无接触式生物传感器的制作方法

本发明涉及传感器，更具体地，涉及生物传感器。

背景技术：

1、存在各种类型的生物传感器，其中一种特别感兴趣的是射频(rf)、微波(mw)、毫米波(mmw)和太赫兹(thz)生物传感器(为了便于讨论，本文将所有这些传感器称为生物传感器)。这种生物传感器将生物组织视为具有独特介电特征的介电物质，所述介电特征可通过介电常数和电导率等频率相关参数表征，并可根据基于谐振器的生物传感器的原理进行操作。在生物传感器中，有时采用电容传感，其中介电常数的变化通过叉指电极(interdigitated electrode)、谐振器和微带结构(microstrip structure)等组件反映为电容的变化。

2、此类生物传感器可使生物物质受到机电(em)波的影响，这使得生物传感器能够观察生物物质的独特介电常数特征，而无需直接接触被测流体。介电常数(在电磁学的框架内)是一种基本的材料属性，它描述了材料将如何影响时变电磁场并受其影响。

技术实现思路

1、根据本文的一个实施例，一种结构包括第一层，其中第一层包括凹槽。所述结构还包括与第一层接触的中间层和在凹槽上方对齐的无接触式生物传感器。所述中间层的一部分沿所述凹槽定位，沿所述凹槽定位的所述中间层的所述部分将所述无接触式生物传感器与所述凹槽分离。

2、根据本文的另一个实施例，一种结构包括第一层，其中第一层包括凹槽。所述结构还包括与第一层接触的中间层和在凹槽上方对齐的多个无接触式生物传感器。所述中间层的一部分沿所述凹槽定位，沿所述凹槽定位的所述中间层的所述部分将所述无接触式生物传感器与所述凹槽分离。

3、根据本文的另一个实施例，一种方法包括形成包括凹槽的第一层，形成与第一层接触的中间层，以及形成在凹槽上方对齐的无接触式生物传感器。所述中间层的一部分形成为沿所述凹槽定位，沿所述凹槽定位的所述中间层的所述部分形成为将所述无接触式生物传感器与所述凹槽分离。

技术特征：

1.一种结构，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的结构，其特征在于，所述无接触式生物传感器包括一个或多个：

3.根据权利要求1所述的结构，其特征在于，所述凹槽包括横跨所述无接触式生物传感器的所述中间层而定位的多个凹槽。

4.根据权利要求1所述的结构，其特征在于，还包括所述凹槽内的多个分隔器。

5.根据权利要求1所述的结构，其特征在于，所述无接触式生物传感器相对于所述凹槽定位在一位置，以使用所述无接触式生物传感器所产生和接收的至少一个时变电磁场来检测所述凹槽内的被测流体的特性。

6.根据权利要求1所述的结构，其特征在于，还包括流体容器，连接至所述凹槽，其中，所述凹槽的形状和尺寸被设计为将供应至所述流体容器的被测流体输送通过所述无接触式生物传感器。

7.根据权利要求1所述的结构，其特征在于，所述第一层包括块体晶片衬底，且其中，所述中间层包括以下至少一个：

8.一种结构，其特征在于，包括：

9.根据权利要求8所述的结构，其特征在于，所述无接触式生物传感器包括一个或多个：

10.根据权利要求8所述的结构，其特征在于，所述凹槽包括横跨所述无接触式生物传感器的所述中间层而定位的多个凹槽。

11.根据权利要求8所述的结构，其特征在于，还包括所述凹槽内的多个分隔器。

12.根据权利要求8所述的结构，其特征在于，所述无接触式生物传感器相对于所述凹槽定位在一位置，以使用所述无接触式生物传感器所产生和接收的至少一个时变电磁场来检测所述凹槽内的被测流体的特性。

13.根据权利要求8所述的结构，其特征在于，还包括流体容器，连接至所述凹槽，其中，所述凹槽的形状和尺寸被设计为将供应至所述流体容器的被测流体输送通过所述无接触式生物传感器。

14.根据权利要求8所述的结构，其特征在于，所述第一层包括块体晶片衬底，且其中，所述中间层包括以下至少一个：

15.一种方法，其特征在于，包括：

16.根据权利要求15所述的方法，其特征在于，所述无接触式生物传感器形成为以下的一个或多个：

17.根据权利要求15所述的方法，其特征在于，所述凹槽的形成包括形成横跨所述无接触式生物传感器的所述中间层而定位的多个凹槽。

18.根据权利要求15所述的方法，其特征在于，还包括在所述凹槽内形成多个分隔器。

19.根据权利要求15所述的方法，其特征在于，所述无接触式生物传感器形成为相对于所述凹槽定位在一位置，以使用所述无接触式生物传感器所产生和接收的至少一个时变电磁场来检测所述凹槽内的被测流体的特性。

20.根据权利要求15所述的方法，其特征在于，还包括形成连接到所述凹槽的流体容器，其中，所述凹槽的形状和尺寸被设计为将供应至所述流体容器的被测流体输送通过所述无接触式生物传感器。

技术总结
本发明涉及无接触式生物传感器，揭示一种结构，包括具有凹槽的第一层。所述结构还包括与第一层接触的中间层和在凹槽上方对齐的无接触式生物传感器。沿凹槽定位的中间层的部分将无接触式生物传感器与凹槽分离。

技术研发人员：巴特罗梅·J·帕拉克,A·L·瓦莱特,西瓦·P·阿度苏米利,M·D·拉格奎斯特
受保护的技术使用者：格芯（美国）集成电路科技有限公司
技术研发日：
技术公布日：2024/1/13