升降调节装置及微粒检测设备的制作方法

本技术涉及微粒检测设备，特别是涉及一种升降调节装置及微粒检测设备。

背景技术：

1、光束定位系统(beam position system，bps)是微粒检测设备的重要组成部分之一，光束定位系统是一种在接收入射光(入射光为斜射光，oblique)到晶圆(wafer)后能够形成反射光的光束接收电子器件。在检测微粒数量的过程中，需要调节光束定位板的高度位置，以使光束定位板的高度与安装于晶圆卡盘上的晶圆的高度对应。

2、相关技术中，光束定位板通过上下两个螺丝固定在微粒检测设备上，在调节光束定位板的高度位置时，需要用螺丝刀多次上下调节两颗螺丝，耗费的时间较长。

技术实现思路

1、基于此，有必要提供一种能够在短时间内调节好光束定位板的高度位置的升降调节装置及微粒检测设备。

2、根据本申请的一个方面，提供一种升降调节装置，用于微粒检测设备，所述微粒检测设备包括设备本体和光束定位板，所述升降调节装置连接于所述设备本体和所述光束定位板之间；所述升降调节装置包括：

3、调节筒体，具有一回转轴线，所述调节筒体绕所述回转轴线可转动地设于所述设备本体上，所述调节筒体的内壁上设有内螺纹；

4、调节杆，所述调节杆的外壁上设有能够与所述内螺纹相配合的外螺纹，所述调节杆的一端伸入所述调节筒体内，另一端用于连接所述光束定位板；及

5、第一限位单元，安装于所述设备本体上，所述第一限位单元用于限制所述调节筒体沿第一方向移动；所述第一方向为与所述回转轴线平行的方向。

6、上述升降调节装置，通过设置相配合的调节筒体和调节杆，以使调节筒体在响应外力的作用下转动时能够驱动调节杆第一方向移动，从而使调节杆带动光束定位板沿第一方向移动，操作简单，能够大大缩短调节时间；通过按需设置调节筒体和调节杆的螺距，并控制调节筒体每次带动调节螺杆移动的螺距数，从而提高调节的精度。

7、在其中一个实施例中，所述升降调节装置还包括第一固定件和第一轴承；

8、所述第一固定件连接所述设备本体，所述第一固定件开设有第一轴承安装孔；

9、所述第一轴承借助所述第一轴承安装孔安装于所述第一固定件；所述调节筒体可转动地连接所述第一轴承。

10、在其中一个实施例中，所述第一限位单元包括两个连接所述设备本体的第一限位件，其中一个所述第一限位件与所述调节筒体沿所述第一方向的一侧部分相抵，另一所述第一限位件与所述调节筒体沿所述第一方向的另一侧部分相抵；

11、每一所述第一限位件在参考面上的正投影与所述调节筒体在所述参考面上的正投影部分重合；所述参考面为垂直于所述第一方向的平面。

12、在其中一个实施例中，所述升降调节装置设有两个所述调节筒体、两个所述调节杆和两个所述第一限位单元；

13、两个所述调节筒体沿与所述第一方向垂直的第二方向间隔设置；

14、其中一个所述调节杆与其中一个所述调节筒体配合，另一所述调节杆与另一所述调节筒体配合；

15、其中一个所述第一限位单元用于限制其中一个所述调节筒体沿所述第一方向移动，另一所述第一限位单元用于限制另一所述调节筒体沿所述第一方向移动。

16、在其中一个实施例中，所述升降调节装置还包括连接件、第一齿轮和第二齿轮；

17、所述连接件可转动地设于所述设备本体上，所述连接件沿与所述第一方向垂直的第二方向纵长延伸设置；

18、所述第一齿轮套接于所述连接件，所述连接件构造为能够响应外力作用而带动所述第一齿轮绕所述第一齿轮的轴线转动；

19、所述第二齿轮被配置为能够与所述第一齿轮咬合，所述第二齿轮套接于所述调节筒体沿所述第一方向远离所述光束定位板的一端，所述第二齿轮构造为能够带动所述调节筒体转动。

