测试用夹具及测试装置的制作方法

本公开涉及半导体元器件检测，尤其涉及一种测试用夹具及测试装置。

背景技术：

1、封装过后的产品颗粒进行量产高低温测试时，需要使用产品相对应尺寸大小的测试装置进行装载，转移，并压接到测试机上对应的测试工位。

2、因此，有必要提供一种应用于检测封装后的产品颗粒的测试装置。

技术实现思路

1、以下是对本公开详细描述的主题的概述。本概述并非是为了限制权利要求的保护范围。

2、为克服相关技术中存在的问题，本公开提供了一种测试用夹具及测试装置。

3、根据本公开实施例提供了一种测试用夹具，用于对目标器件进行夹持定位，所述目标器件上设置有待测试部，所述测试用夹具包括：

4、承载部，用于承载所述目标器件，所述承载部上设置有供所述待测试部露出的开口；

5、夹持件，与所述承载部活动连接，所述夹持件包括第一夹持部；

6、驱动组件，与所述夹持件连接，所述驱动组件用于驱使所述夹持件至少在第一位置和第二位置之间切换，所述夹持件位于所述第一位置时，所述夹持件用于将所述目标器件夹持在所述第一夹持部和所述承载部之间，所述夹持件位于所述第二位置时，所述夹持件用于将所述目标器件释放。

7、根据本公开的一些实施例，所述承载部包括第二夹持部，所述夹持件位于所述第一位置时，所述第一夹持部与所述第二夹持部分别贴合于所述目标器件的两侧。

8、根据本公开的一些实施例，所述承载部包括侧壁和底壁，所述底壁上设置有阶梯孔，所述目标器件能够容置于所述阶梯孔的大径段，所述阶梯面构成所述第二夹持部，所述阶梯孔的小径段构成所述开口，所述驱动组件设置于所述侧壁上，且所述第一夹持部经所述侧壁的内表面伸出。

9、根据本公开的一些实施例，所述夹持件包括相连的驱动段以及夹持段，所述驱动段用于与所述驱动组件连接，所述第一夹持部位于所述夹持段，所述夹持段与所述驱动段成夹角设置。

10、根据本公开的一些实施例，所述驱动组件包括与所述夹持件铰接并用于驱动所述夹持件绕轴转动的抵接部，以及，用于驱动所述抵接部在第三位置与第四位置之间切换的启闭弹性件，所述夹持件被配置为能够相对所述承载部滑动，所述抵接部位于所述第三位置时，所述夹持件位于所述第一位置，所述抵接部位于所述第四位置时，所述夹持件位于所述第二位置。

11、根据本公开的一些实施例，所述驱动组件包括用于抵接所述夹持件并用于驱动所述夹持件绕轴转动的抵接部，以及，用于维持所述夹持件停留在所述第一位置或所述第二位置的启闭弹性件。

12、根据本公开的一些实施例，所述抵接部与所述夹持件滑动连接并在所述启闭弹性件形变方向上与所述夹持件卡接，所述启闭弹性件与所述抵接部固定并用于驱动所述抵接部在第三位置与第四位置之间切换，所述抵接部位于所述第四位置时，所述夹持件位于所述第二位置。

13、根据本公开的一些实施例，所述夹持件上设有用于贴合在所述目标器件上的缓冲层。

14、根据本公开的一些实施例，所述驱动组件有多个且沿周向均匀分布。

15、根据本公开实施例的第二方面，提供一种测试装置，包括动力机构以及上述的测试用夹具，所述动力机构包括动力输出端，所述动力输出端用于抵接所述承载部并将所述目标器件压紧在所述测试器上。

16、根据本公开的一些实施例，所述动力机构包括动力输入端以及过载保护组件，所述过载保护组件连接所述动力输入端和所述动力输出端，并用于提供所述动力输入端相对于所述动力输出端产生位移需要的行程。

17、根据本公开的一些实施例，所述过载保护组件有多个；所述测试用夹具有多个。

18、根据本公开的一些实施例，所述过载保护组件包括过载弹性件，所述过载弹性件连接所述动力输入端与所述动力输出端。

19、根据本公开的一些实施例，所述过载保护组件包括过载导向件，过载导向件与所述动力输入端或所述动力输出端固定连接，并用于为所述过载弹性件提供导向。

20、根据本公开的一些实施例，所述动力输入端上开设有用于容纳所述过载导向件的过载容纳腔。

21、本公开的实施例提供的技术方案可以包括以下有益效果：通过抵接部带动夹持件在第一位置与第二位置之间变化，在抵接部位于第一位置时，抵接部上的第一夹持部与目标器件贴合，启闭弹性件作用于抵接部或夹持件上并使夹持件保持在第一位置，实现对目标器件的夹持或压合，适用于多重规格的目标器件；同时过载保护组件使动力输出端靠近并作用于承载部的过程更加稳定。

