荧光光学系统以及荧光图像检测系统的制作方法

本发明有关于一种荧光光学系统以及荧光图像检测系统，尤指一种具有不同入射角度的荧光光学系统以及荧光图像检测系统。

背景技术：

1、随着全自动化工业的进展，自动光学检测(automatic optical inspection,aoi)已经被普遍应用在电子业的电路板组装生产线的外观检查，并取代以往的人工目检作业(visual inspection)。

2、自动光学辨识系统是工业工艺中常见的代表性手法，主要的做法是利用摄像装置拍摄待测物的表面状态，再以计算机图像处理技术来检出异物或图案异常等瑕疵，由于采用了非接触式检查，因此在产线过程中可以用以检查半成品。

3、应用于荧光图像的扫描式光照技术，主要是将灯具加载于自动光学检测系统的架构上作为激发光源，用以激发待测物上的荧光物质从而得到待测物的荧光图像。已知的荧光显微系统主要是使用物镜进行检测，视野范围相当受限；此外，内同轴照明容易在图像上产生热点，且内同轴照明也必须要额外使用分色滤光镜(dichromatic mirror)，必须要为分色滤光镜的玻璃厚度与镀膜厚层进行设计，以避免产生鬼影及xy方向成像距离不同，对于大尺寸镜头更加不易设计。

技术实现思路

1、本发明的主要目的，在于提供一种荧光光学系统，包括一平台、至少一光源装置以及至少一第一滤波片。平台用以设置一待测样本。至少一光源装置用以照射待测样本，使待测样本产生一荧光。至少一第一滤波片对应设置于至少一光源装置的光路上，使一激发光束通过至少一第一滤波片。激发光束与平台之间形成一入射角度，入射角度小于90°。

2、本发明的另一目的，在于提供一种荧光图像检测系统，包括一平台、至少一光源装置、至少一第一滤波片、一图像捕获装置以及一检测模块。平台用以设置一待测样本。至少一光源装置用以照射待测样本，使待测样本产生一荧光。至少一第一滤波片对应设置于至少一光源装置的光路上，使一激发光束通过至少一第一滤波片。图像捕获装置设置于平台一侧，用以拍摄待测样本的一荧光图像。检测模块自图像捕获装置接收荧光图像，并通过荧光图像检测待测样本的瑕疵。激发光束与平台之间形成一入射角度，入射角度小于90°。

3、相较已知荧光光学系统，本发明采用不同入射角度的光路设计，可以在进行荧光图像检测时，不受同轴光源限制，图像范围的光照能量更有弹性。此外，图像捕获装置使用任意尺寸镜头(例如大尺寸镜头)，从而扩展拍摄时的视野范围并可以减少图像上所产生的热点

技术特征：

1.一种荧光光学系统，其特征在于，包括：

2.如权利要求1所述的荧光光学系统，其特征在于，所述荧光光学系统包括多个所述光源装置，以及多个所述第一滤波片，所述光源装置以不同入射方向照射所述待测样本，所述第一滤玻片分别设置于所述光源装置的光路上。

3.如权利要求2所述的荧光光学系统，其特征在于，所述荧光光学系统包括偶数的倍数个光源装置，两两之间等距间隔并且环状对称排列。

4.如权利要求1所述的荧光光学系统，其特征在于，每一所述光源装置包括一发光单元以及一角度调整机构，所述角度调整机构用以调整所述发光单元的输出方向。

5.如权利要求4所述的荧光光学系统，其特征在于，所述角度调整机构包括一光纤导管，具有一输入端以及一输出端，至少一所述第一滤波片设置于所述输入端与所述发光单元之间。

6.如权利要求4所述的荧光光学系统，其特征在于，所述角度调整机构包括一光纤导管，具有一输入端以及一输出端，至少一所述第一滤波片设置于所述输出端。

7.如权利要求1所述的荧光光学系统，其特征在于，所述入射角度介于大于49°且小于79°之间的范围。

8.如权利要求1所述的荧光光学系统，其特征在于，还包括一第二滤波片，设置于所述平台一侧，用以供自所述待测样本上产生的所述荧光通过至一显像位置。

9.如权利要求8所述的荧光光学系统，其特征在于，至少一所述第一滤波片为一带通滤波片，所述第二滤波片为一长通滤波片。

10.如权利要求8所述的荧光光学系统，其特征在于，还包括一取像镜头，设置在所述第二滤波片与所述平台之间，用以取像所述待测样本上产生的一荧光图像。

11.一种荧光图像检测系统，其特征在于，包括：

技术总结
本发明提供一种荧光光学系统以及荧光图像检测系统，荧光光学系统包括一平台、至少一光源装置以及至少一第一滤波片。平台用以设置一待测样本。至少一光源装置用以照射待测样本，使待测样本产生一荧光。至少一第一滤波片对应设置于至少一光源装置的光路上，使一激发光束通过至少一第一滤波片。激发光束与平台之间形成一入射角度，入射角度小于90°。

技术研发人员：林伯聪,黄冠勋,李岳龙
受保护的技术使用者：由田新技股份有限公司
技术研发日：
技术公布日：2024/1/13