一种可旋转式承载平台的制作方法

文档序号:31904547发布日期:2022-10-22 07:19阅读:36来源:国知局
一种可旋转式承载平台的制作方法

1.本实用新型属于旋转平台技术领域,具体涉及一种可旋转式承载平台。


背景技术:

2.目前,市面上大多数x荧光光谱仪对硅晶圆、线路板等面积较大的样件,而采用x荧光光谱仪用于检测的区域有限。
3.一般来说,为了实现全区域检测,需要不断调整硅晶圆、线路板的区域,直至x荧光光谱仪对检测区域全覆盖,传统的手动调整方式会造成样件的损坏,特殊情况下还必须对x荧光光谱仪所在检测探头位置进行局部改动,增加了改进成本的同时,也会影响对于样品件的测量精度。


技术实现要素:

4.针对现有技术的不足,本实用新型的目的在于提供一种可旋转式承载平台,解决了现有技术中存在的上述技术问题。
5.本实用新型的目的可以通过以下技术方案实现:
6.一种可旋转式承载平台,包括样品台、转动组件、驱动组件、安装座,所述样品台的底部通过转动组件与驱动组件相连,并通过驱动组件驱动转动组件的转动带动样品台的同步旋转。
7.所述转动组件包括转轴、轴承座、齿轮组a,所述转轴的顶部固定于样品台所在的底部位置,同时转轴的底部输出轴贯穿轴承座所在的安装座并与下方的齿轮组a连接,通过齿轮组a的转动带动样品台的同步旋转。
8.所述驱动组件包括输出电机、齿轮组b,所述齿轮组b位于输出电机所在的输出轴上,且齿轮组b与齿轮组a过盈配合,通过所述输出电机的转动带动位于转动组件上的齿轮组a同步转动,从而带动样品台旋转。
9.进一步的,所述转动组件的转轴位于样品台所在的中心位置。
10.进一步的,所述转轴采用螺栓固定方式与样品台所在的底部相连。
11.进一步的,所述安装座与所在的中部开设有槽口,使轴承座嵌装在槽口位置,同时安装座与样品台相互分离。
12.进一步的,所述齿轮组a的输出轴方向与齿轮组b的输出轴方向相互垂直。
13.进一步的,所述齿轮组a与齿轮组b采用伞齿轮结构,并过盈配合连接。
14.本实用新型的有益效果:
15.1、本装置的驱动组件通过转动组件带动样品台的同步旋转,通过样品台旋转固定角度,从而实现增加样件的可检测范围,无需额外人工手动搬运样品件。
16.2、本装置的驱动组件与转动组件采用的垂直式传动方式,可以减少装置的高度尺寸,进一步为样品台的提供更高的承载高度,方便样品的放置。
附图说明
17.为了更清楚地说明本发明实施例或现有技术中的技术方案,下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍。
18.图1是本实用新型实施例的整体结构示意图;
19.图2是本实用新型实施例的爆炸结构示意图。
具体实施方式
20.下面将结合本实用新型实施例中的附图,对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述。基于本实用新型中的实施例,本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其它实施例,都属于本实用新型保护的范围。
21.如图1、图2所示,本实用新型实施例提供一种可旋转式承载平台,包括样品台1、转动组件2、驱动组件3、安装座4,样品台1的底部通过转动组件2与驱动组件3相连,并通过驱动组件3驱动转动组件2的转动并带动样品台1的同步旋转。
22.其中,转动组件2包括转轴21、轴承座22、齿轮组a23,转轴21的顶部固定于样品台1所在的底部位置(转动组件2的转轴21位于样品台1所在的中心位置,并采用螺栓固定方式与样品台1所在的底部相连,这种连接方式方便组装和拆卸),同时转轴21的底部输出轴贯穿轴承座22所在的安装座4并与下方的齿轮组a23连接,安装座4与所在的中部开设有槽口,使轴承座22嵌装在槽口位置,同时安装座4与样品台1相互分离(安装座4整体与样品台1相互分离,仅通过转轴21的贯穿式连接),通过齿轮组a23的转动带动样品台1的同步旋转。
23.驱动组件3包括输出电机31、齿轮组b32,齿轮组b32位于输出电机31所在的输出轴上,通过输出电机31的转动带动齿轮组b32的转动,且齿轮组b32与齿轮组a23过盈配合(可采用齿轮组a23的输出轴方向与齿轮组b32的输出轴方向相互垂直,同时齿轮组a23与齿轮组b32采用伞齿轮结构,并过盈配合连接,这种连接方式,可以减少装置在竖直方向上的尺寸高度),此时输出电机31的转动带动位于转动组件2上的齿轮组a23同步转动,从而带动样品台1旋转。驱动组件3置于安装座4上并固定,起到定位、固定的作用。
24.整个装置采用采用驱动组件3驱动齿轮的转动,从而完成样品台1上承载样品的旋转,通过样品台1旋转固定角度,增加样件的可检测范围,无需额外人工手动搬运样品件,无需对x荧光光谱仪的单独改进。更无需对机器外形做重大改变即可实现测量范围的增加。
25.以上显示和描述了本实用新型的基本原理、主要特征和本实用新型的优点。本行业的技术人员应该了解,本实用新型不受上述实施例的限制,上述实施例和说明书中描述的只是说明本实用新型的原理,在不脱离本实用新型精神和范围的前提下,本实用新型还会有各种变化和改进,这些变化和改进都落入要求保护的本实用新型范围内。


