能，提高了工作效率；且本装置的样品取载方便，煤样、岩石、黏土较脆、易碎；
16.通过设置空白区域，实现了方便对样品进行编号的功能，避免混淆。
附图说明
17.图1是本发明实施例的结构图。
具体实施方式
18.下面结合附图1对本发明做进一步的详细说明。
19.一种改良型扫描电镜喷金载物台，包括用于与待喷金样品粘接的圆盘1、支撑圆盘1的平台2以及螺接在平台2下部的螺杆3，圆盘1设为薄片状，平台2与圆盘1的外径相等；平台2下部设有向上延伸的盲孔，盲孔内设有与螺杆3适配的内螺纹。
20.圆盘1设为纸片状，其外径为8cm，圆盘1从其外缘径向向内延伸0.5cm，从而形成一环形空白区域；待喷金样品分布在圆盘1上的非空白区域内。
21.圆盘1通过粘接的方式固接在平台2上。
22.平台2的厚度为0.5cm；盲孔位于平台2的中心位置。
23.圆盘1在材质上与a4纸相同。
24.圆盘1的材料、厚度及硬度和a4纸相当，直径为8厘米，这样周边留出0.5cm宽的环状空白区域可对样品进行编号，与喷金仪最佳喷金范围7.5厘米相适应；圆盘1价格低廉，将样品4用普通双面胶依次固定在圆盘1上后，置于平台2上。将粘上样品4的装置整体置于喷金仪内。样品4的形状为规则或不规则都可以，同时可以在圆盘1上编号，喷完金后，将样品4连同薄圆盘1一并裁开，再用普通双面胶将喷完金的样品4进行固定存放并编号。当需要用扫描电镜观察时再将裁开的样品连同底部圆盘1一起用导电胶粘在样品托上，放到扫描电镜里观察即可。平台2为直径7.5厘米的合金圆柱，可长期反复使用，平台2底部设置有一带螺纹的盲孔，同时配有对应直径的圆柱形螺杆3，通过旋转螺杆3或卸下螺杆3调节本装置的整体高度，进而调节喷金最适合距离。圆盘1纸片为一次性使用，这样借助“圆盘1纸片”可以连续使用喷金仪对样品4进行批量喷金，避免受载物台和载物台上样品托数量的限制，扫描电镜观测也不用等待下一批样品4喷完金，喷金仪和扫描电镜同时工作，大大地提高了工作效率；圆盘1上尽可能多地摆放样品4，每次喷20至30个样品，样品缝隙减少，提高了金粉的利用率；由于样品4底部粘有一次性纸片，也可以避免样品4被多次转移时，由于与胶之间撕扯造成样品4损坏；可以在纸片上进行编号，也避免了样品喷金、存放过程中混淆。
25.本发明还提供了一种技术方案：
26.一种改良型喷金仪，包括实施例一中的载物台。
27.通过采用本申请提出的装置，对样品的形状没有限制，如三角形、四边形、多边形、圆形等，样品块可以任意排布以减少样品块之间的缝隙，有效解决了现有喷金技术对金靶的浪费，延长金靶使用寿命；喷金仪可以连续工作对样品进行喷金，避免受制于载物台数量；扫描电镜和喷金仪可以同时使用，避免了等待喷金程序的时间，提高工作效率；样品取、载方便，煤样、岩石、黏土较脆、易碎等特点，可以避免样品多次转移过程中与胶撕扯对样品
造成损坏；载样纸片上可以标记编号，避免混淆；操作简单，成本低。
28.以上对本发明及其实施方式进行了描述，这种描述没有限制性，附图中所示的也只是本发明的实施方式之一，实际的结构并不局限于此。总而言之如果本领域的普通技术人员受其启示，在不脱离本发明创造宗旨的情况下，不经创造性的设计出与该技术方案相似的结构方式及实施例，均应属于本发明的保护范围。


技术特征：
1.一种改良型扫描电镜喷金载物台，其特征在于，包括用于与待喷金样品粘接的圆盘、支撑圆盘的平台以及螺接在平台下部的螺杆，所述圆盘设为薄片状，所述平台与圆盘的外径相等；所述平台下部设有向上延伸的盲孔，所述盲孔内设有与螺杆适配的内螺纹。2.根据权利要求1所述的一种改良型扫描电镜喷金载物台，其特征在于，所述圆盘设为纸片状，其外径为8cm，所述圆盘从其外缘径向向内延伸0.5cm，从而形成一环形空白区域；所述待喷金样品分布在圆盘上的非空白区域内。3.根据权利要求2所述的一种改良型扫描电镜喷金载物台，其特征在于，所述平台的厚度为0.5cm；所述盲孔位于平台的中心位置。4.根据权利要求3所述的一种改良型扫描电镜喷金载物台，其特征在于，所述圆盘在材质上与a4纸相同。5.一种改良型喷金仪，其特征在于，包括如权利要求1-4任一项所述的载物台。

技术总结
本发明公开了一种改良型扫描电镜喷金载物台，包括用于与待喷金样品粘接的圆盘、支撑圆盘的平台以及螺接在平台下部的螺杆，所述圆盘设为薄片状，所述平台与圆盘的外径相等；所述平台下部设有向上延伸的盲孔，所述盲孔内设有与螺杆适配的内螺纹。本发明实用性和功能性强，可广泛应用于喷金设备技术领域。可广泛应用于喷金设备技术领域。可广泛应用于喷金设备技术领域。


技术研发人员：李艳杰 赵恒
受保护的技术使用者：江苏地质矿产设计研究院（中国煤炭地质总局检测中心）
技术研发日：2022.07.12
技术公布日：2022/9/23