一种扫描电镜样品台的制作方法

本技术涉及半导体芯片制造，涉及一种扫描电镜样品台。

背景技术：

1、扫描电镜是一种样品制备简单、分辨高、综合分析能力强的测试分析设备，目前广泛应用于各类材料的表面和截面微观分析。在制备扫描电镜样品时通常使用碳导电胶带将样品粘贴在样品台上，但对于一些特殊的样品使用导电胶带粘贴容易造成样品污染，取下样品时也容易损坏样品，在观察时想要寻找特殊的位置观察需要花费时间寻找，或者提前用记号笔做标注，但这样会对样品造成污染，而记号笔的标记中的挥发性物质也会对扫描电镜的真空环境造成影响，此外一般的扫描电镜样品台多为美铝合金制成的圆形台，样品观测时平贴在样品台上，想要从多角度观察样品有一定困难。

技术实现思路

1、针对现有技术存在的问题，本实用新型提供了一种避免导电胶带对样品的污染以及满足在电镜下快速寻找的要观察的区域，从多角度观察样品的扫描电镜样品台，

2、本实用新型是这样实现的，一种扫描电镜样品台，包括基台，所述基台的一侧两个基座，两个基座之间通过转轴安装有样品夹，所述样品夹包括由导电材料制成的下夹持片和上夹持片，所述上夹持片的上表面靠近端部位置通过转轴安装有具有导性能的标记指针；所述上夹持片包括靠近基台铰接端设有拱高部和位于夹持端的夹持部。

3、优选的，所述上夹持片和下夹持片的夹持面上涂覆有导电层。

4、优选的，所述上夹持片和下夹持片的两侧设有夹持凸耳；上夹持片和下夹持片成交错设置。

5、优选的，所述基座和转轴之间安装有阻尼套。

6、优选的，所述基座的外侧面上设有角度盘，所述转轴的端部设有直接读取样品夹相对于基台上表面倾斜角度的角度指针。

7、优选的，所述下夹持片和上夹持片采用铜材料制成。

8、优选的，所述位置标记指针采用铜或银材料制成。

9、本实用新型具有的优点和技术效果：

10、由于本实用新型采用上述技术方案，使用时样品夹将样品夹住固定，样品夹既具有传统导电胶带固定样品的作用，同时也能起到增强样品导电性作用，同时避免了使用导电胶带对样品的污染，取下样品时不易损坏样品；本实用新型样品夹相对基台上表面可以旋转，满足了多角度观察样品的需求；实用新型设置的标记指针，待固定好样品后，转动标记指针，使其指向待观测位置，方便电镜下寻找该位置，同时位置标记指针尖端指向待观察位置。

技术特征：

1.一种扫描电镜样品台，包括基台，所述基台的一侧两个基座，两个基座之间通过转轴安装有样品夹，所述样品夹包括由导电材料制成的下夹持片和上夹持片，所述上夹持片的上表面靠近端部位置通过转轴安装有具有导性能的标记指针；所述上夹持片包括靠近基台铰接端设有拱高部和位于夹持端的夹持部。

2.根据权利要求1所述的扫描电镜样品台，其特征在于：所述上夹持片和下夹持片的夹持面上涂覆有导电层。

3.根据权利要求1所述的扫描电镜样品台，其特征在于：所述上夹持片和下夹持片的两侧设有夹持凸耳；上夹持片和下夹持片成交错设置。

4.根据权利要求1所述的扫描电镜样品台，其特征在于：所述基座和转轴之间安装有阻尼套。

5.根据权利要求1所述的扫描电镜样品台，其特征在于：所述基座的外侧面上设有角度盘，所述转轴的端部设有直接读取样品夹相对于基台上表面倾斜角度的角度指针。

6.根据权利要求1所述的扫描电镜样品台，其特征在于：所述下夹持片和上夹持片采用铜材料制成。

7.根据权利要求1所述的扫描电镜样品台，其特征在于：所述位置标记指针采用铜或银材料制成。

技术总结
本技术公开了一种扫描电镜样品台，属于半导体芯片制造技术领域；包括基台，所述基台的一侧两个基座，两个基座之间通过转轴安装有样品夹，所述样品夹包括由导电材料制成的下夹持片和上夹持片，所述上夹持片的上表面靠近端部位置通过转轴安装有具有导性能的标记指针；所述上夹持片包括靠近基台铰接端设有拱高部和位于夹持端的夹持部。采用上述技术方案，本技术可以避免导电胶带对样品的污染以及满足在电镜下快速寻找的要观察的区域，同时可以满足多角度观察样品的需求。

技术研发人员：张昊,曲迪,宋学颖,梁娟,王磊,王俊,陈帅
受保护的技术使用者：华慧科锐（天津）科技有限公司
技术研发日：20221024
技术公布日：2024/1/11