技术特征:
1.一种可旋转式承载平台,包括样品台(1)、转动组件(2)、驱动组件(3)、安装座(4),其特征在于,所述样品台(1)的底部通过转动组件(2)与驱动组件(3)相连,并通过驱动组件(3)驱动转动组件(2)的转动带动样品台(1)的同步旋转;所述转动组件(2)包括转轴(21)、轴承座(22)、齿轮组a(23),所述转轴(21)的顶部固定于样品台(1)所在的底部位置,同时转轴(21)的底部输出轴贯穿轴承座(22)所在的安装座(4)并与下方的齿轮组a(23)连接,通过齿轮组a(23)的转动带动样品台(1)的同步旋转;所述驱动组件(3)包括输出电机(31)、齿轮组b(32),所述齿轮组b(32)位于输出电机(31)所在的输出轴上,且齿轮组b(32)与齿轮组a(23)过盈配合,通过所述输出电机(31)的转动带动位于转动组件(2)上的齿轮组a(23)同步转动,从而带动样品台(1)旋转。2.根据权利要求1所述的可旋转式承载平台,其特征在于,所述转动组件(2)的转轴(21)位于样品台(1)所在的中心位置。3.根据权利要求2所述的可旋转式承载平台,其特征在于,所述转轴(21)采用螺栓固定方式与样品台(1)所在的底部相连。4.根据权利要求1所述的可旋转式承载平台,其特征在于,所述安装座(4)与所在的中部开设有槽口,使轴承座(22)嵌装在槽口位置,同时安装座(4)与样品台(1)相互分离。5.根据权利要求1所述的可旋转式承载平台,其特征在于,所述齿轮组a(23)的输出轴方向与齿轮组b(32)的输出轴方向相互垂直。6.根据权利要求1所述的可旋转式承载平台,其特征在于,所述齿轮组a(23)与齿轮组b(32)采用伞齿轮结构,并过盈配合连接。

技术总结
本实用新型公开了一种可旋转式承载平台,包括样品台的底部通过转动组件与驱动组件相连,并通过驱动组件驱动转动组件的转动带动样品台的同步旋转,转动组件包括转轴、轴承座、齿轮组A,转轴的顶部固定于样品台所在的底部位置,同时转轴的底部输出轴贯穿轴承座所在的安装座并与下方的齿轮组A连接,通过齿轮组A的转动带动样品台的同步旋转驱动组件包括输出电机、齿轮组B,齿轮组B位于输出电机所在的输出轴上,且齿轮组B与齿轮组A过盈配合,通过所述输出电机的转动带动位于转动组件上的齿轮组A同步转动,从而带动样品台旋转。从而带动样品台旋转。从而带动样品台旋转。


技术研发人员:马云
受保护的技术使用者:江苏一六仪器有限公司
技术研发日:2022.06.16
技术公布日:2022/10/21
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