炉体在线实时取样装置和CVD炉在线实时取样检测装置的制作方法

本技术涉及取样检测，特别涉及一种炉体在线实时取样装置和cvd炉在线实时取样检测装置。

背景技术：

1、因硅基材料在充放电过程中巨大的体积膨胀，采用碳包覆是一种很好的缓冲膨胀的方式，又可以在一定程度上提高硅基材料的导电性，对于材料的循环性能有大大的提升，包覆效果的好坏直接影响了材料的最终性能，因此对材料包覆效果的评估就显得尤为重要。

2、现有通过碱熔法来评估硅材料碳包覆的完整性，通过反应是否有气体产生来评估硅是否完全被碳层包覆，而由于纳米硅材料极容易发生氧化反应，氧化后的硅材料与碱反应并不会出现气体，如此影响评估的准确性，因此需要在包覆的过程中实时取样，尽可能的避免氧化反应的发生，以提高检测结果的准确性。

3、现有的对炉内硅基材料碳包覆完整性检测，大多需要从炉内取出硅基材料，如此需要关闭或临时关闭cvd炉，如此影响对硅基材料的加工效率，而且取出的硅基材料容易在空气中发生氧化，影响检测硅基材料的精确性，且降低检测效率。

4、上述内容仅用于辅助理解本申请的技术方案，并不代表承认上述内容是现有技术。

技术实现思路

1、本实用新型的主要目的是提供一种炉体在线实时取样装置，旨在能够实现对vcd炉内的硅材料实时取样检测，以提高检测的质量以及效率，保证碳包覆的完整性。

2、为实现上述目的，本实用新型提出的炉体在线实时取样装置，包括：

3、炉体；

4、取样管组件，所述取样管组件包括取样管道与三通阀体，所述取样管道连接于所述炉体炉口，所述三通阀体安装于所述取样管道内，用于取样与排气间的转换；以及

5、取样结构，所述取样结构包括取样件与移动件，所述取样件安装于所述移动件上面，且所述移动件安装于所述取样管道内，且驱动所述取样件移动，所述取样件中空，且端部带有取样孔。

6、可选地，所述取样件背离所述移动件的端部带有斜面，所述取样孔靠近所述斜面。

7、可选地，所述移动件包括输送结构与滑轮结构，所述输送结构设置于所述取样管道内壁，所述滑轮结构滑动安装于所述输送结构上，且与所述取样件转动连接。

8、可选地，所述输送结构为导轨结构，所述导轨结构的一端伸入至所述炉体内，且所述导轨结构的一端呈弧形。

9、可选地，所述取样管组件还包括排气结构与封堵件，所述封堵件安装于所述取样管道背离所述炉体的一端，所述排气结构连接于所述取样管道的侧面，且与所述三通阀体连通。

10、可选地，所述封堵件上开设有贯通孔，便于样品的取出。

11、可选地，所述三通阀体连通所述三通阀体两侧所述取样管道的通道内设置轨道，且轨道与所述导轨结构对接，便于所述滑轮结构在所述取样管道内移动。

12、可选地，所述排气结构包括排气管道与集气件，所述排气管道连通所述取样管道，且所述排气管道的一端伸入到所述集气件内。

13、可选地，所述取样管组件还包括冷凝件，所述冷凝件套接于所述取样管道上。

14、本实用新型还提出一种cvd炉在线实时取样检测装置，包括所述炉体在线实时取样装置与检测结构，所述检测结构设置于所述炉体一侧，用于对样品进行碳包覆层完整性检测。

15、本实用新型技术方案通过在炉口连接取样管道，通过驱动移动件移动带动取样件在取样管道内移动，在取样件移动至炉本体内时，取样件在重力的作用下自动转动，使得取样件的端部自动插入到炉本体内的硅材料中，硅材料通过取样孔落入到取样件内，再在移动件的驱动下使得取样件离开炉本体，完成实时取样，实现了在封闭环境下的取样，避免硅材料氧化反应的发生，有利于保证检测结果的精确性。

技术特征：

1.一种炉体在线实时取样装置，其特征在于，包括：

2.如权利要求1所述的炉体在线实时取样装置，其特征在于，所述取样件背离所述移动件的端部带有斜面，所述取样孔靠近所述斜面。

3.如权利要求1所述的炉体在线实时取样装置，其特征在于，所述移动件包括输送结构与滑轮结构，所述输送结构设置于所述取样管道内壁，所述滑轮结构滑动安装于所述输送结构上，且与所述取样件转动连接。

4.如权利要求3所述的炉体在线实时取样装置，其特征在于，所述输送结构为导轨结构，所述导轨结构的一端伸入至所述炉体内，且所述导轨结构的一端呈弧形。

5.如权利要求4所述的炉体在线实时取样装置，其特征在于，所述取样管组件还包括排气结构与封堵件，所述封堵件安装于所述取样管道背离所述炉体的一端，所述排气结构连接于所述取样管道的侧面，且与所述三通阀体连通。

6.如权利要求5所述的炉体在线实时取样装置，其特征在于，所述封堵件上开设有贯通孔，便于样品的取出。

7.如权利要求5所述的炉体在线实时取样装置，其特征在于，所述三通阀体连通所述三通阀体两侧所述取样管道的通道内设置轨道，且轨道与所述导轨结构对接，便于所述滑轮结构在所述取样管道内移动。

8.如权利要求5所述的炉体在线实时取样装置，其特征在于，所述排气结构包括排气管道与集气件，所述排气管道连通所述取样管道，且所述排气管道的一端伸入到所述集气件内。

9.如权利要求1所述的炉体在线实时取样装置，其特征在于，所述取样管组件还包括冷凝件，所述冷凝件套接于所述取样管道上。

10.一种cvd炉在线实时取样检测装置，其特征在于，包括权利要求1至权利要求9中任意一项所述的炉体在线实时取样装置与检测结构，所述检测结构设置于所述炉体一侧，用于对样品进行碳包覆层完整性检测。

技术总结
本技术公开一种炉体在线实时取样装置和CVD炉在线实时取样检测装置，其中，炉体在线实时取样装置，包括炉体、取样管组件与取样结构，本技术技术方案通过在炉体出口连接取样管道，通过驱动移动件移动带动取样件在取样管道内移动，在取样件移动至炉本体内时，取样件在重力的作用下自动转动，使得取样件的端部自动插入到炉本体内的硅材料中，硅材料通过取样孔落入到取样件内，再在移动件的驱动下使得取样件离开炉本体，完成实时取样，实现了在封闭环境下的取样，避免硅材料氧化反应的发生，有利于保证检测结果的精确性。

技术研发人员：孙慧云,梁奇,余鹏,赵乐,段传阳,李丹枫
受保护的技术使用者：湖北斯诺新材料科技有限公司
技术研发日：20221214
技术公布日：2024/1/12