探针卡的制作方法

本发明涉及半导体测试，特别的，涉及一种探针卡。

背景技术：

1、探针卡乘载探针，用以与晶圆上半导体的电极相接触，安装在针测机中，以扫描方式逐区(检测区)检测，以检查晶圆上组件的电性质量。请参阅图1a及图1b，探针卡是将一探针模块固定在一基板上。基板上具有通孔，探针模块的探针头能通过通孔与半导体待测物接触。更换探针模块时，定位及水平面极为重要，需依赖操作者操作的精准度，难度较高，容易产生误差。

技术实现思路

1、本发明所提供的探针卡，以解决现有的探针卡更换探针模块时，需依赖操作者操作的精准度，难度较高，容易产生误差的技术问题。

2、本发明提供一种探针卡，包含：一基板，具有一通孔；一固定座，设置于该基板的表面上；以及一探针盖，连接于该固定座，其中该探针盖具有至少一滑槽，使一探针模块可拆卸地安装至该探针盖，以及当该探针盖盖合于该基板，该探针模块通过该通孔。

3、本发明具有有益效果：本发明的探针卡，可简化更换探针模块的操作，降低人为误差，并提高精准度。

技术特征：

1.一种探针卡，其特征在于，包含：

2.如权利要求1所述的探针卡，其特征在于，该探针模块包含：

3.如权利要求2所述的探针卡，其特征在于，该探针头基座具有至少一导电连接器，该导电连接器与该探针头电性连接。

4.如权利要求2所述的探针卡，其特征在于，该探针头基座具有一锁固件，用以固定于该滑槽的一卡榫结构。

5.如权利要求2所述的探针卡，其特征在于，该探针头具有至少一滑槽，使该护盖可拆卸地安装至该探针头。

6.如权利要求1所述的探针卡，其特征在于，该探针盖枢转地连接于该固定座，使该探针盖与该基板的开合角度为0°～90°。

7.如权利要求1所述的探针卡，其特征在于，该探针盖具一锁固件，当该探针盖盖合于该基板，该探针盖通过该锁固件固定于该基板上的一卡榫结构。

技术总结
本发明提供一种探针卡，包含：一基板，具有一通孔；一固定座，设置于该基板的表面上；以及一探针盖，连接于该固定座；其中该探针盖具有至少一滑槽，使一探针模块可拆卸地安装至该探针盖，以及当该探针盖盖合于该基板，该探针模块通过该通孔。本发明的探针卡，其利用探针盖的滑槽，以可拆卸的方式安装探针模块，再将探针盖固定于探针卡的固定座上。此设计可简化更换探针模块的操作以及降低人为误差。

技术研发人员：王子建,徐文元,陈铭贤,吕佳霖
受保护的技术使用者：汉民测试系统股份有限公司
技术研发日：
技术公布日：2024/1/13