一种晶圆切割切口检测设备的制作方法

本技术涉及切口检测，具体为一种晶圆切割切口检测设备。

背景技术：

1、现有的申请号：cn201420799832.x，公开了一种晶圆切割切口检测设备，包括用于承载晶圆的暗箱，所述暗箱底部中心处设有承载台，所述暗箱顶部对称分布光源入口和光源出口，所述光源入口处设有红外线发射装置，所述光源出口处设有红外线接收装置，所述红外线接收装置与cpu控制装置相连，所述cpu控制装置与数据显示装置相连。结构简单，操作方便，利用红外线发射装置发射红外线，照射到切口处反射到红外线接收装置，通过cpu控制装置处理反射后的红外信号，在显示装置上显示cpu控制装置的处理结果。若反射波均匀，则说明切口完好，若反射波出现波动，则说切口有缺陷。

2、但是上述装置，在放置晶圆时较为麻烦，同时用过红外线的照射通过晶圆的反射进行检测，精度不高，影响产品的质量，同时采用避光玻璃。

3、为此，我们发明一种晶圆切割切口检测设备。

技术实现思路

1、鉴于上述和/或现有一种晶圆切割切口检测设备中存在的问题，提出了本实用新型。

2、因此，本实用新型的目的是提供一种晶圆切割切口检测设备，能够解决上述提出现有在放置晶圆时较为麻烦，同时用过红外线的照射通过晶圆的反射进行检测，精度不高，影响产品的质量，同时采用避光玻璃的问题。

3、为解决上述技术问题，根据本实用新型的一个方面，本实用新型提供了如下技术方案：

4、一种晶圆切割切口检测设备，其包括：放置台，还包括与放置台连接的用于对晶圆的切口进行扫描的扫描检测结构；

5、扫描检测结构包括：

6、安装与放置台顶端用于放置待扫描的晶圆地放置组件；

7、安装与放置台上方的用于扫描晶圆的3d扫描仪；及

8、用于减少外壁光源影响扫描效果的隔绝组件。

9、作为本实用新型所述的一种晶圆切割切口检测设备的一种优选方案，其中：所述放置组件包括：承载台，承载台固定安装与放置台顶端，承载台的顶端铺设有保护膜，保护膜的顶端放置晶圆。

10、作为本实用新型所述的一种晶圆切割切口检测设备的一种优选方案，其中：隔绝组件包括：

11、顶板，顶板设于的放置台，顶板顶端与放置台底端固定连接有连接架；

12、滑槽，滑槽开设与放置台内，其顶端设为开口结构；

13、暗框，暗框外壁与滑槽内壁滑动连接，暗框顶端固定连接有顶部密封板；及

14、推动组件，推动组件顶端与暗框外侧连接。

15、作为本实用新型所述的一种晶圆切割切口检测设备的一种优选方案，其中：所述顶板底端开设有连接槽，连接槽内壁与顶部密封板外壁滑动连接。

16、作为本实用新型所述的一种晶圆切割切口检测设备的一种优选方案，其中：所述推动组件包括：

17、导向滑槽，导向滑槽开设于滑槽两侧；

18、导向块，导向块固定安装于暗框两侧的底端；及

19、伸缩杆，伸缩杆底端与放置台的底端固定连接，伸缩杆的顶端与导向块固定连接。

20、作为本实用新型所述的一种晶圆切割切口检测设备的一种优选方案，其中：所述3d扫描仪顶端与顶板底端连接处安装有角度调节结构。

21、作为本实用新型所述的一种晶圆切割切口检测设备的一种优选方案，其中：角度调节结构包括：

22、支撑杆，支撑杆顶端与顶板底端固定连接，支撑杆底端开设有凹槽；

23、安装架，安装架固定安装与支撑杆一侧，安装架上固定安装有电机，安装架另一侧固定安装有减速机，减速机的输入端与电机的输出端之间连接有联轴器，减速机的输出端延伸至凹槽内固定连接有转轴，转轴外壁与3d扫描仪顶端固定连接。

24、作为本实用新型所述的一种晶圆切割切口检测设备的一种优选方案，其中：暗框内壁贴合有用于避免反光的防反光膜。

25、与现有技术相比：

26、将切割后的晶圆放置于承载台顶端的保护膜上，控制伸缩杆推动导向块沿着导向滑槽进行上升，带动暗框沿着滑槽上升，将其顶端的顶部密封板与顶板底端开设的连接槽连接，隔绝外部光源；

27、打开d扫描仪，电机通过联轴器、减速机、转轴从而带动d扫描仪进行角度调节，对晶圆进行扫描，将扫描后的数据传输至成像的电脑上，观察切口，提高检测精度。

技术特征：

1.一种晶圆切割切口检测设备，包括放置台(1)，其特征在于：还包括与放置台(1)连接地用于对晶圆(3)的切口进行扫描的扫描检测结构；

2.根据权利要求1所述的一种晶圆切割切口检测设备，其特征在于，所述放置组件包括：承载台(5)，承载台(5)固定安装与放置台(1)顶端，承载台(5)的顶端铺设有保护膜(4)，保护膜(4)的顶端放置晶圆(3)。

3.根据权利要求2所述的一种晶圆切割切口检测设备，其特征在于，隔绝组件包括：

4.根据权利要求3所述的一种晶圆切割切口检测设备，其特征在于，所述顶板(2)底端开设有连接槽(20)，连接槽(20)内壁与顶部密封板(19)外壁滑动连接。

5.根据权利要求3所述的一种晶圆切割切口检测设备，其特征在于，所述推动组件包括：

6.根据权利要求5所述的一种晶圆切割切口检测设备，其特征在于，所述3d扫描仪(7)顶端与顶板(2)底端连接处安装有角度调节结构。

7.根据权利要求6所述的一种晶圆切割切口检测设备，其特征在于，角度调节结构包括：

8.根据权利要求3所述的一种晶圆切割切口检测设备，其特征在于，暗框(14)内壁贴合有用于避免反光的防反光膜(22)。

技术总结
本技术公开的属于切口检测技术领域，具体为一种晶圆切割切口检测设备，包括放置台，还包括与放置台连接的用于对晶圆的切口进行扫描的扫描检测结构；扫描检测结构包括：安装与放置台顶端用于放置待扫描的晶圆地放置组件；安装与放置台上方的用于扫描晶圆的3D扫描仪；及用于减少外壁光源影响扫描效果的隔绝组件，本技术打开D扫描仪，电机通过联轴器、减速机、转轴从而带动D扫描仪进行角度调节，对晶圆进行扫描，将扫描后的数据传输至成像的电脑上，观察切口，提高检测精度。

技术研发人员：朱玮,胡赵,祝树青
受保护的技术使用者：苏州浦丰鑫电子科技有限公司
技术研发日：20220906
技术公布日：2024/1/12