22、应当理解的是，以上的一般描述和后文的细节描述仅是示例性和解释性的，并不能限制本公开。在阅读并理解了附图和详细描述后，可以明白其他方面。

技术特征：

1.一种测试用夹具，用于对目标器件进行夹持定位，所述目标器件上设置有待测试部，其特征在于，所述测试用夹具包括：

2.根据权利要求1所述的测试用夹具，其特征在于，所述承载部包括第二夹持部，所述夹持件位于所述第一位置时，所述第一夹持部与所述第二夹持部分别贴合于所述目标器件的两侧。

3.根据权利要求2所述的测试用夹具，其特征在于，所述承载部包括侧壁和底壁，所述底壁上设置有阶梯孔，所述目标器件能够容置于所述阶梯孔的大径段，所述阶梯面构成所述第二夹持部，所述阶梯孔的小径段构成所述开口，所述驱动组件设置于所述侧壁上，且所述第一夹持部经所述侧壁的内表面伸出。

4.根据权利要求1所述的测试用夹具，其特征在于，所述夹持件包括相连的驱动段以及夹持段，所述驱动段用于与所述驱动组件连接，所述第一夹持部位于所述夹持段，所述夹持段与所述驱动段成夹角设置。

5.根据权利要求1所述的测试用夹具，其特征在于，所述驱动组件包括与所述夹持件铰接并用于驱动所述夹持件绕轴转动的抵接部，以及，用于驱动所述抵接部在第三位置与第四位置之间切换的启闭弹性件，所述夹持件被配置为能够相对所述承载部滑动，所述抵接部位于所述第三位置时，所述夹持件位于所述第一位置，所述抵接部位于所述第四位置时，所述夹持件位于所述第二位置。

6.根据权利要求1所述的测试用夹具，其特征在于，所述驱动组件包括用于抵接所述夹持件并用于驱动所述夹持件绕轴转动的抵接部，以及，用于维持所述夹持件停留在所述第一位置或所述第二位置的启闭弹性件。

7.根据权利要求6所述的测试用夹具，其特征在于，所述抵接部与所述夹持件滑动连接并在所述启闭弹性件形变方向上与所述夹持件卡接，所述启闭弹性件与所述抵接部固定并用于驱动所述抵接部在第三位置与第四位置之间切换，所述抵接部位于所述第四位置时，所述夹持件位于所述第二位置。

8.根据权利要求1所述的测试用夹具，其特征在于，所述夹持件上设有用于贴合在所述目标器件上的缓冲层。

9.根据权利要求1所述的测试用夹具，其特征在于，所述驱动组件有多个且沿周向均匀分布。

10.一种测试装置，其特征在于，包括测试器和动力机构，以及上述权利要求1-9任一所述的测试用夹具，所述动力机构包括动力输出端，所述动力输出端用于抵接所述承载部并将所述目标器件压紧在所述测试器上。

11.根据权利要求10所述的测试装置，其特征在于，所述动力机构包括动力输入端以及过载保护组件，所述过载保护组件连接所述动力输入端和所述动力输出端，并用于提供所述动力输入端相对于所述动力输出端产生位移需要的行程。

12.根据权利要求11所述的测试装置，其特征在于，所述过载保护组件有多个；所述测试用夹具有多个。

13.根据权利要求11所述的测试装置，其特征在于，所述过载保护组件包括过载弹性件，所述过载弹性件连接所述动力输入端与所述动力输出端。

14.根据权利要求11所述的测试装置，其特征在于，所述过载保护组件包括过载导向件，过载导向件与所述动力输入端或所述动力输出端固定连接，并用于为所述过载弹性件提供导向。

15.根据权利要求14所述的测试装置，其特征在于，所述动力输入端上开设有用于容纳所述过载导向件的过载容纳腔。

技术总结
本公开是关于一种测试用夹具及测试装置，用于对目标器件进行夹持定位，包括：承载部，夹持件和驱动组件。本公开通过抵接部带动夹持件在第一位置与第二位置之间变化，在抵接部位于第一位置时，抵接部上的第一夹持部与目标器件贴合，启闭弹性件作用于抵接部或夹持件上并使夹持件保持在第一位置，实现对目标器件的夹持或压合，适用于多重规格的目标器件；同时过载保护组件使动力输出端靠近并作用于承载部的过程更加稳定。

技术研发人员：杜军鸽
受保护的技术使用者：长鑫存储技术有限公司
技术研发日：
技术公布日：2024/2/1