一种电容式薄膜规的检测装置的制作方法

1.本实用新型属于薄膜规检测装置技术领域，具体涉及一种电容式薄膜规的检测装置。


背景技术：

2.真空设备生产使用中会使用到较多的压力检测配件，其中电容式薄膜规是一种常用高精度的压力检测配件(例如互联网中：http：//www.stoneflowmeter.com/new-zkj/cfg500.html公开的薄膜真空计(即薄膜规))，在长时间使用中配件易发生损坏，如果是在生产过程中发生异常则会造成产品损坏，造成损失。为了能够提前测试到这种异常，我们需要一种电容式薄膜规的检测装置，对配件进行预防性检测，但现有技术中，常见的电容式薄膜规的检测装置较为复杂，且需要占用大量空间，检测不便，移动也不便。为此，我们需要一种体积较小，检测快捷，且移动便捷的电容式薄膜规的检测装置。


技术实现要素：

3.本实用新型的目的是而提供一种体积较小，检测快捷，且移动便捷的电容式薄膜规的检测装置。
4.本实用新型的技术方案如下：
5.一种电容式薄膜规的检测装置，包括移动装置和检测装置，所述检测装置包括可拆卸的并连在同一检测通道中的电容式薄膜规表头和标准压力计，所述检测通道的一端连接有针阀，所述针阀控制检测通道和大气连通，所述检测通道的另一端连接有角阀，所述角阀通过三管通道分别连接有分子泵和真空盲板，所述分子泵连接有真空泵；所述移动装置包括移动轮和用于安装检测装置的移动架，所述移动轮安装在移动架上。
6.本实用新型的有益效果是：
7.本实用新型通过设置标准压力计，将电容式薄膜规表头和标准压力计安装在同一通道中，对相同的通道进行真空检测，对比电容式薄膜规表头和标准压力计的数值偏差值，通过数值的对比即可直观的对电容式薄膜规进行判断，快速判断出电容式薄膜规是否有异常，能够直观、快速、准确的对电容式薄膜规进行判断，此外，本实用新型设置有移动装置，增强了检测装置的机动性和灵活性。
8.简而言之，本实用新型结构简单、体积小，能够快速判断电容式薄膜规是否有异常、快速对电容式薄膜规进行检测，且移动便捷。
9.进一步的，所述检测通道为一四通管道，所述电容式薄膜规表头、标准压力计、针阀、角阀均可拆卸的连接在四通管道上。
10.进一步的，所述角阀通过连接管道和所述四通管道连通。
11.进一步的，所述分子泵和所述真空泵通过波纹管连通。
12.本实用新型中分子泵和真空泵处通过波纹管连接，所述波纹管伸缩长度可变，将其设置在分子泵和真空泵处，可以在一定程度上缓冲管内气压，防止增压高发生爆管。
13.进一步的，所述移动架包括移动板和扶手架，所述扶手架固接在所述移动板上。
14.进一步的，所述移动板上设置有安装孔，所述移动轮安装在所述安装孔内。
附图说明
15.图1为本实用新型的系统示意图；
16.图2为本实用新型的侧视示意图；
17.图中，1.电容式薄膜规表头、2.标准压力计、3.针阀、4.角阀、5.分子泵、6、真空泵、7.移动轮、8.波纹管、9.移动板、10.扶手架、11.安装槽、12.真空盲板。
具体实施方式
18.下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
19.参看图1、2，一种电容式薄膜规的检测装置，包括移动装置和检测装置，所述检测装置包括可拆卸的并连在同一检测通道中的电容式薄膜规表头1和标准压力计2，所述检测通道的一端连接有针阀3，所述针阀3控制检测通道和大气连通，所述检测通道的另一端连接有角阀4，所述角阀4通过三管通道分别连接有分子泵5和真空盲板12，所述分子泵5连接有真空泵6；所述移动装置包括移动轮7和用于安装检测装置的移动架，所述移动轮7安装在移动架上，所述检测通道为一四通管道，所述电容式薄膜规表头1、标准压力计2、针阀3、角阀4均可拆卸的连接在四通管道上，所述角阀4通过连接管道和所述四通管道连通，所述分子泵5和所述真空泵6通过波纹管8连通，所述移动架包括移动板9和扶手架10，所述扶手架10固接在所述移动板9上，所述移动板9上设置有安装槽11，所述移动轮7安装在所述安装槽11内。
20.本实用新型对电容式薄膜规的检测流程如下：
21.1.先将电容式薄膜规表头1接入四通道的待测试接口处，如电容式薄膜规表头1和四通道接口处的接口不对应，需使用转接头；
22.2.将针阀3完全关闭使通道完全密封后将角阀4打开；
23.3.启动真空泵6，当标准压力计2显示值小于1torr时，启动分子泵5；
24.4.使用真空泵6抽气约5分钟后，打开针阀3，观察标准压力计2的压力值，将针阀3微调，将通道中的压力值调整至电容式薄膜规表头1量程的10％，观察电容式薄膜规表头1的表头上显示的压力值，和标准压力计2显示的压力值对比；
25.5.再次微调针阀3，将通道中的压力值调整至电容式薄膜规表头1量程的20％，观察电容式薄膜规表头14表头上显示的压力值，和标准压力计2显示的压力值对比；
26.6.按照比例多次调整管道内压力，观察电容式薄膜规表头1的表头上显示的压力值，和标准压力计2显示的压力值对比；
27.7.如偏差值大于5％，则需要将电容式薄膜规表头1重新校准后，重复步骤1-6再次对电容式薄膜规表头1检测；
28.8.检测结束后，先关闭分子泵5，再关闭真空泵6，打开针阀3，在通道内注入空气，
使通道到达大气压状态后，取下电容式薄膜规表头1。
29.尽管参照前述实施例对本实用新型进行了详细的说明，对于本领域的技术人员来说，其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换，凡在本实用新型的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围。


