一种测量直径可调的平面度测试装置的制作方法

1.本实用新型涉及平面度测量技术领域，具体为一种测量直径可调的平面度测试装置。


背景技术：

2.随着光学材料应用的日益发展，光学材料已广泛用于通信、传感、图像传输、激光等领域，且对这些光学材料的要求越来越高，不仅要求极高的平面度，极小的表面粗糙度，而且要求表面无变质层，无划伤。光学材料的研磨和抛光工艺和设备对这些行业的发展起关键作用。
3.目前的技术现状是对于大尺寸(直径≥300mm)的光学材料加工样品，研磨后测平面度是用装有千分表的工装测量；对于小尺寸(直径＜300mm)的光学材料加工样品，传统的方法主要是用平尺放在加工面上，通过看是否有缝隙及缝隙的大小来判断研磨面型情况，检测不够精确，且测量范围有限。为此，我们提出一种测量直径可调的平面度测试装置。


技术实现要素：

4.本实用新型的目的在于提供一种测量直径可调的平面度测试装置，通过一个测量装置测量直径60-300mm之间不同尺寸的光学材料平面度，并配有一块精抛过的陶瓷清零底座，让每次调整测量直径后的测量更精准，解决传统的方法不够精确且人为判断对结果的影响过大，而带有千分表的工装太大无法测量特定样品的问题。
5.为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种测量直径可调的平面度测试装置，包括支架以及设置在支架中心的千分表，所述支架下方设置有至少三个可沿中心向四周水平滑动的支脚，所述千分表的探针与被测光学样品表面的中心接触，所述千分表通过检测探针与支脚的高度差测量光学样品的平面度；
6.所述平面度测试装置还包括一块表面经过抛光的底座，所述底座用于在测量前给平面度测试装置归零。
7.优选的，所述支架下方设置有至少三组滑块和滑轨，所述支脚安装在滑块上，滑块相对滑轨滑动用于调整支脚相对于探针的距离，进而调整平面度测试装置的测量直径。
8.优选的，多个支脚相对探针的水平距离相等。
9.优选的，所述探针底部为球型探头。
10.优选的，所述支脚相对探针的水平可调距离为30-150mm。
11.与现有技术相比，本实用新型的有益效果如下：
12.通过一个测量装置解决直径60-300mm之间不同尺寸光学材料的平面度测量问题，一方面可以适用尺寸不同的光学材料平面度，另一方面通过调整支脚与探针的距离，进而调整支脚覆盖的范围，最后调整平面度测量的精度。配有一块精抛过的陶瓷清零底座，让每次调整测量直径后的测量更精准，从而减少测量误差。
附图说明
13.图1为本实用新型结构示意图；
14.图2为本实用新型俯视图。
15.图中：1、千分表；2、支架；3、滑轨；4、滑块；5、支脚；6、探针；7、底座。
具体实施方式
16.下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
17.请参阅图1-2，一种测量直径可调的平面度测试装置，包括上部的测量装置包括千分表1和支架2，支架2为不锈钢支架，不锈钢支架下方有三条高精度的滑轨3及精密滑块，每个滑块4上装有陶瓷支脚放于研磨后光学样品表面确定一个面，钨钢探针与这个面的中心接触，另一端与千分表1相连读取这个面中心与四周的高度差以达到测量平面度的目的；装置下部是一块表面经过高抛的陶瓷底座，用于当基准面在测量前给装置归零。
18.不锈钢支架，每条边长50～160mm；宽10～50mm。每条高精度滑轨长40～150mm；宽8～40mm。精密滑块与高精度滑轨紧密连接，滑块4为正方形边长30～40mm。每个陶瓷支脚直径2～4mm，露出量3～5mm。钨钢探针前方为球型探头，以免划伤光学材料研磨面。陶瓷底座直径200～300mm，表面加工面型平面度0.5～2um。光学材料可为玻璃、晶体、有机化合物中的一种。
19.实施例一：
20.如图1和2所示，一种测量直径可调的平面度测量装置，其上部的测量装置包括千分表1和不锈钢支架，支架2下方有三条高精度滑轨及精密滑块，滑块4上的陶瓷支脚放于研磨后光学样品表面确定一个面，钨钢探针与这个面的中心接触，另一端与千分表1相连读取这个面中心与四周的高度差以达到测量平面度的目的；装置下部是一块表面经过高抛的陶瓷底座，用于当基准面在测量前给装置归零。
21.待测光学材料直径60mm，不锈钢支架三条边长160mm，宽30mm，下部高精度滑轨长150mm，宽20mm，滑轨3上精密滑块为正方形，边长40mm，每个精密滑块上都有一个陶瓷支脚直径2.5mm，露出量3mm；钨钢探针前方为球型探头，以免划伤光学材料研磨面；陶瓷底座直径300mm，表面加工面型平面度1um。
22.装置使用方法为：将三个精密滑块调节到合适位置使三个陶瓷支脚构成的一个直径为60mm的圆；然后稳定放置于陶瓷底座上，按下千分表1归零键进行清零操作；光学材料研磨面用纯水及酒精擦干净不留脏污；将清零后的测量装置稳定放置于待测光学材料研磨面上，读取千分表1读数记录平面度值即可。
23.实施例二：
24.如图1和2所示，一种测量直径可调的平面度测量装置，其上部的测量装置包括千分表1和不锈钢支架，支架2下方有三条高精度滑轨及精密滑块，滑块4上的陶瓷支脚放于研磨后光学样品表面确定一个面，钨钢探针与这个面的中心接触，另一端与千分表1相连读取这个面中心与四周的高度差以达到测量平面度的目的；装置下部是一块表面经过高抛的陶
瓷底座，用于当基准面在测量前给装置归零。
25.待测光学材料直径100mm，不锈钢支架三条边长160mm，宽30mm，下部高精度滑轨长150mm，宽20mm，滑轨3上精密滑块为正方形，边长40mm，每个精密滑块上都有一个陶瓷支脚直径2.5mm，露出量3mm；钨钢探针前方为球型探头，以免划伤光学材料研磨面；陶瓷底座直径300mm，表面加工面型平面度1um。
26.装置使用方法为：将三个精密滑块调节到合适位置使三个陶瓷支脚构成的一个直径为100mm的圆；然后稳定放置于陶瓷底座上，按下千分表1归零键进行清零操作；光学材料研磨面用纯水及酒精擦干净不留脏污；将清零后的测量装置稳定放置于待测光学材料研磨面上，读取千分表1读数记录平面度值即可。
27.本实用新型通过一个测量装置解决直径60-300mm之间不同尺寸光学材料的平面度测量问题，一方面可以适用尺寸不同的光学材料平面度，另一方面通过调整支脚5与探针6的距离，进而调整支脚5覆盖的范围，最后调整平面度测量的精度。配有一块精抛过的陶瓷清零底座7，让每次调整测量直径后的测量更精准，从而减少测量误差。
28.尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。