20、在其中一个实施例中，所述升降调节装置还包括第二固定件和第二轴承；

21、所述第二固定件连接所述设备本体上，所述第二固定件开设有第二轴承安装孔；

22、所述第二轴承借助所述第二轴承安装孔安装于所述第二固定件；所述连接件可转动地连接所述第二轴承。

23、在其中一个实施例中，所述升降调节装置还包括支撑单元；

24、所述支撑单元安装于所述设备本体上，所述支撑单元靠近所述第二齿轮的一侧与所述第二齿轮相抵，所述支撑单元用于支撑所述第二齿轮；

25、所述第二固定件和所述支撑单元沿所述第一方向间隔设置，并共同界定形成限位空间，所述第二齿轮位于所述限位空间，以限制所述第二齿轮沿所述第一方向移动。

26、在其中一个实施例中，所述升降调节装置还包括第三固定件和第三轴承；

27、所述第三固定件安装于所述设备本体上，所述第三固定件开设有第三轴承安装孔；

28、所述第三轴承借助所述第三轴承安装孔安装于所述第三固定件；所述连接件可转动地连接所述第三轴承。

29、在其中一个实施例中，所述升降调节装置设有两个所述调节筒体、两个所述调节杆、两个所述第一限位单元、两个所述第一齿轮和两个所述第二齿轮；

30、两个所述第一齿轮沿所述第二方向间隔设于所述连接件上；

31、其中一个所述调节筒体、其中一个所述调节杆、其中一个所述第一限位单元、其中一个所述第一齿轮和其中一个所述第二齿轮共同组成一个调节组件；另一所述调节筒体、另一所述调节杆、另一所述第一限位单元、另一所述第一齿轮和另一所述第二齿轮共同组成另一调节组件。

32、根据本申请的另一个方面，提供一种微粒检测设备，包括设备本体、光束定位板和上述任一项所述的升降调节装置；所述升降调节装置设于设备本体和所述光束定位板之间，用于调节所述光束定位板在所述第一方向上的位置。

技术特征：

1.一种升降调节装置，用于微粒检测设备，所述微粒检测设备包括设备本体和光束定位板，其特征在于，所述升降调节装置连接于所述设备本体和所述光束定位板之间；所述升降调节装置包括：

2.根据权利要求1所述的升降调节装置，其特征在于，所述升降调节装置还包括第一固定件和第一轴承；

3.根据权利要求1所述的升降调节装置，其特征在于，所述第一限位单元包括两个连接所述设备本体的第一限位件，其中一个所述第一限位件与所述调节筒体沿所述第一方向的一侧部分相抵，另一所述第一限位件与所述调节筒体沿所述第一方向的另一侧部分相抵；

4.根据权利要求1-3任一项所述的升降调节装置，其特征在于，所述升降调节装置设有两个所述调节筒体、两个所述调节杆和两个所述第一限位单元；

5.根据权利要求1-3任一项所述的升降调节装置，其特征在于，所述升降调节装置还包括连接件、第一齿轮和第二齿轮；

6.根据权利要求5所述的升降调节装置，其特征在于，所述升降调节装置还包括第二固定件和第二轴承；

7.根据权利要求6所述的升降调节装置，其特征在于，所述升降调节装置还包括支撑单元；

8.根据权利要求5所述的升降调节装置，其特征在于，所述升降调节装置还包括第三固定件和第三轴承；

9.根据权利要求5所述的升降调节装置，其特征在于，所述升降调节装置设有两个所述调节筒体、两个所述调节杆、两个所述第一限位单元、两个所述第一齿轮和两个所述第二齿轮；

10.一种微粒检测设备，其特征在于，包括设备本体、光束定位板和如权利要求1-9任一项所述的升降调节装置；所述升降调节装置设于设备本体和所述光束定位板之间，用于调节所述光束定位板在所述第一方向上的位置。

技术总结
本技术涉及一种升降调节装置及微粒检测设备，升降调节装置包括：调节筒体，具有一回转轴线，调节筒体绕回转轴线可转动地设于设备本体上，调节筒体的内壁上设有内螺纹；调节杆，调节杆的外壁上设有能够与内螺纹相配合的外螺纹，调节杆的一端伸入调节筒体内，另一端用于连接光束定位板；第一限位单元，安装于设备本体上，第一限位单元用于限制调节筒体沿第一方向移动。上述升降调节装置，通过设置相配合的调节筒体和调节杆，以使调节筒体在响应外力的作用下转动时能够驱动调节杆第一方向移动，从而使调节杆带动光束定位板沿第一方向移动，操作简单，能够大大缩短调节时间；通过按需设置调节筒体和调节杆的螺距，能够提高调节的精度。

技术研发人员：段珏江,拉海忠,闫晓晖
受保护的技术使用者：上海积塔半导体有限公司
技术研发日：20221202
技术公布日：2024/1/12