一种用于石英陶瓷坩埚外底平整度的检测装置的制作方法

1.本实用新型涉及技术领域，具体是指一种用于石英陶瓷坩埚外底平整度的检测装置。


背景技术：

2.石英陶瓷坩埚是太阳能电池用多晶硅铸锭炉的关键部件，它作为装载多晶硅原料的容器要在1500℃以上的高温下连续工作50小时以上，使之熔化生产出用来制造太阳能电池的多晶硅硅锭。由于其使用条件极其苛刻，对坩埚的纯度、强度、外观缺陷、内在质量、高温性能、热振稳定性、尺寸精度等都有极其严格的要求。现我国石英陶瓷坩埚已凝胶注凝成型的技术路线为主，凝胶注模成型是将石英陶瓷浆料浇注金属模具后原位固化成型，由于浇注是压力及金属模具受力形变原因，产品的产生形变，其中影响最大的底部的平整度，由于底部直接与石墨底板接触，底部平整度不达标会造成坩埚底部受力，铸锭时底部裂纹进而产生高温硅液的外流，对铸锭炉及作业人员造成安全隐患，因此底部平整度测量及其重要，准确测量外底平整度对产品的应用影响巨大。
3.目前坩埚的平整度检测为坩埚翻转后使用水平尺靠在坩埚外底使用塞尺测量水平尺与坩埚的夹缝，但是现有技术中使用塞尺与水平尺测量，检测数值不准确，分辨力较低，测量一致性较低，检测效果较差，受人员的操作影响较大，无法对数据进行统计过程的分析，因此亟待改进。


技术实现要素：

4.本实用新型要解决的技术问题是，克服现有技术缺点，提供一种用于石英陶瓷坩埚外底平整度的检测装置，结构合理，检测的数据更准确，操作员工对检测数据的影响较小，检测的数据可以进行过程控制分析。
5.为解决上述技术问题，本实用新型提供的技术方案为：一种用于石英陶瓷坩埚外底平整度的检测装置，包括用于装置主体的水平方管，水平方管内中部设置有固定基座，固定基座上设置有定数显千分表，固定基座的两侧分别对称设置有移动基座，移动基座上分别设置有第一动数显千分表和第二动数显千分表，水平方管的两端分别设置有支撑脚。
6.进一步的，水平方管的平面度≤0.1mm，长度为1.2-1.6m。
7.进一步的，水平方管内部的两侧分别设置有滑槽轨道，移动基座滑动连接在滑槽轨道内，滑槽轨道的长度为30-50cm。
8.进一步的，水平方管端部的水平两侧分别设置有导轨，支撑脚滑动连接在导轨上。
9.进一步的，支撑脚的底部距离水平方管底部的高度为3-10mm。
10.进一步的，水平方管上设置有水平尺。
11.本实用新型与现有技术相比的优点在于：本实用新型通过改良水平尺，并在水平尺不同位置上安装可移动数显百分表，通过记录最大与最小点的数值，计算得到底部平整度。
12.本实用新型的检测的数据更准确，操作员工对检测数据的影响较小；检测的数据可以进行过程控制分析。
附图说明
13.图1是本实用新型的结构示意图。
14.图2是本实用新型内部的结构示意图。
15.如图所示：1、水平方管；2、第一动数显千分表；3、第二动数显千分表；4、定数显千分表；5、固定基座；6、移动基座；7、滑槽轨道；8、水平尺；9、支撑脚；10、导轨。
具体实施方式
16.在本实用新型的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“横向”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。在本实用新型的描述中，除非另有说明，“多个”的含义是两个或两个以上。另外，术语“包括”及其任何变形，意图在于覆盖不排他的包含。
17.下面结合附图对本实用新型做进一步的详细说明。
18.本实用新型在具体实施时，本实用新型是一种用于坩埚外底部平整度的检测装置，本装置有水平方管1部分组成，水平方管1的平面度≤0.1mm，长度为1.2-1.6m，其余装置均布置于水平方管1内。
19.结合附图1和2所示，部件2、3、4均为装置的数显千分表，其中第一动数显千分表2和第二动数显千分表3均安装在移动基座6上，移动基座6可以在滑槽轨道7上移动，可移动的距离为30-50cm，定数显千分表4安装于固定基座5上，通过对两侧千分表的移动可以测试不同点；两侧支撑脚9安装于导轨10上，支撑脚的高度为3-10mm，导轨10长度为10-40cm，水平尺8用于测水平。
20.本装置在实际使用过程中，测试步骤为：
21.1、先将平整度检测装置置于平面度≤0.1mm的大理石平面上，将装置的千分表设置零点；
22.2、坩埚翻转后，根据坩埚的类型，调整两侧的支撑脚9位置，将装置的支撑脚9处在坩埚外底的边沿位置；
23.3、将装置置于坩埚外底面，使装置的支撑脚9完全与外底贴合，分别调整第一动数显千分表2和第二动数显千分表3的位置，记录第一动数显千分表2、第二动数显千分表3的最小值与定数显千分表4的最大值；
24.4、根据步骤3，将装置移动至边沿到中心的三组不同位置，通过记录定数显千分表4的最大值与第一动数显千分表2、第二动数显千分表3的最小值，计算得到坩埚外底的最大变形量。
25.以上对本实用新型及其实施方式进行了描述，这种描述没有限制性，附图中所示
的也只是本实用新型的实施方式之一，实际的结构并不局限于此。总而言之如果本领域的普通技术人员受其启示，在不脱离本实用新型创造宗旨的情况下，不经创造性的设计出与该技术方案相似的结构方式及实施例，均应属于本实用新型的保护范围。