技术特征：
1.一种测量直径可调的平面度测试装置，其特征在于：包括支架(2)以及设置在支架(2)中心的千分表(1)，所述支架(2)下方设置有至少三个可沿中心向四周水平滑动的支脚(5)，所述千分表(1)的探针(6)与被测光学样品表面的中心接触，所述千分表(1)通过检测探针(6)与支脚(5)的高度差测量光学样品的平面度；所述平面度测试装置还包括一块表面经过抛光的底座(7)，所述底座(7)用于在测量前给平面度测试装置归零。2.根据权利要求1所述的一种测量直径可调的平面度测试装置，其特征在于：所述支架(2)下方设置有至少三组滑块(4)和滑轨(3)，所述支脚(5)安装在滑块(4)上，滑块(4)相对滑轨(3)滑动用于调整支脚(5)相对于探针(6)的距离，进而调整平面度测试装置的测量直径。3.根据权利要求2所述的一种测量直径可调的平面度测试装置，其特征在于：多个支脚(5)相对探针(6)的水平距离相等。4.根据权利要求1所述的一种测量直径可调的平面度测试装置，其特征在于：所述探针(6)底部为球型探头。5.根据权利要求1所述的一种测量直径可调的平面度测试装置，其特征在于：所述支脚(5)相对探针(6)的水平可调距离为30-150mm。

技术总结
本实用新型涉及平面度测量技术领域，具体为一种测量直径可调的平面度测试装置，包括支架以及设置在支架中心的千分表，支架下方设置有至少三个可沿中心向四周水平滑动的支脚，千分表的探针与被测光学样品表面的中心接触，千分表通过检测探针与支脚的高度差测量光学样品的平面度；平面度测试装置还包括一块表面经过抛光的底座，底座用于在测量前给平面度测试装置归零。本实用新型通过一个测量装置解决直径60-300mm之间不同尺寸光学材料的平面度测量问题，并配有一块精抛过的陶瓷清零底座，让每次调整测量直径后的测量更精准。每次调整测量直径后的测量更精准。每次调整测量直径后的测量更精准。


技术研发人员：刘凯 包翔 胡露 汪兆铭 胡宇浩
受保护的技术使用者：长飞（武汉）光系统股份有限公司
技术研发日：2022.07.28
技术公布日：2022/11/21