一种臭氧水浓度检测装置的制作方法

本技术涉及测量装置，尤其涉及一种臭氧水浓度检测装置。

背景技术：

1、臭氧是一种绿色环保的强氧化剂，广泛地应用于消毒、灭菌、去除有机污染物、脱色除嗅、食物保鲜和空气净化诸多领域。臭氧水用于晶圆、太阳能电池加工中的清洗、氧化、医疗领域消毒清洗等，其臭氧水浓度需要根据不同的应用场合进行调整。

2、目前在检测臭氧水浓度时，多是使用光源上不同的两个点来检测臭氧水管路中两个节点的臭氧水数据，根据该两个节点的臭氧水数据计算出臭氧水浓度。但是，由于光源上不同点的光强不同，且光强随温度变化，所测得的臭氧水浓度并不准确。

技术实现思路

1、本实用新型的目的是为了解决现有技术中存在的使用光源上不同的两个点来检测臭氧水浓度，测量结果不准确的缺点，而提出的一种臭氧水浓度检测装置。

2、为实现上述目的，本实用新型采用了如下技术方案：一种臭氧水浓度检测装置，包括壳体、取样单元、检测光单元、检测单元和处理单元，壳体上设有进液口和出液口；取样单元设置在壳体内，取样单元包括第一管路和第二管路，第一管路与进液口连接，第二管路与出液口连接，第一管路与第二管路连通，第一管路与第二管路互相垂直设置；检测光单元设置在壳体内，检测光单元包括光源和半透半反件，半透半反件与第一管路之间的距离等于半透半反件与第二管路之间的距离，光源设置在半透半反件远离第一管路的一侧，光源与半透半反件所在的直线与第一管路垂直，或者，光源设置在半透半反件远离第二管路的一侧，光源与半透半反件所在的直线与第二管路垂直；检测单元设置在壳体内，检测单元包括第一光电探测器和第二光电探测器，第一光电探测器设置在第一管路远离半透半反件一侧的外壁上与半透半反件对应的位置，第二光电探测器设置在第二管路远离半透半反件一侧的外壁上与半透半反件对应的位置；第一光电探测器与处理单元信号连接，第二光电探测器与处理单元信号连接。

3、较佳地，进液口和出液口设置在壳体的同一侧壁上。进一步地，取样单元还包括第三管路，第二管路通过第三管路与出液口连接。

4、较佳地，第一管路和第二管路由ptfe（聚四氟乙烯）制备而成。

5、较佳地，所述第一管路的内径等于所述第二管路的内径。

6、较佳地，光源为紫外光源。

7、与现有技术相比，本实用新型的有益效果为：通过设置互相垂直的第一管路和第二管路，配合光源和半透半反件，半透半反件与第一管路之间的距离等于半透半反件与第二管路之间的距离，使得经半透半反件透射和反射的两束光到达第一管路和第二管路的光强相同，从而使浓度检测更加稳定、准确；通过在壳体上设置进液口和出液口，该检测装置可以通过进液口和出液口集成到臭氧水输送管道中，以能够对臭氧水溶液就地测量，无需采集臭氧水样本，使检测过程简单易操作。

技术特征：

1.一种臭氧水浓度检测装置，其特征在于，包括：

2.如权利要求1所述的一种臭氧水浓度检测装置，其特征在于，所述进液口和所述出液口设置在所述壳体的同一侧壁上。

3.如权利要求2所述的一种臭氧水浓度检测装置，其特征在于，所述取样单元还包括第三管路，所述第二管路通过所述第三管路与所述出液口连接。

4.如权利要求1所述的一种臭氧水浓度检测装置，其特征在于，所述第一管路和所述第二管路由ptfe制备而成。

5.如权利要求1所述的一种臭氧水浓度检测装置，其特征在于，所述第一管路的内径等于所述第二管路的内径。

6.如权利要求1所述的一种臭氧水浓度检测装置，其特征在于，所述光源为紫外光源。

技术总结
本技术提供一种臭氧水浓度检测装置，包括壳体、取样单元、检测光单元、检测单元和处理单元，通过设置互相垂直的第一管路和第二管路，配合光源和半透半反件，半透半反件与第一管路之间的距离等于半透半反件与第二管路之间的距离，使得经半透半反件透射和反射的两束光到达第一管路和第二管路的光强相同，从而使浓度检测更加稳定、准确；通过在壳体上设置进液口和出液口，该检测装置可以通过进液口和出液口集成到臭氧水输送管道中，以能够对臭氧水溶液就地测量，无需采集臭氧水样本，使检测过程简单易操作。

技术研发人员：艾凡凡,刘书会
受保护的技术使用者：苏州晶拓半导体科技有限公司
技术研发日：20221209
技术公布日：2024/1/12