设备的漏液检测系统的制作方法

本发明涉及半导体领域，尤其涉及一种设备的漏液检测系统。

背景技术：

1、在半导体掩膜生产设备中，有一部分小型单片式旋转喷淋清洗机台，在制程中使用到的化学药剂有氨水。从设备管路设计而言，当使用到这些化学药剂的管路发生药剂泄漏时，泄漏液的液体量须达到触发漏液报警器时，设备才会做出紧急停车响应。

2、目前设备对于漏液检测采用的都是单一的漏液传感器，该传感器灵敏度高，但抗干扰性略低，且需要在有大量漏液或必须接触到液体时才能够做出响应；小范围的漏液情况下，一般很难进行侦测。

技术实现思路

1、本发明解决的问题是现有设备的漏液检测装置无法侦测到少量漏液。

2、为解决上述问题，本发明提供一种设备的漏液检测系统，包括：侦测单元和显示单元。侦测单元适于获取设备内待测气体浓度，在待测气体浓度超过浓度阈值时产生报警信号；其中，待测气体与设备运行中使用的液体相关，浓度阈值与设备对液体的泄漏承载量有关。显示单元适于实时显示待测气体浓度。

3、可选的，侦测单元包括：气体传感器、模数转换器和控制器。气体传感器适于提供与待测气体浓度相关的测量模拟信号。模数转换器适于将测量模拟信号转化为测量数字信号。控制器适于保存与浓度阈值相关的阈值信号，在测量数字信号超过阈值信号时产生报警信号。显示单元适于根据测量数字信号显示待测气体浓度。

4、可选的，气体传感器为气敏电阻。

5、可选的，侦测单元还包括：仿真单元。仿真单元适于提供与仿真气体浓度相关的仿真模拟信号。模数转换器还适于将仿真模拟信号转化为仿真数字信号。控制器适于在仿真数字信号超过浓度阈值信号时产生报警信号。显示单元适于根据仿真数字信号现实仿真气体浓度。

6、可选的，仿真单元包括滑动变阻器，滑动变阻器提供的仿真模拟信号为滑动变阻器上的电压信号。

7、可选地，仿真单元还适于在仿真模拟信号中增加随机噪声。控制器适于对模数转换器输出的仿真数字信号进行滤波，在滤波后的仿真数字信号超过浓度阈值信号时产生报警信号。显示单元适于根据滤波后的仿真数字信号显示仿真气体浓度。

8、可选的，设备的漏液检测系统还包括：报警单元。报警单元适于根据报警信号发出报警提示。

9、可选的，报警提示包括：声音警示、光警示或文字警示。

10、可选的，侦测单元通过串口通讯方式将待测气体浓度发送至显示单元。

11、可选的，待测气体为多种，侦测单元在任一种待测气体浓度超过与之对应的浓度阈值时产生报警信号。

12、与现有技术相比，本发明的技术方案具有以下优点：

13、使用本实施例的漏液检测系统，侦测单元对设备内待测气体浓度进行采集，在待测气体浓度超过浓度阈值时产生报警信号，显示单元实时显示侦测单元采集到的待测气体浓度。由于待测气体与设备运行中使用的液体相关，浓度阈值与所述设备对液体的泄漏承载量有关，所以，侦测单元发出的报警信号可以对少量的漏液情况进行预警，克服了现有技术利用液体传感器无法侦测少量液体泄露的问题。

技术特征：

1.一种设备的漏液检测系统，其特征在于，包括：

2.如权利要求1所述设备的漏液检测系统，其特征在于，所述侦测单元包括：气体传感器、模数转换器和控制器；

3.如权利要求2所述设备的漏液检测系统，其特征在于，所述气体传感器为气敏电阻。

4.如权利要求2所述设备的漏液检测系统，其特征在于，所述侦测单元还包括：仿真单元；

5.如权利要求4所述设备的漏液检测系统，其特征在于，所述仿真单元包括滑动变阻器，所述滑动变阻器提供的仿真模拟信号为所述滑动变阻器上的电压信号。

6.如权利要求4所述设备的漏液检测系统，其特征在于，

7.如权利要求1所述设备的漏液检测系统，其特征在于，还包括：

8.如权利要求7所述设备的漏液检测系统，其特征在于，所述报警提示包括：声音警示、光警示或文字警示。

9.如权利要求1所述设备的漏液检测系统，其特征在于，所述侦测单元通过串口通讯方式将所述待测气体浓度发送至显示单元。

10.如权利要求1所述设备的漏液检测系统，其特征在于，所述待测气体为多种，所述侦测单元在任一种待测气体浓度超过与之对应的浓度阈值时产生报警信号。

技术总结
一种设备的漏液检测系统，包括：侦测单元和显示单元。侦测单元适于获取设备内待测气体浓度，在所述待测气体浓度超过浓度阈值时产生报警信号；其中，所述待测气体与所述设备运行中使用的液体相关，所述浓度阈值与所述设备对所述液体的泄漏承载量有关。显示单元适于实时显示所述待测气体浓度。

技术研发人员：邓勇贤,贺江涛
受保护的技术使用者：中芯国际集成电路制造(上海)有限公司
技术研发日：
技术公布日：2024/5/29