技术特征：
1.一种电容式薄膜规的检测装置，其特征在于：包括移动装置和检测装置，所述检测装置包括可拆卸的并连在同一检测通道中的电容式薄膜规表头和标准压力计，所述检测通道的一端连接有针阀，所述针阀控制检测通道和大气连通，所述检测通道的另一端连接有角阀，所述角阀通过三管通道分别连接有分子泵和真空盲板，所述分子泵连接有真空泵；所述移动装置包括移动轮和用于安装检测装置的移动架，所述移动轮安装在移动架上。2.根据权利要求1所述的一种电容式薄膜规的检测装置，其特征在于：所述检测通道为一四通管道，所述电容式薄膜规表头、标准压力计、针阀、角阀均可拆卸的连接在四通管道上。3.根据权利要求2所述的一种电容式薄膜规的检测装置，其特征在于：所述角阀通过连接管道和所述四通管道连通。4.根据权利要求1所述的一种电容式薄膜规的检测装置，其特征在于：所述分子泵和所述真空泵通过波纹管连通。5.根据权利要求1所述的一种电容式薄膜规的检测装置，其特征在于：所述移动架包括移动板和扶手架，所述扶手架固接在所述移动板上。6.根据权利要求5所述的一种电容式薄膜规的检测装置，其特征在于：所述移动板上设置有安装槽，所述移动轮安装在所述安装槽内。

技术总结
本实用新型公开了一种电容式薄膜规的检测装置，包括移动装置和检测装置，所述检测装置包括可拆卸的并连在同一检测通道中的电容式薄膜规表头和标准压力计，所述检测通道的一端连接有针阀，所述针阀控制检测通道和大气连通，所述检测通道的另一端连接有角阀，所述角阀通过三管通道分别连接有分子泵和真空盲板，所述分子泵连接有真空泵；所述移动装置包括移动轮和用于安装检测装置的移动架，所述移动轮安装在移动架上；本实用新型结构简单、体积小，能够快速判断待测物品是否有异常、快速对待测物品进行检测，且移动便捷。且移动便捷。且移动便捷。


技术研发人员：何旭 杨强
受保护的技术使用者：无锡木人科技有限公司
技术研发日：2022.07.25
技术公布日：2022/11/8