技术特征：
1.一种用于石英陶瓷坩埚外底平整度的检测装置，其特征在于：包括用于装置主体的水平方管(1)，所述水平方管(1)内中部设置有固定基座(5)，所述固定基座(5)上设置有定数显千分表(4)，所述固定基座(5)的两侧分别对称设置有移动基座(6)，所述移动基座(6)上分别设置有第一动数显千分表(2)和第二动数显千分表(3)，所述水平方管(1)的两端分别设置有支撑脚(9)。2.根据权利要求1所述的用于石英陶瓷坩埚外底平整度的检测装置，其特征在于：所述水平方管(1)的平面度≤0.1mm，长度为1.2-1.6m。3.根据权利要求1所述的用于石英陶瓷坩埚外底平整度的检测装置，其特征在于：所述水平方管(1)内部的两侧分别设置有滑槽轨道(7)，所述移动基座(6)滑动连接在滑槽轨道(7)内，所述滑槽轨道(7)的长度为30-50cm。4.根据权利要求1所述的用于石英陶瓷坩埚外底平整度的检测装置，其特征在于：所述水平方管(1)端部的水平两侧分别设置有导轨(10)，所述支撑脚(9)滑动连接在导轨(10)上。5.根据权利要求4所述的用于石英陶瓷坩埚外底平整度的检测装置，其特征在于：所述支撑脚(9)的底部距离水平方管(1)底部的高度为3-10mm。6.根据权利要求1所述的用于石英陶瓷坩埚外底平整度的检测装置，其特征在于：所述水平方管(1)上设置有水平尺(8)。

技术总结
本实用新型公开了一种用于石英陶瓷坩埚外底平整度的检测装置，包括用于装置主体的水平方管，水平方管内中部设置有固定基座，固定基座上设置有定数显千分表，固定基座的两侧分别对称设置有移动基座，移动基座上分别设置有第一动数显千分表和第二动数显千分表，水平方管的两端分别设置有支撑脚。本实用新型克服现有技术缺点，检测的数据更准确，操作员工对检测数据的影响较小，检测的数据可以进行过程控制分析。制分析。制分析。


技术研发人员：苏成 邓亮亮
受保护的技术使用者：徐州协鑫太阳能材料有限公司
技术研发日：2022.06.06
技术公布日：2022/11/14